【技术实现步骤摘要】
本技术属于VGF单晶生长、退火等封焊工序的一种抽真空设备，具体的说是一种水冷式真空栗卡头。
技术介绍
在VGF单晶生长抽真空工序中，所使用的卡头对顺利操作和完成VGF单晶生长抽真空工序有重要作用，使用科学方便的卡头可使VGF单晶生长抽真空工序更有效率、安全的进行。现有VGF单晶生长抽真空工序中的老式卡头，已经不能满足大尺寸单晶生产要求，由于现有卡头一直采用普通材料，使其自然散热，因而很容易使卡头温度过高，卡圈易变形，密封圈只能使用一次而造成浪费，无法完成封焊就已经泄露真空，不能稳定生产。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是，克服以上所述缺陷，提供一种有效降低生产成本，保护生产设备的水冷式真空栗卡头。本技术的水冷式真空栗卡头，其特征在于该装置由卡圈，冷却铜管，卡头主体构成，卡圈、卡头主体为铝锭加工制品，卡头主体上设有螺旋槽，冷却铜管顺螺旋槽缠绕在卡头主体上，冷却铜管通冷却水。所述的卡头主体通过连接卡盘与生产设备连接。所述的卡头主体、卡圈之间由螺栓穿过卡圈及固定螺丝孔进行固定。所述螺栓有3到6条螺丝。本技术的水冷式真空栗卡头，通过对卡头结构材质的改变，采用全铝制分体螺栓固定式结构，加设冷却循环水系统，可以有效的解决生产中卡头温度过高问题，使卡头、卡圈得到充分冷却，不再产生变形问题，密封圈得以五次以上的使用，降低成本，封焊过程中密封真空，使生产安全稳定。【附图说明】图1为水冷式真空栗卡头的结构示意图。其中，卡圈1，冷却铜管2，固定螺丝孔3，连接卡盘4，卡头主体5。【具体实施方式】下面结合附图对本技术作进一步详细说明。实施例1:水冷式真空栗卡头，该...
【技术保护点】
水冷式真空泵卡头，其特征在于由卡圈(1)，冷却铜管(2)，卡头主体(5)构成，卡圈(1)、卡头主体(5)为铝锭加工制品，卡头主体(5)上设有螺旋槽，冷却铜管顺螺旋槽缠绕在卡头主体(5)上，冷却铜管(2)通冷却水。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨海超，李苏滨，李雪峰，
申请(专利权)人：云南中科鑫圆晶体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：云南;53
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