一种前后电极石墨舟及化学气相沉积设备制造技术

本发明专利技术公开了一种前后电极石墨舟，包括：由均匀间隔设置的奇数石墨片和偶数石墨片构成的舟体，奇数石墨片和偶数石墨片通过石墨棒串接，舟体的前端底部设有至少一个前导电石墨块，舟体的后端底部设有至少一个后导电石墨块。本发明专利技术还提出了一种使用上述前后电极石墨舟的化学气相沉积设备。本发明专利技术在舟体的前后两端分别设有导电石墨，正负电极杆通过与导电石墨接触，从舟体的前后两端引入正负极，使舟体产生的电场均匀。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光伏电池加工设备
，尤其涉及一种前后电极石墨舟及使用该前后电极石墨舟的化学气象沉积设备。
技术介绍
在光伏电池加工行业中，石墨舟为化学气象沉积设备中的硅片载体，化学气象沉积设备的原理是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，对插入太阳能硅片的平行板镀膜石墨舟进行化学气相沉淀，形成所期望的薄膜。现有技术中已出现了多种石墨舟结构，如图1、2所示，公布号为CN102534564A的专利技术专利，包括:与电极杆相连的石墨舟本体，石墨舟本体由奇电极板2、偶电极板3、上电极中间隔块4、下电极中间隔块5、对称下电极中间隔块6、电极隔块8和石墨舟脚9组成，石墨舟本体两端均开有两个电极孔，且每一端的两个电极孔中，位于上部的电极孔均设置在位于石墨舟本体两端的上电极中间隔块6上，下部电极孔分别设置在下电极中间隔块5与对称下电极中间隔块6上，该下电极中间隔块5与对称下电极中间隔块6分别设在石墨舟本体两端，石墨舟本体两端的两个电极孔之间距离相等。该专利技术在石墨舟的双面设置电极孔，能满足电极杆I可分别从两端插入电极孔，石墨舟推车转动180度可能顺利操作，但这种石墨舟采用的是传统技术中正负电极从舟体同一端引入的方式，这会导致石墨舟的电场分布不均，前端电场相比后端电池有所减弱或增加，硅片的膜厚均匀性较差，大大影响太阳能电池的生产质量。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本专利技术提出一种前后电极石墨舟及化学气象沉积设备，正负电极可分别从该前后电极石墨舟的前后两端引入，使舟体产生的电场均匀，硅片的膜厚均匀性好。本专利技术采用的技术方案是，设计一种前后电极石墨舟，包括:由均匀间隔设置的奇数石墨片和偶数石墨片构成的舟体，奇数石墨片和偶数石墨片通过石墨棒串接。奇数石墨片和偶数石墨片均排布有镂空部，且奇数石墨片和偶数石墨片上的镂空部水平对齐。奇数石墨片的前端底部设有向前伸出的前端下耳片，相邻的前端下耳片之间贴合设有前端下隔块或前导电石墨块，舟体的前端底部设有至少一个前导电石墨块。奇数石墨片的后端中部设有向后伸出的后端上耳片，相邻的后端上耳片之间贴合设有后端上隔块。偶数石墨片的后端底部设有向后伸出的后端下耳片，相邻的后端下耳片之间贴合设有后端下隔块或后导电石墨块，舟体的后端底部设有至少一个后导电石墨块。偶数石墨片的前端中部设有向前伸出的前端上耳片，相邻的前端上耳片之间贴合设有前端上隔块。前导电石墨块底部凸出奇数石墨片，后导电石墨块底部凸出偶数石墨片，舟体的两端底面设有四个支撑脚。在一实施例中，舟体的两侧为奇数石墨片，舟体的后端两侧对称设有两个后导电石墨块，舟体的前端两侧也对称设有两个前导电石墨块。两个后导电石墨块分别位于舟体后端的两最外侧，两个前导电石墨块分别与舟体的两最外侧间隔一个前端下隔块。较优的，两后导电石墨块的底部外侧面和两前导电石墨块的底部外侧面均为圆弧面。