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本发明公开了一种蓝宝石复合衬底及其制备方法，蓝宝石衬底包括氧化铝层，其制备方法包括步骤先让清洗干净的蓝宝石基板上生长一层掩膜层，并在掩膜层上涂覆光刻胶，然后利用光刻技术对掩膜层上未有图形区域进行光刻。光刻完毕后利用BOE溶液或RIE刻蚀，去...
该专利属于山东元旭光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东元旭光电有限公司授权不得商用。

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