真空设备中的片状工件输送机构制造技术

一种真空设备中的片状工件输送机构，由型材导轨、链条链轮、驱动器构成的传动部件，和由外框、重力棘牙、滚轮、内框、压片条、重力销、以及齿轮齿条、压轮经轴连接构成的载片架组成。本输送机构具有结构简单轻巧、能在线翻片，适应自下而上和自上而下的生产工艺，可经受高温烘烤，不需要同步传输等优点，可广泛应用于幕墙玻璃、透明导电玻璃、半导体等连续生产的真空设备中。（*该技术在2005年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种传动输送机械。在真空设备中连续、半连续的传输机械是用来从一个真空室到下一个真空室、或者从一个真空工位到下一个真空工位传输基片。可应用于镀膜玻璃、平板显示器、半导体、太阳能器件、激光唱盘等领域。在真空设备中对玻璃等一类的基片加工，目前常用的传输机械是滚轴式传片机构，其结构主要包括型材导轨、箍有橡皮圈的滚轴、链条链轮、驱动器等部件。在每个真空腔体中水平布置若干个滚轴，用链条链轮将它们联在一起，外接一个驱动源，将不同真空室中滚轴同步驱动，放在滚轴上的玻璃片被箍在滚轴上的橡皮圈带动后，从一个真空室传到另一个真空室。这在真空镀膜生产线上存在下列不足之处1.每个真空室中的滚轴、链条链轮结构显得笨重，真空放气大，为了达到高真空状态，相应的抽气设备要大，耗能多；2.橡皮圈在高温下烘烤，对真空镀膜不利；3.一旦橡皮圈老化变形，工件就会被传歪，甚至卡牢，就必须停车开箱处理，使生产效率下降；4.只适应自上而下的镀复工艺，不适应自下面上的镀复工艺；5.基片无法在线翻转；6.不同真空室中需要同步传输。本技术的任务在于提供一种能够固定基片、并能在线翻片的真空设备的工件输送机构。本技术的任务是通过以下途径实现的在一对平行型材导轨上布置一个由外框、内框、齿轮经二个轴分别连接左、右边框构成的载片架，外框的左、右边框中间与轴成转动连接，内框的左、右边框重心处及齿轮与轴成固定连接，齿轮处于外框与内框的边框之间；在外框的左、右边框下面每边至少布置2个在型材导轨上滚动的滚轮，在外框的左、右边框上还分别布置间隔等于链条节距整数倍的燕尾形的重力棘牙，经轴与外框成摆动连接，在外框前、后横边框中间的上面内侧分别设置缺口；在内框前、后横边框上面分别布置向内倒角的压片条，在内框前横边框的前端面上，设置一个能止位于外框前、后横边框缺口内的重力销；在型材导轨的内侧于需要翻转基片处，布置一个齿数等于齿轮齿数一半的，并与其相匹配的齿条。在内框的框内布置一个金属网。在型材导轨上设置一个固定的支架，并在其上面布置一个防止外框抬起的压轮。压片条也可以布置在内框的左、右边框上面。本技术具有以下优点1.载片架在齿轮、齿条的配合下，能在线自动翻转基片，这可适应于自下而上、自上而下的两种工艺状态的需要；2.由于载片架内布有金属网，所以一旦基片爆裂后，能将碎片全部带出真空室，避免对真空设备造成危害，为实现连续生产创造条件；3.本机构由金属材料制成，可承受高温烘烤，放气率低，有利于在真空设备中使用；4.结构简单轻巧，维修方便。附图说明图1为本技术的部分结构局部剖视示意图；图2为图1的A-A局部剖视的部分视图。以下结合附图详细说明本技术的具体内容，但
技术实现思路
不限于附图的说明。参照图1、图2，在一对平行型材导轨1上面，靠内边为滚轮3滚动的导轨，靠外边为链条2的通槽，通槽下面还有一个链条2的通孔，最下面为型材导轨1的固定装置。链条2通过通孔和通槽构成一个旋转回路，在通孔和通槽的两端分别配置一个与链条2相配合的链轮，链轮通过轴25由驱动器带动转动。在型材导轨1上面布置一个主要由外框7、内框10、齿轮15构成的载片架。方形的金属外框7的左、右边框的中心位置各开一个横向轴孔，以便和内框连接；在外框7左、右边框的外侧各开2个安装重力棘牙18的侧孔17，侧孔口盖板5由螺钉6固定，侧孔17的下面开口，在开口前后留有一段重力棘牙18的止退肋，侧孔17底的前上方设有一个布置重力棘牙18的轴孔，2个侧孔17中的轴孔与轴孔之间距为链条2节距的整数倍；在外框7左、右边框的底面靠内侧，各开有4个安装滚轮3的凹槽；在外框7前、后横边框中间的上面靠内侧分别开有缺口4。燕尾形的金属重力棘牙18的头部，经轴16成摆动连接在侧孔17中的轴孔处，半边燕尾拖在侧孔17开口之外，并使其伸到链条2的节距空隙中，起到能带动载片架随着链条2移动的目的。金属滚轮3经轴活动连接在左、右边框底面的凹槽中，并能在型材导轨1上滚动。方形的金属内框10的左、右边框的重心位置分别开有一个和外框7连接的横向轴孔。