气体隔离腔用的真空泵的真空泵防震单元制造技术

本实用新型专利技术指一种气体隔离腔的真空泵的真空泵防震单元，该气体隔离腔所连接的真空泵先组接于一机台，其中，机台架设有顶接真空泵下方的真空泵防震单元，真空泵防震单元设有立顶体，立顶体上端朝上延伸有上螺纹段，上螺纹段上方旋接有贴接真空泵下缘的防震体。借之，真空泵防震单元设置有避免真空泵受外力震动的事实优异功效。

【技术实现步骤摘要】

本技术尤指一种气体隔离腔用的真空泵的真空泵防震单元，该真空泵防震单元主要用于支撑真空泵，避免真空泵受外力震动的功效。
技术介绍
首先，请参阅图1、图2所示，【为现有的真空泵下悬组装示意、真空泵侧悬组装示意图】；一般的光罩、或晶圆片等半导体物料加工时，为避免其遭受异物污染，多数会置入于气体隔离腔9中以真空或以特殊气体保护加工，而气体隔离腔9在光罩、或晶圆片等半导体物料至入前或后，利用真空泵8将气体隔离腔9一般气体抽离至真空，而后，方可有利气体隔离腔9以真空模式加工，或者，据高纯度特殊气体保护加工。另外，真空泵8组接于一机台7，主要用于机台7配置及相对装设的气体隔离腔9真空抽取，而真空泵8大多为下悬组装于机台7内(如图1所示)，另外，真空泵8又可为侧悬方式组接于机台7内(如图2所示)。(另外，光罩、晶圆片与半导体物料，在此未绘出及标号)。但，真空泵8是一造价极高，且内部是极其精密的物件，致真空泵8受限于精密组设，故不适合于震动环境下操作，因此，真空泵8常在高强度震动与地震中损毁，以及触动保护机制而停机。
技术实现思路
为改善现有真空泵有在高强度震动与地震中损毁，以及触动保护机制而停机的缺失，本技术提供一种气体隔离腔用的真空泵的真空泵防震单元，其是令真空泵避免在强度较高震动中受损的真空泵防震结构，并据真空泵防震单元于真空泵下方支撑。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种气体隔离腔用的真空泵的真空泵防震单元，，该真空泵先组接于机台，其中，机台架设有顶接真空泵下方的真空泵防震单元，真空泵防震单元至少设有：一立顶体，立顶体上端朝上延伸有一上螺纹段，上螺纹段上方旋接有一贴接真空泵下缘的防震体。而防震体下端可增设有一防震旋体，防震旋体下方又具有一旋接上螺纹段的防震螺孔。另外，上螺纹段又可旋设有螺帽，螺帽又可上旋抵撑于防震体下缘。而后，防震体是贴接真空泵下缘，且防震体又可为一硬质橡胶。又立顶体底端又朝上凹设有一螺孔，螺孔另旋接有一下螺纹段，下螺纹段下方又固定有一支撑体，支撑体下方又固接有一贴接机台的支撑垫。借以上组成，可知机台是以真空泵防震单元朝上顶接真空泵，据之，有效防止真空泵受高强度震动影响，用以排除现有所述缺失，同时，本技术是利用防震体与上螺纹段旋接令真空泵防震单元有调整组接的优点及功效。本技术的有益效果是，其是令真空泵避免在强度较高震动中受损的真空泵防震结构，并据真空泵防震单元于真空泵下方支撑。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1为现有的真空泵下悬组装示意图。图2为现有的真空泵侧悬组装示意图。图3为本技术的真空泵防震单元组接示意图。图4为本技术的真空泵防震单元组接放大图。图5为本技术的真空泵防震单元操作示意图。图6为本技术的真空泵防震结构另一示意图。图中标号说明：7机台8真空泵9气体隔离腔1气体隔离腔2真空泵3真空泵防震单元31立顶体311螺孔32上螺纹段321螺帽33防震体34防震旋体341防震螺孔36下螺纹段4机台41支架5支撑体6支撑垫具体实施方式请参阅图3、图4、图5所示，【为本技术的真空泵防震单元组接示意、真空泵防震单元组接放大、真空泵防震单元操作示意图】；指本技术的一种气体隔离腔1用的真空泵2的真空泵防震单元3，该真空泵2先组接于机台4，其中，机台4架设有顶接真空泵2下方的真空泵防震单元3，真空泵防震单元3至少设有：一立顶体31，立顶体31上端朝上延伸有一上螺纹段32，上螺纹段32上方旋接有一贴接真空泵2下缘的防震体33(如：图3、图4所示)(另外：光罩、晶圆片与半导体物料，在此未绘出及标号)。