半导体废气处理系统及其水气分离器技术方案

本发明专利技术涉及一种半导体废气处理系统及其水气分离器，此系统包含水气分离器连通于湿式洗涤器及抽气装置之间。水气分离器包含连通之进气管、分离管及排气管，水气分离器还包含导流斜隔板斜向式设于分离管中以及滤材层填充于分离管中。湿式洗涤器洗涤制程废气源之制程废气且排放出洗涤废气，抽气装置提供吸力使得洗涤废气先经由进气管进入分离管中，并分离出水雾及粉尘后，再经由排气管排出干燥废气。本发明专利技术不仅可维持水雾及粉尘的分离与过滤功效，还能进一步提供透明可视化、可拆卸化及可加热化设计，借此可观察压力变化、快速拆换及延长保养周期。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关于一种废气处理系统及其组件，特别是有关于一种半导体废气处理系统及其水气分离器(moisture-gas separator)。

技术介绍

1、半导体的生产过程会使用大量的易燃性、腐蚀性或高毒性的反应气体，但是在许多半导体制程中反应气体的利用率非常低，因此在制程中未完全反应的残余气体及反应生成物必须排出反应制程室。这些混合气体一般称为制程废气或是尾气，且都必须经由转化为无害或可处理的物质才能排出。

2、现行废气系统主要由和反应制程室相接的涡轮真空帮浦(turbo pump)、机械帮浦及局部废气处理系统(local scrubber system)所构成。制程废气经由涡轮真空帮浦、排气管道及机械帮浦依序抽出反应制程室，再送入局部废气处理系统进行处理后送到中央废气处理系统(central scrubber system)排出。

3、为了妥善处理制程废气，目前有许多种技术被提出及使用。举例而言，目前有一种现有技术在排放制程废气之前，会使用抽气帮浦将制程废气排放至燃烧洗涤塔进行废气处理。然而，燃烧洗涤塔对于含氟化合物处理效果不本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种水气分离器，适于纵向连通于一湿式洗涤器及一抽气装置之间，其特征在于，该水气分离器至少包含：

2.如权利要求1所述之水气分离器，其特征在于，其中该分离管之口径大于该进气管之一进气口之口径。

3.如权利要求1所述之水气分离器，其特征在于，其中该至少一导流斜隔板可拆卸式设于该分离管之一管壁上。

4.如权利要求3所述之水气分离器，其特征在于，其中该分离管具有至少一穿槽斜向式沿着该管壁之表面分布，该至少一导流斜隔板气密式插设于该至少一穿槽上。

5.如权利要求1所述之水气分离器，其特征在于，其中该至少一导流斜隔板之投影区域部分或全部重迭于该分离...

【技术特征摘要】

1.一种水气分离器，适于纵向连通于一湿式洗涤器及一抽气装置之间，其特征在于，该水气分离器至少包含：

2.如权利要求1所述之水气分离器，其特征在于，其中该分离管之口径大于该进气管之一进气口之口径。

3.如权利要求1所述之水气分离器，其特征在于，其中该至少一导流斜隔板可拆卸式设于该分离管之一管壁上。

4.如权利要求3所述之水气分离器，其特征在于，其中该分离管具有至少一穿槽斜向式沿着该管壁之表面分布，该至少一导流斜隔板气密式插设于该至少一穿槽上。

5.如权利要求1所述之水气分离器，其特征在于，其中该至少一导流斜隔板之投影区域部分或全部重迭于该分离管之一进气口。

6.如权利要求1所述之水气分离器，其特征在于，其中该水气分离器之该分离管与该湿式洗涤器之间还以具有一安全泄压阀之一泄压旁通管相连接。

7.如权利要求1所述之水气分离器，其特征在于，其中该水气分离器与该抽气装置之间还设有一燃烧处理器，该排气管纵向设置且该排气管之一排气口连接该燃烧处理器之一进气口，其中该湿式洗涤器所排放之该洗涤废气先借由该水气分离器分离出该洗涤废气中所含之水雾及粉尘以形成该干燥废气，再将该干燥废气排放至该燃烧处理器中进行燃烧处理。

8.如权利要求1或7所述之水气分离器，其特征在于，其中该排气管还包覆有一加热带，用以加热经由该排气管之该排气口所排放之该干燥废气。

9.如权利要求7所述之水气分离器，其特征在于，其中该进气管之一进气口可拆卸式连接该湿式洗涤器之该排气口，该排气管之该排气口可拆卸式连接该燃烧处理器之该进气口。

10.如权利要求1或9所述之水气分离器，其特征在于，其中该分离管可拆卸式连接于该进气管及该排气管之间。

11.如权利要求1所述之水气分离器，其特征在于，其中该至少一导流斜隔板之数量为复数个，且该复数个导流斜隔板分别斜向式设于该分离管中，进而分层地交错式分布于该分离管之一内部。

12.如权利要求11所述之水气分离器，其特征在于，其中该复数个导流斜隔板之投影...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡定，陈志豪，黄少檠，
申请(专利权)人：日扬科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：