晶片支架制造技术

技术编号:3222883 阅读:175 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
半导体晶片或存储磁盘用的尺寸稳定及静电耗散的支架具有特别低的粒子产生特性。支架有相对侧壁及连接壁,侧壁有限定槽的肋,以便沿轴向放置磁盘或晶片。侧壁、肋及端壁都是一体的,是由含12-25%重量的碳纤维填充剂的注模聚对苯二酸丁酯(PBT)所组成的。(*该技术在2015年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体晶片及存储磁盘的加工、装运及贮藏。具体地说,本专利技术涉及一种用于晶片和/或磁盘的抗粒子产生的尺寸稳定的支架。支架是在磁盘或晶片的加工之前、加工期间及加工之后用来运送及贮藏成批硅晶片或磁盘的。晶片被加工成集成电路,磁盘则被加工成计算机用的存储磁盘。支架经常会再使用好几次,然后废弃。每次使用之前支架一般都要在热水和/或化学液中清洗,然后用热空气干燥。最重要的是使支架在经受与清洗、干燥、运输及加工相关的较高温度时保持其形状。支架的结构通常是沿轴向将晶片或磁盘排列在槽中,用槽的周缘支承晶片或磁盘。晶片或磁盘一般是可沿径向向上或横向从支架取出的。支架可以有辅助顶盖、底盖、或外壳密封晶片或磁盘。支架通常是由诸如聚碳酸酯(PC)、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物(ABS)、聚丙烯(PP)、聚乙烯(PE)、及聚醚醚基酮(PEEK)的注模塑料所组成的。在晶片或磁盘的加工过程中,粒子存在和产生会出现很重要的污染问题。在半导体工业中,污染是产品损耗的一个重大原因。由于集成电路的尺寸持续减小,所以可能污染集成电路的粒子的大小也变成较小,从而使将污染物减至最少变得要求更为严格。以粒子形本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于晶片之类的支架,具有至少一个用以容纳晶片之类的槽,该支架是由填充有碳纤维的聚对苯二酸丁酯所组成的。

【技术特征摘要】
US 1994-7-15 2755021.一种用于晶片之类的支架,具有至少一个用以容纳晶片之类的的槽,该支架是由填充有碳纤维的聚对苯二酸丁酯所组成的。2.根据权利要求1的支架,其特征在于该聚对苯二酸丁酯中的碳纤维的比例处于12%-25%重量的范围内。3.根据权利要求2的晶片支架,其特征在于所述碳纤维及大部分纤维在配料前具有大于100∶1的纵横比。4.根据权利要求1的支架,其特征在于还包括一对含有肋的侧壁,一对连接壁,该肋限定多个槽,其中该侧壁、端壁、以及肋都是成一体的。5.根据权利要求4的支架,其特征在于该侧壁、连接壁以及肋是主体部分的一部分,该主体部分有敞口顶,该晶片支架还包括该敞口顶的盖。6.根据权利要求4的支架,其特征在于该侧壁、连接壁以及肋是主体部分的一部分,该主体部分有敞口底,该晶片支架还包括该敞口底的底盖。7.根据权利要求1的支架,其特征在于该聚对苯二酸丁酯还包括弹性聚酯。8.根据权利要求4的支架,其特征在于该侧壁和端壁是主体部分的一部分,该支架还包括一个可打开的外壳,该外壳是由含碳纤维的表面电阻率足以达到10...

【专利技术属性】
技术研发人员:KJ米克尔森
申请(专利权)人:氟器皿有限公司
类型:发明
国别省市:US[美国]

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