下载一种前后电极石墨舟及化学气相沉积设备的技术资料

文档序号:13193712

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种前后电极石墨舟,包括:由均匀间隔设置的奇数石墨片和偶数石墨片构成的舟体,奇数石墨片和偶数石墨片通过石墨棒串接,舟体的前端底部设有至少一个前导电石墨块,舟体的后端底部设有至少一个后导电石墨块。本发明还提出了一种使用上述前后电极...
该专利属于深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。