内框10和外框7的左、右边框分别由轴14连接，外边框为转动连接，内边框及金属齿轮15与轴14为固定连接，至少一个内边框与轴14之间用锥销钉23固定，齿轮15与轴14之间用开口销22固定，齿轮15与外框7之间布有金属垫圈21。齿轮15处于外框7、内框10的右边框之间。在内框10的前横边框上面固定一个向内倒角45°的前压片条12，在后横边框上面布置一个具有弹性的向内倒角45°的后压片条19，用于夹持基片13，具有弹性是防基片尺寸略有变化或受热膨胀时，不至于受力过大而遭破坏。在内框10前横边框的前端面上设置一个止位于缺口4内的重力销11。在内框10内布置一个金属丝网24，基片13若破碎掉在金属丝网24上，可随载片架带出真空室。在型材导轨1内侧于需要翻片加工的真空室中间部位，布置一个与齿轮15相匹配的齿条20，齿条20的齿数等于齿轮15齿数的一半，齿轮15通过齿条20，正好使内框10翻转180°，使重力销止位于缺口4内。通过固定在型材导轨1上的支架8，布置一个外框7右边框的压轮9，在内框翻转时，外框7不至于发生上抬。实施例载片架的内框10尺寸为400×400mm，上面装有尺寸为356×356mm，厚度为1.1mm的玻璃基片13，外框7尺寸为500×500mm，2号摩托车链条2布置在型材导轨1的通槽、通孔及其两端的链轮上构成回路。该载片架布置在真空设备中要进行自下而上蒸镀二氧化硅薄膜——450℃烘烤——自上而下溅射氧化铟锡薄膜的连续生产线上。在蒸镀二氧化硅时，玻璃基片13处在内框10的底面，蒸镀后齿轮15经过齿条20，使内框10携带玻璃基片13翻转180°，送入450℃的真空烘道烘烤，再进入自上而下溅镀氧化铟锡薄膜工序，然后送出。权利要求1.一种真空设备中的片状工件输送机构，包括由型材导轨、和在其上面配置的链条、链轮、及其驱动器组成的传动部件，其特征在于在一对型材导轨上面布置一个由外框、内框、齿轮经二个轴于外框、内框的左、右边框之间分别连接构成的载片架，外框的左、右边框的中间与轴成转动连接，内框的左、右边框的重心处及齿轮与轴成固定连接，齿轮处于外框与内框的边框之间；在外框的左、右边框下面，每边至少布置2个滚轮，在外框的左、右边框上还分别布置间隔等于链条节距整数倍的燕尾形的，经轴与外框成摆动连接的重力棘牙，在外框前、后横边框的中间分别设置缺口；在内框前、后横边框上面，分别布置向内倒角的压片条，在内框前横边框的前端面上，设置一个止位于缺口内的重力销；在型材导轨的内侧于需要翻转基片处，布置一个齿数等于齿轮齿数一半的，并与其相匹配的齿条。2.根据权利要求1所述的真空设备中的片状工件输送机构，其特征在于内框的框内布置一个金属网。3.根据权利要求1所述的真空设备中的片状工件输送机构，其特征在于在型材导轨上设置一个固定支架，并在其上面布置一个防止外框抬起的压轮。4.根据权利要求1所述的真空设备中的片状工件输送机构，其特征在于压片条也可分别布置在内框的左、右边框上面。专利摘要一种真空设备中的片状工件输送机构，由型材导轨、链条链轮、驱动器构成的传动部件，和由外框、重力棘牙、滚轮、内框、压片条、重力销、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空设备中的片状工件输送机构，包括由型材导轨［１］、和在其上面配置的链条［２］、链轮、及其驱动器组成的传动部件，其特征在于：在一对型材导轨［１］上面布置一个由外框［７］、内框［１０］、齿轮［１５］经二个轴［１４］于外框［７］、内框［１０］的左、右边框之间分别连接构成的载片架，外框［７］的左、右边框的中间与轴［１４］成转动连接，内框［１０］的左、右边框的重心处及齿轮［１５］与轴［１４］成固定连接，齿轮［１５］处于外框［７］与内框［１０］的边框之间；在外框［７］的左、右边框下面，每边至少布置２个滚轮［３］，在外框［７］的左、右边框上还分别布置间隔等于链条［２］节距整数倍的燕尾形的，经轴［１６］与外框［７］成摆动连接的重力棘牙［１８］，在外框［７］前、后横边框的中间分别设置缺口［４］；在内框［１０］前、后横边框上面，分别布置向内倒角的压片条［１２、１９］，在内框［１０］前横边框的前端面上，设置一个止位于缺口［４］内的重力销［１１］；在型材导轨［１］的内侧于需要翻转基片［１３］处，布置一个齿数等于齿轮［１５］齿数一半的，并与其相匹配的齿条［２０］。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王德苗，任高潮，高汉牧，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：实用新型
国别省市：33[中国|浙江]