生产工艺中将衬底移入和移出的系统及方法技术方案

一种生产工艺中的衬底移出、移入系统及方法，该系统包括：一自动传送装置，用于自动传送储存衬底的卡匣；一手动传送装置，及一加工设备。加工设备包括：用于临时放置运来的卡匣的货口，一装载器，其具有一传感器；及一作业台，当卡匣置于货口上时，加工设备检查传感器是否接收到通讯开始信号，当接收到上述信号时，卡匣是通过自动传送装置传送的，以便设定加工设备为自动传送模式，当没有接收到信号时，卡匣是通过手动传送装置传送的，从而设定为手动传送模式。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种生产工艺中工件的移入和移出系统及方法，特别是涉及一种半导体或薄膜晶体管液晶显示器(thin film transistor liquid crystaldisplay；以下称‘TFT-LCD’)等的生产工艺中使用的工件的移出、移入系统及移出、移入方法。近来，为了提高生产率，大部分TFT-LCD的生产工艺实现了自动化，因此当在为此目的而使用特定加工设备对衬底进行加工时，利用自动传送装置(automatic guided vehicle‘AGV’)把储存有要加工的衬底的卡匣(cassette)传送至加工设备，并且在装载到该加工设备后，在加工设备中对卡匣中的衬底进行各种加工。但是，在这种自动作业过程中，当加工设备发生故障时，作业人员必须能检查加工设备状态。在这种情况下，就需要作业人员亲自操作手动传送装置(manual guided vehicle‘MGV’)传送卡匣中的衬底到加工设备，然后进行下一作业过程。因此，在惯用的衬底制造过程中，加工衬底的方法取决于用哪种传送装置(AGV或MGV)把卡匣传送到加工装置。即，当使用AGV传送卡匣至加工设备上时(以下称AGV模式)，包括卡匣的装载过程在内，加工设备各部分对衬底的作业过程几乎都以自动方式进行。另方面，当使用MGV传送卡匣至加工设备上时(以下称MGV模式)，对每个加工设备中的衬底的作业处理是根据作业人员的要求以手动或自动方式进行。但是，在已知的衬底移出、移入系统中，只能使用与生产加工设备中设定的传送模式对应的传送装置从加工设备中移出、移入卡匣，当使用与设定的传送模式不相应的传送装置传送卡匣时，会发生错误(error)。从前述可知，已知的衬底传送系统，检查设定在加工设备内的传送模式，再利用与该传送对应的传送装置传送卡匣，故其有生产率低的缺点。本专利技术是为了解决上述问题而提出的。本专利技术提供了一个完整的检修系统和其控制方法，其中在某时，将多个文件合并为一批，该文件具有存在的缺陷和怎样检修缺陷的信息，和合并的文件涉及当全部检查完成后最终的生产步骤。本专利技术的目的是提供一种生产工艺中的衬底移入和移出系统，根据该系统，没有必要在设备上预先设定传送模式，其根据传送卡匣的传送装置种类而自动进行下一作业过程，从而提高了生产效率。为了实现上述目的，本专利技术提供一种生产工艺中的衬底移入和移出系统(A system for moving substrates in and out of a manufactoring process)包括一自动传送装置，用以自动传送储存有衬底的卡匣；一手动传送装置，其根据作业人员的指令，传送上述卡匣；及，一加工设备，用以对储存于上述卡匣内的衬底进行预定的加工。其中，上述加工设备包括货口，用于临时放置由上述自动传送装置或手动传送装置运来的卡匣；一装载器，其具有传感器当卡匣是通过上述自动传送装置运来时，接收从上述自动传送装置传送来的通信开始信号；及，一作业台，用以对储存于卡匣内的衬底进行实际作业。当卡匣到达加工设备时，系统检查卡匣是由MGV或是由AGV传送的，如果是由AGV传送的，加工设备自动得到卡匣并加工衬底。如果是由MGV传送的系统等待作业人员指令和根据操作人员指令加工衬底。当卡匣被置于货口上时，上述加工设备检查传感器是否已接收到通信开始信号，若已接收到上述信号，则判断为卡匣已被自动传送装置传送，从而把加工设备设定为自动传送模式，若没有接收到上述信号，则判断为卡匣被手动传送装置传送，从而把加工设备设定为手动传送模式。在此，较佳地是，上述货口应具有临时放置各卡匣的多个货口。另外，较佳地是，上述装载器进一步包括一卡匣ID阅读器，用以当卡匣被置于货口上时，阅读卡匣的ID。