【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于硅晶片的可塑塑料的晶片筐或托架，后者是为装载和存贮用于生产集成电路芯片的硅晶片而设计的。晶片的生产工艺需要用液体和气体对它们连接进行浸泡或喷洗。某些化学洗液含有各种腐蚀性化学药品，而有些洗液又处于非常热的状态，例如180℃的范围内。当前进行处理的晶片其直径已大到8英寸。一般说来，单个晶片筐或托架内装25片这样的晶片，这就要求托架大到足以容纳这些晶片。装满晶片的这种托架将重达八至十磅。目前正开始应用十英寸的晶片并将在可预见的未进入普遍应用。因此，在处理期间用来托住硅晶片的晶片托架是由可塑塑料构成的，该种塑料最好是对所用的化学药品不起化学作用的，并对所用的化学药品具有强的抗腐蚀性，同时，对处理期间经常使用的高洗液温度具有强的耐热性。按常规，托架所用的模压塑料是PFA特氟隆(E.I.duPontdeNemours公司的注册商标)，一种用全氟烷氧基取代的聚四氟乙烯树脂。对于要求不太苛刻的环境和晶片贮运的场合，托架曾用聚丙烯制成。应该考虑到硅晶片是非常精细和易脆的，可能只有千分之几英寸厚。硅晶片又是非常贵重的，损坏一片晶片可能就意味着一项重大的损失。...
【技术保护点】
可塑塑料的、抗变形和抗翘曲的晶片托架，其特征在于具有：用于插入和取出晶片的敞开的顶部、敞开的底部、对立而垂直的端壁和侧壁，各侧壁具有内部的相对的、用于纵向隔开托架中排列好的晶片的凸条，一面垂直端壁是Ｈ形的，它具有横向延伸在托架的 中间高度处的水平的定位杆，另一面垂直端壁由一块中心板和两块各自相对于中心板倾斜一个角度的侧板构成，该中心板具有带垂直中心线的平的外表面和两个在中心线处分开、彼此倾斜取向的平的内表面，因此，中心板靠近中心线的部分比中心板的外边缘部分薄，从 而，使晶片托架中翘曲应力减到最小，同时，增加晶片托架的刚度，并且，当晶片托架处在高温...
【技术特征摘要】
US 1988-4-29 188,3121.可塑塑料的、抗变形和抗翘曲的晶片托架，其特征在于具有用于插入和取出晶片的敞开的顶部、敞开的底部、对立而垂直的端壁和侧壁，各侧壁具有内部的相对的、用于纵向隔开托架中排列好的晶片的凸条，一面垂直端壁是H形的，它具有横向延伸在托架的中间高度处的水平的定位杆，另一面垂直端壁由一块中心板和两块各自相对于中心板倾斜一个角度的侧板构成，该中心板具有带垂直中心线的平的外表面和两个在中心线处分开、彼此倾斜取向的平的内表面，因此，中心板靠近中心线的部分比中心板的外边缘部分薄，从而，使晶片托架中翘曲应力减到最小，同时，增加晶片托架的刚度，并且，当晶片托架处在高温或腐蚀性化学药品的条件下时，防止所述另一垂直端壁变形或向内弯曲成弓形。2.权利要求1的晶片托架，其特征在于属于垂直端壁靠外部分的各侧板具有平的内表面，并且，总体上看，所述各侧板和中心板的内表面从各侧壁朝着中心线向外伸展。3.权利要求1的晶片托架，其特征在于所述另一个垂直端壁的各侧板向外伸展。4.权利要求1的晶片托架，其特征在于还包括一对沿着各侧壁向下的垂直平行的锥形底脚板，该底脚板各自具有从边缘两端向上锥形收敛的底面。5.权利要求4的晶片托架，其特征在于还包括在锥形底脚板的底面上位于中心的定位槽口。6.权利要求1的晶片托架，其特征在于每个侧壁具有下部的向内倾斜的壁部分。7.可塑塑料的、抗变形和抗翘曲的晶片托架具有用于插入和取出晶片的敞开的顶部、敞开的底部，具有内侧的相对的用于纵向隔开托架中排列好的晶片的凸条的各侧壁，对立而垂直的端壁，其特征在于一面垂直的端壁是H形的，该端壁具有横向延伸在托架的中间高度处的水平的定位杆，并且，在每个侧壁上有横向向外伸出的上部凸缘，每个凸缘至少有两个抗翘压抗，各压坑靠近凸缘的相应端头，以便当晶片托架在模具中冷却时，使模具能够把晶片托架保持在初始的模塑形状，从而，当晶片托架在模具内冷却和固化时，把翘曲减到最小。8.权利要求7的晶片托架...
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