本实用新型涉及一种具有通气功能的晶圆传送盒。具有通气功能的晶圆传送盒包括一盒体、一承载座、多个气体传输装置及一盖体。该盒体具有一开口、一容纳空间及多个气体输入孔。该承载座设置于该容纳空间内，该承载座用以承载一晶圆盒。所述气体传输装置用以...

本实用新型涉及一种具有缓冲功能的晶圆传送盒。在一实施例中，具有缓冲功能的晶圆传送盒包括一盒体、一承载座、多个第一缓冲元件及一盖体。该盒体具有一开口及一容纳空间。该承载座设置于该容纳空间内，该承载座用以承载一晶圆盒。所述第一缓冲元件设置于...

本实用新型涉及一种用于晶圆盒的气体传递装置。在一实施例中，该气体传递装置包括一多孔性管壁、一气体输入口及一晶圆侧。该多孔性管壁具有一中空通道。该气体输入口连通该中空通道，以输入气体至该中空通道。该晶圆侧设置于该多孔性管壁的一外侧面，朝向...