具有缓冲功能的晶圆传送盒制造技术

本实用新型专利技术涉及一种具有缓冲功能的晶圆传送盒。在一实施例中，具有缓冲功能的晶圆传送盒包括一盒体、一承载座、多个第一缓冲元件及一盖体。该盒体具有一开口及一容纳空间。该承载座设置于该容纳空间内，该承载座用以承载一晶圆盒。所述第一缓冲元件设置于该承载座，且所述第一缓冲元件接触该盒体。该盖体覆盖该开口，且接触该晶圆盒的一顶部。利用本实用新型专利技术的晶圆传送盒，可提供于传送晶圆盒的避震缓冲，除了避免晶圆盒内晶圆的损坏之外，亦降低晶圆受掉落微粒(Fall on Particle)的影响而造成良率下降。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种具有缓冲功能的晶圆传送盒。
技术介绍
现有晶圆盒用以放置多个片晶圆，且可于厂区内的半导体制造过程间传输。现有晶圆盒可为前开式标准盒(FrontOpeningUnifiedPod,FOUP)。当于不同厂区间传送晶圆时，通常将现有晶圆盒再以塑料袋真空包装后传送。现有仅以塑料袋真空包装的方式不能提供现有晶圆盒在传送时的防震效果，可能造成现有晶圆盒内晶圆的损坏或使现有晶圆盒内微粒(Particle)掉落至晶圆表面而造成晶圆良率下降。并且，上述现有方式不能提供现有晶圆盒在传送时的良好环境，例如不能控制现有晶圆盒传送时的周围环境温度、湿度或特殊气体含量，使得现有晶圆盒的晶圆易受周围环境的变化而受损。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术的目的在于提供一种具有缓冲功能的晶圆传送盒。为达上述目的，本技术的主要技术方案为：在一实施例中，具有缓冲功能的晶圆传送盒包括一盒体、一承载座、多个第一缓冲元件及一盖体。该盒体具有一开口及一容纳空间。该承载座设置于该容纳空间内，该承载座用以承载一晶圆盒。所述第一缓冲元件设置于该承载座，且所述第一缓冲元件接触该盒体。该盖体覆盖该开口，且接触该晶圆盒的一顶部。优选地，所述第一缓冲元件具有多个横向缓冲元件及纵向缓冲元件，所述横向缓冲元件设置于该承载座的侧边，且所述横向缓冲元件接触该盒体的侧面；所述纵向缓冲元件设置于该承载座的角落，且所述纵向缓冲元件接触该盒体的底部。优选地，所述横向缓冲元件为一外螺纹定位珠，该承载座包括多个第一固定件，该横向缓冲元件设置于该承载座的该第一固定件，该第一固定件具有内螺纹，以与该外螺纹定位珠配合。优选地，所述纵向缓冲元件为一外螺纹定位柱，该承载座包括多个第二固定件，该纵向缓冲元件设置于该承载座的该第二固定件，该第二固定件具有内螺纹，以与该外螺纹定位珠配合。优选地，所述承载座具有多个导块，用以引导该晶圆盒设置于该承载座上。优选地，所述导块具有一引导斜面及一夹制面，该引导斜面朝向该晶圆传送盒的内部，用以引导该晶圆盒设置于该承载座上；该夹制面用以夹制固定该晶圆盒于该承载座上。优选地，所述承载座具有多个孔洞，贯穿该承载座。优选地，所述盒体还包括多个气体输入孔及多个气体输出孔。优选地，所述气体输入孔包括多个第一气体输入孔及多个第二气体输入孔；所述气体输出孔包括多个第一气体输出孔及多个第二气体输出孔。优选地，所述具有缓冲功能的晶圆传送盒还包括多个气体传递装置，连通该盒体的所述第一气体输入孔。优选地，所述具有缓冲功能的晶圆传送盒还包括多个气体传输装置，连通该晶圆盒的气体输入口及该盒体的所述第二气体输入孔。优选地，所述气体传输装置包括一第一传输管、多个第二间隔件及一第一垫圈，该第一传输管连通该晶圆盒的气体输入口及该盒体的所述第二气体输入孔；所述第二间隔件及该第一垫圈设置于该盒体的所述第二气体输入孔外，形成一通气空间，部分该第一传输管设置于该通气空间，且该第一传输管与该第二气体输入孔间具有一空隙。优选地，所述盖体包括一盖板、一固定框、一缓冲板、一止挡板及多个第二缓冲元件；该固定框设置于该盖板的底面；该缓冲板活动式地设置于该固定框内，且该缓冲板呈凹槽状，使该晶圆盒的该顶部容纳至该缓冲板内；该止挡板固定至该固定框，且该止挡板呈方形环状，该止挡板的宽度延伸至足以限制该缓冲板向下移动；所述第二缓冲元件具有多个横向缓冲元件及纵向缓冲元件，所述横向缓冲元件设置于该固定框的侧边，且所述横向缓冲元件接触该缓冲板的侧面，所述纵向缓冲元件设置于该缓冲板的侧边，且所述纵向缓冲元件接触该盖板。优选地，所述第二缓冲元件的所述横向缓冲元件及所述纵向缓冲元件为外螺纹定位珠。优选地，所述具有缓冲功能的晶圆传送盒还包括一感测装置，设置于该盒体或该盖体，该感测装置用以检测该晶圆传送盒内的温度、湿度或压力。本技术的有益效果在于：利用本技术的晶圆传送盒，可提供于传送晶圆盒的避震缓冲，亦提供良好的周围环境以避免晶圆盒内晶圆的损坏，降低晶圆受掉落微粒(FallonParticle)的影响而造成良率下降。