是的，该防震体33是可贴接于真空泵2下缘，且防震体33又可为一能密贴真空泵2的硬质橡胶制作，又防震体33下端可增设有一托接的防震旋体34，防震旋体34下方又具有一旋接上螺纹段32的防震螺孔341，另外，上螺纹段32又可旋设有螺帽321，螺帽321又可上旋抵撑于防震体33的防震旋体34下缘，但，螺帽321于朝下旋松时，恰好可令防震旋体34旋松，反之，防震旋体34又可据螺帽321的抵紧防止松脱。而后，机台4是以真空泵防震单元3朝上顶接真空泵2，主要在令真空泵2避免于高强度震动及地震中损毁，以及触动保护机制停机的损失。同时，利用防震体33的防震旋体34与上螺纹段32旋接，令真空泵防震单元3可借旋接调整组接防震旋体34上、下位移，并据可上、下位移的防震旋体34控制真空泵防震单元3朝上顶接真空泵2的支撑力(如：图5所示)。请参阅图6所示，【为本技术的真空泵防震结构另一示意图】；其中，该立顶体31底端又朝上凹设有一螺孔311，螺孔311另旋接有一下螺纹段36，下螺纹段36下方又固定有一配合防震体33调整真空泵防震单元3组接及拆卸的支撑体5，支撑体5下方又固接有一贴接机台4支架41的支撑垫6，据偏软的支撑垫6设置，除可增加对支架41贴接外，亦能防止支架41刮伤及受损。鉴于机台4是利用真空泵防震单元3朝上顶接真空泵2，主要令真空泵2避免于高强度震动及地震中损毁，以及触动保护机制停机的损失，用以摒除现有缺失。且真空泵防震单元3由防震体33及支撑体5旋接，借的，可知真空泵防震单元3对真空泵2有支撑力调整效益，并据此成为本技术的优异特色。以上所述，仅是本技术的较佳实施例而已，并非对本技术作任何形式上的限制，凡是依据本技术的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本技术技术方案的范围内。综上所述，本技术在结构设计、使用实用性及成本效益上，完全符合产业发展所需，且所揭示的结构亦是具有前所未有的创新构造，具有新颖性、创造性、实用性，符合有关新型专利要件的规定，故依法提起申请。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气体隔离腔用的真空泵的真空泵防震单元，其特征在于，该气体隔离腔所连接的真空泵先组接于一机台，其中，机台架设有顶接真空泵下方的真空泵防震单元，真空泵防震单元至少设有一立顶体，立顶体上端朝上延伸有一上螺纹段，上螺纹段上方旋接有一贴接真空泵下缘的防震体。

【技术特征摘要】
1.一种气体隔离腔用的真空泵的真空泵防震单元，其特征在于，该
气体隔离腔所连接的真空泵先组接于一机台，其中，机台架设有顶接真
空泵下方的真空泵防震单元，真空泵防震单元至少设有一立顶体，立顶
体上端朝上延伸有一上螺纹段，上螺纹段上方旋接有一贴接真空泵下缘
的防震体。
2.根据权利要求1所述的气体隔离腔用的真空泵的真空泵防震单元，
其特征在于，所述防震体下端可增设有一防震旋体，防震旋体下方又具
有一旋接上螺纹段的防震螺孔。
3.根据权利要求1所述的气体隔离腔用的真...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴明田，
申请(专利权)人：日扬科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71