【技术实现步骤摘要】
本技术涉及材料领域，是一种可用于器件制造如半导体器件，光学器件和生物制品的纳米压印镍模板复制设备，属于微纳制造和器件制造
技术介绍
纳米压印技术是在微纳米尺度获得复制结构的一种低成本且快速的方法。该技术在一定条件下可以将模板上的结构按需复制到大的表面上。纳米压印技术采用纳米图案的刚性模具将基片上的聚合物薄膜压出纳米级花纹，再对压印件进行常规的刻蚀、剥离等加工，最终制成纳米结构和器件。在纳米压印技术中，相当昂贵的光刻只需被使用一次以制造可靠的模板，模板即可用于大量生产复制品。基于此，纳米压印技术可广泛地应用于生物医学、高密度存储、光子晶体、塑料电子学、电阳能电池、传感器和高精度印刷电路板制作。正因为如此，纳米压印技术自从专利技术以来就受到了各国广泛地研究，成为纳米图案复制领域的一个热点。纳米压印光刻技术与传统的光刻技术最大的区别就在于纳米压印模板。压印模板是纳米压印最关键的技术特征，而且模板的制作是纳米压印技术最大的成本所在。压印模板直接决定压印图形的质量，要实现高质量的图形复制，必须要有高质量的纳米压印模板。目前，纳米压印技术的模板以硅模板为主...
【技术保护点】
一种适用于纳米压印镍模板复制的电铸设备，其特征在于，包括：直流电源，用于为电铸设备提供所需能源；电铸槽，用于承载电铸所需要的镍离子液体；电铸阳极，置于电铸槽内，且与电源正极相连；电铸阴极，置于电铸槽内，电铸阴极与电源负极相连；圆饼状镍板，与上述阳极相连；驱动装置，两端管道浸于镍离子液体中，分别置于电铸槽内的两端对角线端点处，所述驱动装置用于驱动电铸槽中的镍离子液体循环流动；加热装置，用于对上述所述镍离子液体进行加热，其中加热装置应包括恒温装置，以确保镍离子液体温度恒定。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：南京鹏派新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。