另外，较佳地是，在上述货口上设置一检测衬底传感器，用以检测储存于卡匣内衬底的个数以及衬底被储存的储存槽位置。此时，当卡匣被自动传送装置传送，并被设定成自动传送模式时，装载器自动卡住卡匣，之后用卡匣阅读器阅读卡匣的ID，当卡匣被手动传送装置传送，并被设定成手动传送模式时，装载器根据作业人员的指令卡住卡匣，之后用卡匣阅读器阅读卡匣的ID。另外，上述设备，较佳地是进一步包括一传送机械手，用以从置于货口上的卡匣内，取出衬底，并传送至作业台。根据本专利技术的一种用于系统中的生产工艺的衬底移入和移出方法，其传送系统包括一自动传送装置，用以自动传送储存有衬底的卡匣、一手动传送装置，用以根据作业人员的作业指令传送上述卡匣；及一加工设备，用以对储存在卡匣中的衬底进行预定加工，该加工设备包括一装载器，一货口，用于临时放置由上述自动传送装置或手动传送装置运来的卡匣，一作业台，用以对放置于货口上的卡匣内储存的衬底进行预定加工，该方法包括如下步骤第一步骤，当上述货口可以使用时，利用自动传送装置或手动传送装置，把卡匣传送至加工设备；第二步骤，在上述第一步骤中，当利用自动传送装置把卡匣传送至加工设备上时，自动传送装置把通信开始信号传送给装载器；第三步骤，从上述自动传送装置，把卡匣装载至货口上；第四步骤，在上述第一步骤中，当利用手动传送装置把卡匣传送至加工设备上时，根据作业人员的指令，把卡匣装载至货口上；第五步骤，判断是否在上述货口上检测到卡匣；第六步骤，在上述第五步骤中，当在货口上检测到卡匣时，判断是否检测到通信开始信号，及第七步骤，在上述第六步骤中，当通信开始信号被检测到时，将加工设备设定为自动传送模式，当没有检测到通信开始信号时，将加工设备设定为手动传送模式。在此，上述第三步骤，较佳地是进一步包括判断是否接收到上述通信开始信号的步骤；在上述步骤中，当判断接收到上述通信开始信号时，向自动传送装置请求装载卡匣的步骤；及，根据上述要求，把卡匣装载至货口上的步骤。以下参照附图对根据本专利技术优选实施例的系统做详细说明。附图说明图1是表示根据本专利技术较佳实施例的传送系统的方框图；图2是表示图1中加工设备的详图；及图3a及图3b是表示根据本专利技术实施例的传送方法的流程图。图1是表示根据本专利技术实施例的传送系统的略图。如图中所示，根据本专利技术实施例的传送系统，是由主机100、设备服务器200、加工设备300、自动控制运送装置(AGV)400、AGV控制器500及手动控制运送装置(MGV)600构成。主机100是通过使用传输控制协议/互联网协议(TCP/IP)的网络，与设备服务器200及AGV控制器500耦合。并且通过向它们传送或从它们接收预定信息，而实现信息交换或发送控制命令。AGV控制器500从主机100接收命令，并发送特定命令给AGV 400。设备服务器200使用半导体设备通信标准(SECS SemiconductorEquipment Communication Standard)与加工设备300耦合，并与设备300和主机100接口。AGV 400根据AGV控制器500的命令，自动把卡匣传送至加工设备300，或者把在加工设备300中完成的作业用卡匣自动移动至另一设备。完成这些步骤后，AGV 400向AGV控制器500传送完成作业的讯息。接着，AGV控制器500通过网络向主机100传送相应的信息，以使主机100可管理AGV 400的状态和整个传送系统。MGV 600，用于作业人员手动传送卡匣时。在本专利技术的较佳本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于生产工艺中的衬底移入和移出系统，其特征是该系统包括： 自动传送装置，用于自动传送储存有衬底的卡匣； 手动传送装置，用于根据一作业人员的指令传送储存有衬底的卡匣（ｃａｓｓｅｔｔｅ）； 加工设备，用于对储存于卡匣中的衬底进行预定的加工； 其中，当卡匣到达时上述加工设备判断卡匣是通过自动传送装置传送的还是通过手动传送装置传送的。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：许民宁，边圣埈，林定泽，朴炳劝，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]