带有闩锁门的运输组件制造技术

一种晶片容器，它具有由门框架限定的前部开口和门。该门框架在相对侧上具有槽且利用闩锁连杆和提升连杆将闩锁部分从门伸出、提升、下降和缩回到门框架的锁座中。门具有被动晶片软垫或主动晶片接合臂，当门就位时，该晶片接合壁向内伸向晶片以固定晶片。闩锁连杆、提升连杆及保持臂连接到门内部的转动凸轮件。凸轮件的凸轮表面构形成沿第一方向使闩锁部分伸入锁座且沿垂直于第一方向的第二方向移动闩锁部分以向内推门并将门密封于容器部分。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
本申请是于1996年7月12日提交的08／678，885号申请的部分继续申请。本专利技术涉及晶片载体。更具体而言，它涉及具有盖或门以将晶片封闭在容器中的晶片容器。已采用不同的方法将晶片封闭在容器中以供贮存或运输。一些容器已具有用于晶片的纵向槽，并且在其弹性挠性塑料的顶盖或盖子上具有卡合件。在这些载体中，当装上顶盖时，一般固定在顶盖上的被动软垫与晶片配合时发生挠曲。半导体工业已涉及加工直径高达300mm的较大的晶片，并且正研究开发具有专用水平晶片定位的载体和输送容器。支承较大晶片所需的较大容器使传统的弹性挠性被动软垫难于制造和使用。较大晶片载体所需的较大门需要在门上固定闩锁机构。理论上，这些机构在机械上应该是简单的，几乎不带有移动部分且没有金属部分。任何金属部分的存在可能导致金属颗粒的产生，这会在半导体加工中带来严重问题。晶片容器具有由安装门的框架所限定的前部开口以及按该门安装框架而确定尺寸的门。该安装门的框架在相对侧面上具有槽，并且该门利用闩锁连杆机构，该闩锁连杆机将相应的闩锁部分从门的边缘部分延伸、提升、下降、收缩到门安装框架上的锁座中和离开该锁座。该门还具有被动晶片软垫或主动晶片接合壁，该臂向内伸向晶片以便当门就位时将晶片固定。门锁连杆机构、提升连杆机构以及根据需要的保持臂在门的内部联接到旋转的凸轮件。该凸轮件利用形成的凸轮表面，首先沿第一方向将闩锁部分伸入锁座且然后沿垂直于第一方向的第二方向移动闩锁部分以将门向内拉动并将门密封在容器部分上。根据需要，也可以伸出一个晶片保持臂。本专利技术的一个优点和特征在于所采用的闩锁机构是由各部件中的最小件构成的，该各部件在机械上是简单的，但仍提供了有效且可靠的闩锁动作。本专利技术的一个优点和特征在于门除了将其锁紧之外还能够保持晶片。所述锁紧和保持都是由门把手的单一旋转运动实现的。本专利技术的另一特征和优点在于所述机构定位在门的内部，由此能减少由门机构所产生和散布的颗粒。本专利技术的另一特征和优点在于所述门机构以适当顺序提供了锁紧和晶片保持。本专利技术的另一特征和优点在于旋转凸轮件的凸轮表面可包括一个凸轮爪，以便将门简易地固定在锁紧位置并将晶片保持臂固定在接合位置。附图说明图1是晶片容器和门的透视图。图2是晶片容器门的透视图，将其前盖的一部分去掉以露出机构。图3是可旋转凸轮件的透视图。图4是闩锁臂的透视图。图5是晶片接合臂的透视图。图6是晶片接合臂驱动连杆的透视图。图7是与后板配合的双臂曲柄的截面图。图8是晶片接合部分的透视图。图9是门后板内部的前视图。图10A是处于闭合位置的门的示意图。图10B是示出晶片接合臂位置的示意图。图11A是其中闩锁臂伸出的门机构的示意图。图11B是处于邻近位置的晶片接合臂的示意图，该晶片接合臂未相应于图11A所示的机构位置与晶片接合。图12A是其中闩锁臂伸出而处于完全锁紧位置的机构的示意图。图12B是相应于图12A所示机构位置的示意图，其中晶片接合臂以末端定位并与晶片接合。图13A是在打开步骤中门的示意图，其中闩锁臂全部伸出。图13B是相应于图13A所示机构位置的视图，其中晶片接合臂在其邻近位置与晶片脱开。图14A是门的示意图，其中晶片机构返回到完全开锁的位置以打开所述门。图14B相应于图14A所示的机构位置并示出保持在晶片脱开的晶片接合臂。图14C是另一实施例的平面图。图15是另一个运输组件的视图。图16是利用手动把手的图15所示门的另一个实施例的透视图。图17是图15所示的露出闩锁机构的分解透视图。图18A是图17所示的将盖取下的右侧立视图。图18B是沿图18A中线18B截取的截面图。图19A是将顶板取下的图17所示门的右侧立视图。图19B是沿图19A线中19B截取的截面图。图20是一套闩锁连杆机构的透视图。图21是大体上与图18B和19B相同的截面图，其中闩锁部分处于不同位置。