物体移动装置、物体处理装置、曝光装置、物体检查装置及元件制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术是关于一种物体移动装置、物体处理装置、曝光装置、物体检查装置及元件制造方法。其中，基板(P)通过形成为框状的轻量基板保持框(60)所吸附保持，基板保持框(60)通过包含线性马达的驱动单元(70)沿水平面被驱动。在基板保持框(60)下方，配置有对基板(P)下面喷出空气而以非接触方式悬浮支承该基板(P)成大致水平的空气悬浮单元(50)。由于多个空气悬浮单元(50)涵盖基板保持框(60)的移动范围，因此驱动单元(70)能以高速且高精度将基板保持框(60)(基板(P))沿水平面导引。

【技术实现步骤摘要】
【专利说明】 本申请为中国专利申请201080036924.7的分案申请，原申请的申请日为2010年08月17日，专利技术名称为:。
本专利技术是关于一种，更详言之，是关于使沿既定二维平面配置的平板状物体移动的物体移动装置、对通过该物体移动装置移动的物体进行既定处理的物体处理装置、使通过该物体移动装置移动的物体曝光以形成既定图案的曝光装置、检查通过该物体移动装置移动的物体的物体检查装置、以及使用前述物体处理装置或曝光装置的元件制造方法。
技术介绍
以往，在制造液晶显示元件、半导体元件(集成电路等)等电子元件(微型元件)的光刻工艺中，主要使用步进重复方式的投影曝光装置(所谓步进机)、或步进扫描方式的投影曝光装置(所谓扫描步进机(亦称扫描机))等。在此种曝光装置中，作为曝光对象物而在表面涂布有感光剂的玻璃板或晶圆等基板(以下总称为基板)载置于基板载台装置上。之后，通过对形成有电路图案的掩膜(或标线片)照射曝光用光，且将经由该掩膜的曝光用光经由投影透镜等光学系统照射于基板，以将电路图案转印至基板上(参照例如专利文献1 (及对应的专利文献2))。近年来，曝光装置的曝光对象物即基板、特别是液晶显示元件用的基板(矩形玻璃基板)的尺寸例如为一边三公尺以上等，有大型化的倾向，于是，曝光装置的载台装置尺寸亦大型化，其重量亦增大。因此，被期望开发出一种载台装置，能将曝光对象物(基板)高速且高精度地导引，进而可谋求小型化、轻量化的简单构成。PCT国际公开第2008/129762号美国专利技术专利申请公开第2010/0018950号
技术实现思路
根据本专利技术的第1态样，提供一种物体移动装置，使平板状物体移动，该平板状物体沿包含彼此正交的第1及第2轴的既定二维平面所配置，该物体移动装置具备:移动体，保持前述物体的端部并可沿前述二维平面移动；驱动装置，将前述移动体驱动于前述二维平面内的至少一轴方向；以及非接触支承装置，在前述移动体被前述驱动装置驱动时，使支承面对向于前述物体的下面以从下方以非接触方式支承前述物体。根据上述，平板状物体的端部被移动体保持，而移动体被驱动装置驱动，藉此沿既定二维平面移动。又，物体由于是从下方被非接触支承装置支承，因此即使通过移动体仅支承物体端部，亦可抑制因物体自身重量而往下方的变形(弯曲)。是以，能将物体沿既定二维平面以良好精度导引。又，非接触支承装置由于是以非接触方式支承物体，因此在物体沿既定二维平面移动时不产生摩擦阻力。因此，驱动装置能高速且以高精度驱动由移动体与物体构成的系统。又，能将移动体及驱动装置作成简单的构成，而能使物体移动装置整体小型化、轻量化。根据本专利技术的第2态样，提供一种物体处理装置，其具备:本专利技术的物体移动装置；以及执行装置，为了进行与前述物体相关的既定处理，从与前述调整装置相反的侧对该物体中保持于前述调整装置的部分执行既定动作。根据上述，由于对被本专利技术的物体移动装置沿既定二维平面导引的物体执行既定的动作，因此能对该物体高速且精度良好地进行既定处理。根据本专利技术的第3态样，提供一种第1曝光装置，其具备:本专利技术的物体移动装置；以及使用能量束使前述物体曝光据以将既定图案形成于该物体上的图案形成装置。根据上述，由于使用能量束对被本专利技术的物体移动装置沿既定二维平面导引的物体进行曝光，因此能高速且精度良好地在该物体形成既定图案。根据本专利技术的第4态样，提供一种物体检查装置，其具有:本专利技术的物体移动装置；以及为了检查前述物体而拍摄该物体表面的摄影部。根据上述，由于通过本专利技术的物体移动装置将检查对象的物体沿既定二维平面高速且精度良好地导引，因此能以良好效率进行该物体的检查。