尾部压紧机构、硅锭开方切割设备及硅锭开方切割方法技术

本发明专利技术公开了一种应用于硅锭开方切割设备的尾部压紧机构、硅锭开方切割设备及硅锭开方切割方法，所述硅锭开方切割设备包括切割机构以及承载架体，所述承载架体底部设有供承载待切割硅锭的承载台，所述尾部压紧机构包括：设于所述承载架体上部的旋转件；设于所述旋转件上的压紧件；以及设于所述承载架体并连接于所述旋转件的驱动件；当所述切割机构切割所述待切割硅锭时，所述驱动件驱动所述旋转件以带动所述压紧件旋转转动，直至所述压紧件抵压于所述待切割硅锭的尾部。利用本发明专利技术，可解决现有技术中待加工工件在现有的切割设备切割成成块的成品时容易跳动而影响成品的质量等问题。

【技术实现步骤摘要】
尾部压紧机构、硅锭开方切割设备及硅锭开方切割方法
本专利技术涉及切割领域，尤其涉及一种应用于硅锭开方切割设备的尾部压紧机构、硅锭开方切割设备及硅锭开方切割方法。
技术介绍
线切割技术是目前世界上比较先进的开方加工技术，它的原理是通过高速运动的金刚线对待加工工件(例如：硅棒、蓝宝石、或其他半导体硬脆材料)进行摩擦，切出方锭，从而达到切割目的。在对工件的切割过程中，金刚线通过导线轮的引导，在主线辊上形成一张线网，而待加工工件通过工作台的上升下降实现工件的进给，在压力泵的作用下，装配在设备上的冷却水自动喷洒装置将冷却水喷洒至金刚线和工件的切削部位，由金刚线往复运动产生切削，以将半导体等硬脆材料一次同时切割为多块。线切割技术与传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割相比具有效率高、产能高、精度高等优点。目前的线切割设备将待加工工件切割为成块的成品时，需要先对待加工工件进行纵向切割以获得成片的成品，再进行横向切割获得成块的成品，然而，线切割设备在切割最后一排硅锭时，由于只有一排硅锭，自身重量不够，会产生位移，硅锭在位移时容易与金刚线再次接触造成切割损伤，影响成品的质量。
技术实现思路
本专利技术提供一种尾部本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种应用于硅锭开方切割设备的尾部压紧机构，所述硅锭开方切割设备包括切割机构以及承载架体，所述承载架体底部设有供承载待切割硅锭的承载台，其特征在于，所述尾部压紧机构包括：设于所述承载架体上部的旋转件；设于所述旋转件上的压紧件；以及设于所述承载架体并连接于所述旋转件的驱动件；当所述切割机构切割所述待切割硅锭时，所述驱动件驱动所述旋转件以带动所述压紧件转动，直至所述压紧件抵压于所述待切割硅锭的尾部。

【技术特征摘要】
1.一种应用于硅锭开方切割设备的尾部压紧机构，所述硅锭开方切割设备包括切割机构以及承载架体，所述切割机构设有多条切割线，所述承载架体底部设有供承载待切割硅锭的承载台，其特征在于，所述尾部压紧机构包括：设于所述承载架体上部的旋转件；设于所述旋转件上的压紧件；以及设于所述承载架体并连接于所述旋转件的驱动件；当所述切割机构切割所述待切割硅锭时，所述驱动件驱动所述旋转件以带动所述压紧件转动，直至所述压紧件抵压于所述待切割硅锭的尾部，其中，所述压紧件对应位于相邻两个切割线之间。2.如权利要求1所述的尾部压紧机构，其特征在于，所述旋转件包括：固设于所述承载架体上的两个旋转轴座；以及设于两个所述旋转轴座之间的旋转轴；所述压紧件卡设于所述旋转轴上，所述驱动件连接于所述旋转轴以驱动所述旋转轴转动。3.如权利要求2所述的尾部压紧机构，其特征在于，所述压紧件包括：压杆，包括卡设于所述旋转轴的卡设端和相对于所述卡设端的压紧端；以及设于所述压紧端以抵压于所述待切割硅锭的压紧触头。4.如权利要求3所述的尾部压紧机构，其特征在于，所述压紧触头包括：设于所述压紧端的缓冲弹簧；以及设于所述缓冲弹簧中远离所述压紧端的一端的压垫。5.如权利要求4所述的尾部压紧机构，其特征在于，所述压紧端穿设有螺杆，所述螺杆包括分别位于所述压紧端两侧的套设有紧固螺母的第一端和套设有所述缓冲弹簧的第二端，所述第二端的长度小于所述缓冲弹簧的自由长度。6.如权利要求2所述的尾部压紧机构，其特征在于，所述驱动件包括：压紧气缸；以及连杆，包括通过鱼眼轴承连接于所述压紧气缸的活塞杆的第一连接端以及连接于所述旋转轴的第二连接端。7.一种硅锭开方切割设...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢建伟，
申请(专利权)人：上海日进机床有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31