图22是露出晶片限制装置的门内部的透视图。图23是门前部的透视图，其中将门板去掉以露出闩锁机构，该图也示出了主动晶片限制机构的另一实施例。图24是与活塞接合的滑杆的详细透视图。图25为示出了处于封闭件壁之套筒内的活塞的详细透视图。图26为示出滑杆的一部分的详细透视图。参照图1，图1示出晶片容器20大体上由容器部分22和协同操作的门24构成。容器部分具有多个晶片槽28，以便在大体水平面上插入和取出晶片W。这些槽由晶片导向件32和晶片支承架36限定。该容器部分一般具有前部开口40、封闭顶部42、封闭左侧44、封闭后侧46、封闭右侧48和封闭底部50。该图示出容器定位在设备界面52上。门24座落在门安装框架60上并与之配合。门框架60具有两对相对的框架件、一对垂直的框架件64和一对水平的框架件68。垂直框架件具有一对孔或槽72、74，采用这些孔或槽以将门配合或锁紧在容器部分22上。门具有主动晶片保持装置以及门的闩锁装置。门具有中央定位的旋转件80，该旋转件80带有一安装在前盖86之凹槽84中的手动或自动把手81。前盖86是门封闭件90的一部分，它还包括门边缘部分94和在此视图中未示出的后板96。前盖86利用适当的机械紧固件98紧固。图2示出门20的透视图，其中将前盖86的一部分取下露出门机构100，该门机构100包括闩锁机构101和晶片保持机构102，这二者共用一些部件。门机构的单独部件在图3、4、5和6中示出，其包括旋转凸轮件110、带有相连的双臂曲柄113的晶片接合臂112、闩锁臂118和晶片接合臂的驱动连杆120。参照图2和3，旋转凸轮件110具有一对形成凸轮表面116的闩锁臂凸轮孔114。凸轮孔114具有相对的端部123，在其一端具有由塑料突出物形成的凸轮爪122。凸轮爪122通过设置凸轮爪孔124而呈柔性弹性地制成。旋转凸轮件110还包括一对相对的晶片接合凸轮孔130，该孔形成晶片接合凸轮表面132。此外，通过其中一个凸轮表面132上的突出物而设置了晶片接合凸轮爪134，并且该晶片接合凸轮爪134通过邻近于晶片接合凸轮孔130之端部138的凸轮爪孔136而呈柔性弹性地制成。可旋转凸轮件具有中心孔150，以用来利用轴152将旋转凸轮件110定位和固定在门的后板96上。参照图2和图4，每个闩锁臂118包括连接部分160和一对延伸部分162，这对延伸部分162包括闩锁部分164，该闩锁部分构造成配合在门安装框架60的凹槽或孔72、74中。每个闩锁臂具有凸轮从动件166，它成形为从臂118的大体平面部分168突出的轴或凸起。参照图5、7和8，各晶片接合臂112由晶片边缘接合部分170构成，双臂曲柄113具有连接槽174和枢轴表面176。晶片边缘接合部分170适于由Hytrel制成。参照图6，示出了晶片接合臂驱动连杆120，它具有凸轮从动件196和铰链195。闩锁臂118定位在旋转凸轮件110和驱动连杆120之间。闩锁部分的尺寸确定成可通过门边缘部分94中的槽216滑动伸出和缩回。凸轮从动件166伸入凸轮从动件孔118并进一步进入后板凹槽200。顶盖组装在门边缘部分94上，以形成门封闭件90。操作前、后板之间相对受限制的空间以稳定和保持机构100。各部件以下述方式组装。参照图2和9，门的后板96具有成矩形角对准的四个孔186。后板具有四个圆柱形销190，该锁定位在各孔本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶片运输组件，它包括： ａ）以水平设置盛装晶片的容器部分（２２２），该容器部分具有门框架和前部开口（２４０），该门框架（２６０）具有锁座（２７２）；以及 ｂ）安装在门框架上的门（２２４），该门包括： ｉ）具有闩锁部分（３０６）的闩锁连杆机构（３１１），该闩锁部分（３０６）沿第一方向向外伸向锁座（２７２）；以及 ｉｉ）邻近于闩锁连杆机构（３１１）且沿基本上平行于第一方向的方向移动的提升连杆机构（３１９），至少提升连杆机构和提升部分中的一个具有斜面（３９４），从而当提升连杆机构相对于提升部分移动时，斜面使得提升连杆机构（３１９）沿基本上垂直于第一方向的第二方向移动。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：DL奈瑟斯，DJ克拉马波迪，
申请(专利权)人：氟器皿有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]