根据本专利技术的第5态样，提供一种第2曝光装置，是使用能量束使物体曝光据以将既定图案形成于前述物体上，其具备:移动体，可保持沿包含彼此正交的第1及第2轴的既定二维平面所配置的平板状物体的端部并可沿前述二维平面移动；驱动装置，将前述移动体驱动于前述二维平面内的至少一轴方向；以及非接触支承装置，在前述移动体被前述驱动装置驱动时，从下方以非接触方式支承前述物体。根据上述，平板状物体的端部被移动体保持，而移动体被驱动装置驱动，藉此沿既定二维平面移动。又，物体由于是从下方被非接触支承装置支承，因此即使通过移动体仅支承物体端部，亦可抑制因物体自身重量而往下方的变形(弯曲)。是以，能将物体沿既定二维平面以良好精度导引。又，非接触支承装置由于是以非接触方式支承物体，因此在物体沿既定二维平面移动时不产生摩擦阻力。因此，驱动装置能高速且以高精度驱动由移动体与物体构成的系统。又，由于使用能量束对该物体进行曝光，因此能以高速且精度良好地在该物体形成既定图案。根据本专利技术的第6态样，提供一种第3曝光装置，是使用能量束使物体曝光据以将既定图案形成于前述物体上，其具备:光学系统，对与水平面平行的既定二维平面内的一部分区域经由前述图案照射前述能量束；驱动装置，将沿前述二维平面配置的平板状物体在包含前述二维平面内的前述部分区域的既定区域内驱动于至少一轴方向；以及定点载台，在前述物体被前述驱动装置驱动时，从前述物体下方以非接触状态保持前述物体的包含被前述能量束照射的一部分区域的部分，以调整前述部分在与前述二维平面交叉的方向的位置。根据上述，沿二维平面配置的平板状物体是通过驱动装置，在包含经由图案被光学系统照射能量束的一部分区域的前述二维平面内的既定区域内驱动于至少一轴方向。在该驱动时，物体的包含被照射能量束的一部分区域的部分，特别是被定点载台从下方以非接触方式保持，以调整该部分在与二维平面交叉的方向的位置。因此，能以良好精度使物体曝光。又，由于定点载台仅精确调整物体中被照射能量束的部分，因此能使装置构成较为简单。根据本专利技术的第7态样，提供一种元件制造方法，包含使用本专利技术的物体处理装置或曝光装置使前述物体曝光的动作；以及使前述已曝光的物体显影的动作。此处，通过使用平面面板显示器用的基板作为物体，而提供制造平面面板显示器作为元件的制造方法。根据本专利技术的第8态样，提供一种曝光方法，是使用能量束使物体曝光据以将既定图案形成于前述物体上，其包含:将沿与水平面平行的二维平面配置的平板状物体，在一既定区域内驱动于至少一轴方向的动作；该二维平面包含经由前述图案的前述能量束被光学系统所照射的一部分区域；以及在前述物体被驱动时，从前述物体下方以非接触状态保持前述物体的包含被照射前述能量束的一部分区域的部分，以调整前述部分在与前述二维平面交叉的方向的位置的动作。根据上述，沿二维平面配置的平板状物体在包含经由图案被光学系统照射能量束的一部分区域的前述二维平面内的既定区域内驱动于至少一轴方向。在该驱动时，物体的包含被照射能量束的一部分区域的部分，特别是被从下方以非接触方式保持，以调整该部分在与二维平面交叉的方向的位置。因此，能精度良好地曝光物体。根据本专利技术的第9态样，提供一种元件制造方法，包含使用本专利技术的曝光方法使前述物体曝光的动作；以及使已曝光的前述物体显影的动作。【附图说明】图1为显示第1实施形态的液晶曝光装置的概略构成的图。图2为图1的液晶曝光装置所具有的基板载台装置的俯视图。图3为图2的A — A线剖面图。图4为图2的基板载台装置所具有的定点载台的剖面图。图5(A)为放大显示图2的基本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物体移动装置，其使一平板状物体移动，该平板状物体沿包含彼此正交的第1及第2轴的一既定二维平面所配置，该物体移动装置具备：一移动体，其保持前述物体的一端部并可沿前述二维平面移动；一驱动装置，其将前述移动体驱动于前述二维平面内的至少一轴方向；以及一非接触支承装置，其在前述移动体被前述驱动装置驱动时，使其支承面对向于前述物体的下面以从下方以非接触方式支承前述物体。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：青木保夫，滨田智秀，白数广，户口学，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本;JP