一种用于扩散炉的气源柜机架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于扩散炉的气源柜机架，包括：恒温槽区，其设于该气源柜机架内部的一个封闭区域，且位于该气源机架的上部；气路区，其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源机架的上部与恒温槽区紧邻，气路区通过封板与恒温槽区隔开；电器元器件区，其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源柜机架的下部，电器元器件区通过封板与恒温槽区、气路区隔开；电源区，其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源柜机架的下部与电器元器件区相邻；石英器件区，石英器件区通过封板与气路区、电器元器件区、电源区隔开。本实用新型专利技术通过进行分区设计使电器元器件区不会受到腐蚀，增加了电器元器件的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及扩散炉气源柜设备
，更具体地说是涉及一种用于扩散炉的气源柜机架。
技术介绍
扩散炉是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一，它的主要用途是对半导体进行掺杂，即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同电特性区域，虽然某些工艺可以使用离子注入的方法进行掺杂，但是热扩散仍是最主要、最普通的掺杂方法。现有技术中的扩散炉气源柜设备目前主要存在以下不足和缺陷:一是恒温槽里源瓶酸性物质和石英器件里的尾气泄漏后容易腐蚀电器元器件，减少电器元器件的使用寿命；二是恒温槽里源瓶的温度容易受炉尾温度和环境温度的影响。从而影响工艺的稳定性。
技术实现思路
为解决上述现有技术中的问题，本技术提出一种用于扩散炉的气源柜机架，将气源柜机架进行分区设计可以使电器元器件免受腐蚀，增加电器元器件的使用寿命。本技术的技术方案为:一种用于扩散炉的气源柜机架，包括:恒温槽区，其设于该气源柜机架内部的一个封闭区域，且位于该气源机架的上部；气路区，其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源机架的上部与恒温槽区紧邻，气路区通过封板与恒温槽区隔开；电器元器件区，其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源柜机架的下部，电器元器件区通过封板与恒温槽区、气路区隔开；电源区，其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源柜机架的下部与电器元器件区相邻；石英器件区，其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源机架的上部，石英器件区通过封板与气路区、电器元器件区、电源区隔开。所述恒温槽区设有多个恒温槽，每个恒温槽是一个独立的空间；恒温槽区的背面炉尾设有抽风管。 所述石英器件区炉尾设有抽风管。本技术的用于扩散炉的气源柜机架将气源柜机架进行分区设计，分区之间都是彼此隔开的，从而使得电器元器件区不会受到腐蚀，增加了电器元器件的使用寿命；在恒温槽区的背面炉尾设有抽风管，可以使恒温槽源瓶的温度免受炉尾温度和环境温度的影响，增加工艺的稳定性。【附图说明】图1为本技术用于扩散炉的气源柜机架从前面看的示意图。图2为本技术用于扩散炉的气源柜机架从后面看的示意图。【具体实施方式】如图1和图2所示，一种用于扩散炉的气源柜机架，包括恒温槽区1、气路区2、电器元器件区3、电源区4和石英器件区5。恒温槽区I设于该气源柜机架内部的一个封闭区域，且位于该气源机架的上部，恒温槽区I设有多个恒温槽，每个恒温槽是一个独立的空间；另外，恒温槽区I的背面炉尾设有抽风管6，可以及时抽掉炉尾与恒温槽区的热量。气路区2设于该气源柜机架的内部，且位于该气源机架的上部，气路区2紧邻恒温槽区I设置，气路区2通过封板与恒温槽区I隔开。电器元器件区3设于该气源柜机架的内部，且位于该气源柜机架的下部，电器元器件区3通过封板与恒温槽区1、气路区2隔开；电源区4设于该气源柜机架的内部，且位于该气源柜机架的下部与电器元器件区3相邻；电源区4为独立的箱子，防止触电。石英器件区5设于该气源柜机架的内部，且位于该气源机架的上部，石英器件区5通过隔板与气路区2、电器元器件区3、电源区4隔开；石英器件区5炉尾设有抽风管，抽风管可以及时抽走炉尾的热量。本技术的用于扩散炉的气源柜机架进行分区设计，使每个区域都是独立的空间，可以保证电器元器件免受酸性物质的腐蚀，增加其使用寿命；恒温槽源瓶的温度免受炉尾温度和环境温度的影响，增加工艺的稳定性。以上的具体实施例仅用以举例说明本技术的构思，本领域的普通技术人员在本技术的构思下可以做出多种变形和变化，这些变形和变化均包括在本技术的保护范围之内。【主权项】1.一种用于扩散炉的气源柜机架，其特征在于，包括: 恒温槽区(1)，其设于该气源柜机架内部的一个封闭区域，且位于该气源机架的上部； 气路区(2)，其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源机架的上部与恒温槽区(I)紧邻，气路区(2)通过封板与恒温槽区(I)隔开； 电器元器件区(3)，其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源柜机架的下部，电器元器件区(3)通过封板与恒温槽区(I)、气路区(2)隔开； 电源区(4)，其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源柜机架的下部与电器元器件区(3)相邻; 石英器件区(5)，其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源机架的上部，石英器件区(5)通过封板与气路区(2)、电器元器件区(3)、电源区(4)隔开。2.根据权利要求1所述的用于扩散炉的气源柜机架，其特征在于，所述恒温槽区(I)设有多个恒温槽，每个恒温槽是一个独立的空间；恒温槽区的背面炉尾设有抽风管(6)。3.根据权利要求1所述的用于扩散炉的气源柜机架，其特征在于，所述石英器件区(5)炉尾设有抽风管。【专利摘要】本技术公开了一种用于扩散炉的气源柜机架，包括：恒温槽区，其设于该气源柜机架内部的一个封闭区域，且位于该气源机架的上部；气路区，其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源机架的上部与恒温槽区紧邻，气路区通过封板与恒温槽区隔开；电器元器件区，其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源柜机架的下部，电器元器件区通过封板与恒温槽区、气路区隔开；电源区，其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源柜机架的下部与电器元器件区相邻；石英器件区，石英器件区通过封板与气路区、电器元器件区、电源区隔开。本技术通过进行分区设计使电器元器件区不会受到腐蚀，增加了电器元器件的使用寿命。【IPC分类】C30B31/06【公开号】CN204939660【申请号】CN201520659089【专利技术人】常红旺, 周湘源 【申请人】深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司【公开日】2016年1月6日【申请日】2015年8月28日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于扩散炉的气源柜机架，其特征在于，包括：恒温槽区（1），其设于该气源柜机架内部的一个封闭区域，且位于该气源机架的上部；气路区（2），其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源机架的上部与恒温槽区（1）紧邻，气路区（2）通过封板与恒温槽区（1）隔开；电器元器件区（3），其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源柜机架的下部，电器元器件区（3）通过封板与恒温槽区（1）、气路区（2）隔开；电源区（4），其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源柜机架的下部与电器元器件区（3）相邻；石英器件区（5），其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源机架的上部，石英器件区（5）通过封板与气路区（2）、电器元器件区（3）、电源区（4）隔开。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：常红旺，周湘源，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44