带门的晶片运载装置制造方法及图纸

技术编号:3221729 阅读:166 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种晶片容器,具有由门框和与门框尺寸相配的门形成的开放的前部,门安装框在相对侧面具有凹槽,门上使用锁紧部件,从门边缘部分伸入凹槽或从凹槽中收回,将门与门安装框锁住或打开。门上还有晶片连接臂,当门到位时向内朝晶片伸展以固定上述晶片。可收缩的锁紧部件和晶片保持臂都与门内部的可转动凸轮件相联。凸轮件上的凸轮表面的形状可以首先锁住门然后伸展晶片保持臂。(*该技术在2017年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种晶片运载装置。尤其涉及一种带有盖或门将晶片封闭在容器中的晶片容器。为了储存和运输,使用了各种方法将晶片封闭在容器中。一些容器中使用了晶片垂直凹槽以及用有弹性的柔性塑料制成的上盖或罩。当使用上盖连接晶片时缚在上盖上的被动垫块将发生偏移。半导体工业已经发展到加工直径大于300毫米的大型晶片,运载装置和运输容器也倾向于将晶片水平放置。装载大晶片所需的大容器使普通被动弹性垫块很难制造和使用。晶片容器具有由门安装框形成的开放的前部和与门安装框尺寸相配的门。在门安装框上相对的两侧具有凹槽,门上使用了锁闩件,将门缘部分伸出或收缩从而进入凹槽或从凹槽中出来,将门和门安装框锁住或打开。门上还具有晶片连接臂,当门到位时可以向内朝晶片伸展而固定上述晶片。可收缩的锁闩件和晶片保持臂都与门内部的可旋转凸轮件相联,凸轮件上的凸轮表面,其形状首先可以锁住门,其次可以伸展晶片保持臂。本专利技术的优点和特征在于,除了提供门的锁紧外还提供了晶片的保持。上述锁紧和保持由门手柄的一个简单的旋转运动来提供。本专利技术的另一个优点和特征在于,该机构位于门的内部,使门机构的颗粒的产生和分布达到最小。本专利本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用水平轴向排列方式用边缘部固定圆形晶片的晶片容器,容器包括一个容器部件和一个与之相配的门,容器部件包括: 一个开放的前部,一个封闭的左侧,一个封闭的后侧,一个封闭的右侧,一个封闭的上部,一个封闭的底部,一个开放的内部和一个带有安装门的门座的矩形门框,当门被装在上述门框中时,门碰到晶片的边缘部分,门框上有锁紧部件; 相配的门包括: 一个具有与门框连接的外部安装部件的门外壳, 一个位于外壳内部并与外壳转动联接的可转动凸轮件,该凸轮件可从外壳外部转动,凸轮件带有一个锁紧臂凸轮表面和一个晶片连接凸轮表面, 一个向外移动的锁紧臂,是有一个与锁紧臂凸轮表面啮合的凸轮推杆,...

【技术特征摘要】
US 1996-7-12 6788851.一种用水平轴向排列方式用边缘部固定圆形晶片的晶片容器,容器包括一个容器部件和一个与之相配的门,容器部件包括一个开放的前部,一个封闭的左侧,一个封闭的后侧,一个封闭的右侧,一个封闭的上部,一个封闭的底部,一个开放的内部和一个带有安装门的门座的矩形门框,当门被装在上述门框中时,门碰到晶片的边缘部分,门框上有锁紧部件;相配的门包括一个具有与门框连接的外部安装部件的门外壳,一个位于外壳内部并与外壳转动联接的可转动凸轮件,该凸轮件可从外壳外部转动,凸轮件带有一个锁紧臂凸轮表面和一个晶片连接凸轮表面,一个向外移动的锁紧臂,是有一个与锁紧臂凸轮表面啮合的凸轮推杆,当转动凸轮件时,锁紧臂与门框的锁紧部件相啮合,一个晶片连接机构,包括一个可向内和向外移动的晶片连接臂和一个与晶片连接臂相联的致动器臂,致动器臂具有凸轮推杆与晶片连接臂凸轮表面啮合,当凸轮件转动时,致动器臂将晶片连接臂向外伸展,与晶片边缘部分啮合,这样保持晶片不动。2.如权利要求1所述容器,其特征在于,门安装框上具有凹槽,锁紧臂具有插入部件,插入部件可插入凹槽中,将上述门锁在容器部分上。3.如权利要求1所述容器,其特征在于,凸轮表面是这样形成的,即在晶片连接臂与晶片边缘部分啮合前锁紧臂与锁紧部件啮合。4.如权利要求1所述容器,其特征在于,晶片连接机构还包括一个与门外壳转动联接的钟形曲柄,钟形曲柄有两个端部,一端与晶片连接臂相联,另一端与致动器臂相联,致动器臂在外壳中的纵向移动转化为晶片连接臂的向内运动。5.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:DL尼塞施
申请(专利权)人:氟器皿有限公司
类型:发明
国别省市:US[美国]

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