本专利技术还提出了一种使用上述前后电极石墨舟的化学气象沉积设备，包括:炉管，设于该炉管内的石墨舟和电极装置，该炉管由腔体、位于腔体两端的前盖和后盖组成，电极装置包括两个分开设置并固定在前盖和后盖上的电极固定杆和正负电极杆，正负电极杆分别使用固定块固定在电极固定杆上，并在整个石墨舟长度上延伸，石墨舟放置在正负电极杆顶面上，正负电极杆分别与前导电石墨块和后导电石墨块接触通电。本专利技术在舟体的前端和后端分别设有导电石墨，正负电极杆通过与导电石墨接触，从舟体的前后两端引入，使舟体产生的电场均匀。舟体的前端和后端均对称设有两个导电石墨，使得舟体转动180°后，仍然能与正负电极杆接触通电，使用起来也非常方便。【附图说明】下面结合实施例和附图对本专利技术进行详细说明，其中: 图1是现有技术中石墨舟的正面示意图； 图2是现有技术中石墨舟的端部结构不意图； 图3是本专利技术中电极从舟体两端接入的正面示意图； 图4是本专利技术中舟体的俯视结构示意图； 图5是本专利技术中奇数石墨片的正面示意图； 图6是本专利技术中偶数石墨片的正面示意图； 图7是较佳实施例中舟体的前端结构示意图； 图8是较佳实施例中舟体的后端结构示意图； 图9是本专利技术中化学气象沉积设备的正面示意图； 图10是本专利技术中化学气象沉积设备的俯视示意图。【具体实施方式】如图3、4所示，本专利技术提出的前后电极石墨舟，包括:舟体I，舟体I由间隔交错设置的奇数石墨片11和偶数石墨片12构成，奇数石墨片11和偶数石墨片12通过石墨棒串接，串接后奇数石墨片11和偶数石墨片12之间的间隔距离一致。奇数石墨片11的高度、长度、厚度均与偶数石墨片12—致，奇数石墨片11和偶数石墨片12上都排布有镂空部，且奇数石墨片11和偶数石墨片12上的镂空部水平对齐。如图5、7、8所示，奇数石墨片11的前端底部设有向前伸出的前端下耳片110，相邻的前端下耳片110之间贴合设有前端下隔块13或前导电石墨块14，至少有一对相邻的前端下耳片110之间设有前导电石墨块14，也就是说，也就是说舟体I的前端底部设有至少一个如导电石墨块14。奇数石墨片11的后端中部设有向后伸出的后端上耳片111，相邻的后端上耳片111之间贴合设有后端上隔块15。如图6、7、8所示，偶数石墨片12的后端底部设有向后伸出的后端下耳片120，相邻的后端下耳片120之间贴合设有后端下隔块16或后导电石墨块17，至少有一对相邻的后端下耳片120之间设有后导电石墨块17，也就是说，舟体I的后端底部设有至少一个后导电石墨块17。偶数石墨片12的前端中部设有向前伸出的前端上耳片121，相邻的前端上耳片121之间贴合设有前端上隔块18。如图7、8所示，用隔块分隔相邻的奇数石墨片11和相邻的偶数石墨片12后，石墨棒穿过隔块和石墨片，在用螺母固定两端石墨棒两当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种前后电极石墨舟，包括：由均匀间隔设置的奇数石墨片（11）和偶数石墨片（12）构成的舟体（1），所述奇数石墨片（11）和偶数石墨片（12）通过石墨棒串接，其特征在于，所述奇数石墨片（11）的前端底部设有向前伸出的前端下耳片（110），相邻的前端下耳片（110）之间贴合设有前端下隔块（13）或前导电石墨块（14），所述舟体（1）的前端底部设有至少一个前导电石墨块（14）；所述偶数石墨片（12）的后端底部设有向后伸出的后端下耳片（120），相邻的后端下耳片（120）之间贴合设有后端下隔块（16）或后导电石墨块（17），所述舟体（1）的后端底部设有至少一个后导电石墨块（17）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨宝立，周湘源，张勇，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44