用于监视的方法和装置以及标明状态的盘承载器制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种方法和装置，用于监测多个半导体片或存储盘批料通过处理设备中的各种位置处的多个处理操作的进程，并保持与各个批料的进程有关的信息。承载器上嵌有应答器。该应答器带有编码，用于标明承载器和包含在其中的片或盘批料并进一步标明批料已经经过的各种处理操作。有限范围读取单元对每一个承载器附近进行检测，并确定任一个承载器的唯一标识。写入单元改变某一应答器的状态码，以表示该批料经过了某一处理。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及通过制造过程的物体批料的识别和跟踪。更具体地说，它涉及用于监视通过处理操作的半导体片或存储盘的多个批料的行进并用于在所希望的处理站提供状态编码的的方法和设备。在半导体制造工业中，半导体片通过制造设备并到达若干不同的位置，在那里半导体片得到蚀刻、清洗、采用光刻操作处理、测试并经受到各种其他的制造测试和处理操作。类似地，存储盘在制造设备中也移动通过一系列的制造处理。在工业中，经常的作法是以盛在承载器中的批料的形式来处理片或存储盘，这种承载器是为了把片或存储盘支撑在适当的位置而特别设计的，这些位置有利于制造和处理机器的操作，这些机器或者在盘或片处于承载器中时对它们进行处理，或者将它们取出以进行处理操作并随后将它们送回到承载器中。在此，批料被定义和用来表示一或多个(多至承载器的容量)半导体片或存储盘。在制造设备中，希望对通过制造过程的片或存储盘批料的进程进行跟踪。另外，还希望能够在批料(而不是在一个远处的位置上)保持一些与该批料的处理或进程有关的信息。在盘的处理中采用应答器标志，已经在颁给Rossi和Saucer并转让给了本专利技术的受让人的美国专利第4,827,110号本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种盘承载器，包括：（ａ）一个带有相对的壁的本体，这些壁具有面向内的、其尺寸适于以平行和轴向排列保持盘的槽，各个本体具有一个壁部分，该壁部分具有一个边缘，且一个长形凹槽从所述边缘向内延伸到该壁部分中；（ｂ）一个插入该长形凹槽中的无线 电频率应答器，该应答器具有可由一个外部读取单元读取的唯一标志码；以及（ｃ）一个用于将该应答器密封包围在所述凹槽内的盖。

【技术特征摘要】
US 1994-4-8 2252281.一种盘承载器，包括(a)一个带有相对的壁的本体，这些壁具有面向内的、其尺寸适于以平行和轴向排列保持盘的槽，各个本体具有一个壁部分，该壁部分具有一个边缘，且一个长形凹槽从所述边缘向内延伸到该壁部分中；(b)一个插入该长形凹槽中的无线电频率应答器，该应答器具有可由一个外部读取单元读取的唯一标志码；以及(c)一个用于将该应答器密封包围在所述凹槽内的盖。2.根据权利要求1的盘承载器，其中该应答器得到编程以接受一个外部写入单元提供的状态码。3.根据权利要求2的盘承载器，其中该承载器具有一个下沿和从所述下沿延伸的长形凹槽。4.根据权利要求1的盘承载器，其中壁部分具有一个用于在所述壁部分中容纳长形凹槽的突出部分。5.根据权利要求4的盘承载器，其中长形凹槽与端壁平行。6.一种用于监视通过多个站的盘批料的系统，该系统包括(a)多个盘承载器，每一个承载器都具有一个本体，该本体带有相对的壁且这些壁带有向内的、用于以平行且轴向的排列保持盘批料的槽，各个本体都具有一个平面壁部分，该壁部分具有一个沿着与所述平面壁部分基本平行的方向延伸的长形凹槽，一个插入到该长形凹槽中的长...

【专利技术属性】
技术研发人员：NT奇斯布劳，SD埃加姆，RD科斯，RS威廉斯，
申请(专利权)人：氟器皿有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]