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一种适用于纳米压印镍模板复制的电铸设备,属于微纳制造和器件制造技术领域。包括直流电源、含镍离子液体的电铸槽、浸于所述电铸槽内的圆饼状阳极体与圆饼状镍板、两端管道分别置于承载有镍离子液体的电铸槽内的对角线端点处的驱动装置以及包含有恒温装置的加...该专利属于南京鹏派新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京鹏派新材料科技有限公司授权不得商用。
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一种适用于纳米压印镍模板复制的电铸设备,属于微纳制造和器件制造技术领域。包括直流电源、含镍离子液体的电铸槽、浸于所述电铸槽内的圆饼状阳极体与圆饼状镍板、两端管道分别置于承载有镍离子液体的电铸槽内的对角线端点处的驱动装置以及包含有恒温装置的加...