一种蓝宝石复合衬底及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种蓝宝石复合衬底及其制备方法，蓝宝石衬底包括氧化铝层，其制备方法包括步骤先让清洗干净的蓝宝石基板上生长一层掩膜层，并在掩膜层上涂覆光刻胶，然后利用光刻技术对掩膜层上未有图形区域进行光刻。光刻完毕后利用BOE溶液或RIE刻蚀，去除没有光刻胶保护的掩膜层区域，再利用湿法溶液去除残余的光刻胶。接着在掩膜层的保护下腐蚀蓝宝石基板直至蓝宝石基板，使相邻图形的底部粘连到一起，再使用湿法清洗图形化蓝宝石基板。最后利用溅射设备，在蓝宝石基板上沉积一层氮化铝，至此形成了蓝宝石复合衬底。因此本发明专利技术的蓝宝石复合衬底的制备方法，可以实现大面积、低成本、工业化的复合图形蓝宝石衬底制备。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于微纳米电子制造
，涉及半导体材料，具体涉及一种蓝宝石复合衬底的制备方法。
技术介绍
随着近来LED散热技术的改进，室外照明的大功率LED路灯、投光灯等LED大功率照明灯具已经实现工业化生产并开始被大量应用。对色温和显色性要求很高的室内照明的舞台灯、影棚灯等也已实现量产并投入应用。适用范围最大、用量也最大的通用照明的T8、T5、T4、灯管和代替白炽灯和节能灯的螺口球泡灯以形成系列化，使用寿命已高达5万小时。LED照明已进入高速发展期。通常，LED的氮化镓系薄膜外延层主要生长在蓝宝石衬底上。蓝宝石衬底有许多的优点:首先，蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好；其次，蓝宝石的稳定性很好，能够运用在高温生长过程中；最后，蓝宝石的机械强度高，易于处理和清洗。因此，大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。但是目前的蓝宝石衬底因其结构的限制，使其对发光二极管的光提取效率低。
技术实现思路
本专利技术的第一目的在于提供一种应力有效释放，光提取率高的蓝宝石复合衬底。为解决上述技术问题，本专利技术的技术方案是:一种蓝宝石复合衬底，包括蓝宝石基板，所述蓝宝石基板上设有掩膜层，所述掩本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蓝宝石复合衬底，包括蓝宝石基板，所述蓝宝石基板上设有掩膜层，所述掩膜层经过光刻或腐蚀形成图形掩膜层，通过所述图形掩膜层保护腐蚀所述蓝宝石基板形成图形化蓝宝石图形层，其特征在于，所述图形化蓝宝石图形层上设有氧化铝层，所述氧化铝层厚度为10～14nm或101～500nm；所述图形化蓝宝石图形层上相邻图形的底部相互粘连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：许南发，王瑞敏，玄成帅，郭明灿，
申请(专利权)人：山东元旭光电有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37