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本发明涉及一种半导体废气处理系统及其水气分离器，此系统包含水气分离器连通于湿式洗涤器及抽气装置之间。水气分离器包含连通之进气管、分离管及排气管，水气分离器还包含导流斜隔板斜向式设于分离管中以及滤材层填充于分离管中。湿式洗涤器洗涤制程废气源之...
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