【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体晶片及存储磁盘的加工、装运及贮藏。具体地说,本专利技术涉及一种用于晶片和/或磁盘的抗粒子产生的尺寸稳定的支架。支架是在磁盘或晶片的加工之前、加工期间及加工之后用来运送及贮藏成批硅晶片或磁盘的。晶片被加工成集成电路,磁盘则被加工成计算机用的存储磁盘。支架经常会再使用好几次,然后废弃。每次使用之前支架一般都要在热水和/或化学液中清洗,然后用热空气干燥。最重要的是使支架在经受与清洗、干燥、运输及加工相关的较高温度时保持其形状。支架的结构通常是沿轴向将晶片或磁盘排列在槽中,用槽的周缘支承晶片或磁盘。晶片或磁盘一般是可沿径向向上或横向从支架取出的。支架可以有辅助顶盖、底盖、或外壳密封晶片或磁盘。支架通常是由诸如聚碳酸酯(PC)、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物(ABS)、聚丙烯(PP)、聚乙烯(PE)、及聚醚醚基酮(PEEK)的注模塑料所组成的。在晶片或磁盘的加工过程中,粒子存在和产生会出现很重要的污染问题。在半导体工业中,污染是产品损耗的一个重大原因。由于集成电路的尺寸持续减小,所以可能污染集成电路的粒子的大小也变成较小,从而使将污染物减至最少变得要 ...
【技术保护点】
一种用于晶片之类的支架,具有至少一个用以容纳晶片之类的槽,该支架是由填充有碳纤维的聚对苯二酸丁酯所组成的。
【技术特征摘要】
US 1994-7-15 2755021.一种用于晶片之类的支架,具有至少一个用以容纳晶片之类的的槽,该支架是由填充有碳纤维的聚对苯二酸丁酯所组成的。2.根据权利要求1的支架,其特征在于该聚对苯二酸丁酯中的碳纤维的比例处于12%-25%重量的范围内。3.根据权利要求2的晶片支架,其特征在于所述碳纤维及大部分纤维在配料前具有大于100∶1的纵横比。4.根据权利要求1的支架,其特征在于还包括一对含有肋的侧壁,一对连接壁,该肋限定多个槽,其中该侧壁、端壁、以及肋都是成一体的。5.根据权利要求4的支架,其特征在于该侧壁、连接壁以及肋是主体部分的一部分,该主体部分有敞口顶,该晶片支架还包括该敞口顶的盖。6.根据权利要求4的支架,其特征在于该侧壁、连接壁以及肋是主体部分的一部分,该主体部分有敞口底,该晶片支架还包括该敞口底的底盖。7.根据权利要求1的支架,其特征在于该聚对苯二酸丁酯还包括弹性聚酯。8.根据权利要求4的支架,其特征在于该侧壁和端壁是主体部分的一部分,该支架还包括一个可打开的外壳,该外壳是由含碳纤维的表面电阻率足以达到10...
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