附图说明图1显示本技术的晶圆传送盒容置晶圆盒的一实施例的示意图；图2显示本技术的晶圆传送盒的承载座及气体传递装置的一实施例的示意图；图3显示本技术的晶圆传送盒的盒体的一实施例的示意图；图4显示本技术的晶圆传送盒的气体传递装置及气体传输装置的一实施例的示意图；图5显示本技术的晶圆传送盒的气体传输装置的一实施例的放大示意图；图6显示本技术的晶圆传送盒的盖体的一实施例的示意图；图7显示本技术的晶圆传送盒的盖体及晶圆盒的一实施例的示意图。主要部件符号说明：10具有缓冲功能的晶圆传送盒11气体传递装置12气体传输装置13气体供给装置20盒体21开口22容纳空间23第一间隔件25第一气体输入孔26第二气体输入孔27第一气体输出孔28第二气体输出孔30承载座31、32导块33、34孔洞36第一固定件37第二固定件40第一缓冲元件41横向缓冲元件42纵向缓冲元件50盖体51盖板52固定框53缓冲板54止挡板55第二缓冲元件56横向缓冲元件57纵向缓冲元件70晶圆盒80感测装置121第一传输管122第二间隔件123第一垫圈131第二垫圈132第二传输管133管路311引导斜面312夹制面411外螺纹轴管413钢珠421外螺纹轴管423定位柱561外螺纹轴管563钢珠571外螺纹轴管573钢珠。具体实施方式图1显示本技术的晶圆传送盒容置晶圆盒的一实施例的示意图；图2显示本技术的晶圆传送盒的承载座及气体传递装置的一实施例的示意图；图3显示本技术的晶圆传送盒的盒体的一实施例的示意图。配合参考图1至图3，在一实施例中，本技术具有缓冲功能的晶圆传送盒10包括一盒体20、一承载座30、多个第一缓冲元件40及一盖体50。该盒体20具有一开口21及一容纳空间22。该开口21朝上。该盒体20本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有缓冲功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述具有缓冲功能的晶圆传送盒包括：一盒体，所述盒体具有一开口及一容纳空间；一承载座，所述承载座设置于该容纳空间内，该承载座承载一晶圆盒；多个第一缓冲元件，所述第一缓冲元件设置于该承载座，且所述第一缓冲元件接触该盒体；及一盖体，所述盖体覆盖该开口，且接触该晶圆盒的一顶部。

【技术特征摘要】
2015.06.29 TW 1042104621.一种具有缓冲功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述具有缓冲
功能的晶圆传送盒包括：
一盒体，所述盒体具有一开口及一容纳空间；
一承载座，所述承载座设置于该容纳空间内，该承载座承载一晶
圆盒；
多个第一缓冲元件，所述第一缓冲元件设置于该承载座，且所述
第一缓冲元件接触该盒体；及
一盖体，所述盖体覆盖该开口，且接触该晶圆盒的一顶部。
2.根据权利要求1所述的具有缓冲功能的晶圆传送盒，其特征在
于：所述第一缓冲元件具有多个横向缓冲元件及纵向缓冲元件，所述
横向缓冲元件设置于该承载座的侧边，且所述横向缓冲元件接触该盒
体的侧面；所述纵向缓冲元件设置于该承载座的角落，且所述纵向缓
冲元件接触该盒体的底部。
3.根据权利要求2所述的具有缓冲功能的晶圆传送盒，其特征在
于：所述横向缓冲元件为一外螺纹定位珠，该承载座包括多个第一固
定件，该横向缓冲元件设置于该承载座的该第一固定件，该第一固定
件具有内螺纹，以与该外螺纹定位珠配合。
4.根据权利要求2所述的具有缓冲功能的晶圆传送盒，其特征在
于：所述纵向缓冲元件为一外螺纹定位柱，该承载座包括多个第二固
定件，该纵向缓冲元件设置于该承载座的该第二固定件，该第二固定
件具有内螺纹，以与该外螺纹定位珠配合。
5.根据权利要求1所述的具有缓冲功能的晶圆传送盒，其特征在
于：所述承载座具有多个导块，所述导块引导该晶圆盒设置于该承载
座上。
6.根据权利要求5所述的具有缓冲功能的晶圆传送盒，其特征在
于：所述导块具有一引导斜面及一夹制面，该引导斜面朝向该晶圆传
送盒的内部，所述引导斜面引导该晶圆盒设置于该承载座上；该夹制
面夹制固定该晶圆盒于该承载座上。
7.根据权利要求1所述的具有缓冲功能的晶圆传送盒，其特征在
于：所述承载座具有多个孔洞，贯穿该承载座。
8.根据权利要求1所述的具有缓冲功能的晶圆传送盒，其特征在
于：所述盒体还包括多个气体输入孔及多个气体输出孔。
9.根据权利要求8所述的具...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨丰文，
申请(专利权)人：杨丰文，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71