印刷装置及印刷方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种可通过使用凹版的印刷法来形成优选的微细图案的印刷装置及印刷方法。本发明专利技术的一形态的印刷装置包括：印刷版(12)，形成有凹部(12A)，该凹部(12A)的形状与形成于基板(14)上的图案(31C)对应；上墨处理部(20)，具备进行上墨处理的喷墨头(30)，上述上墨处理是将分散有图案的材料粒子的液体喷出至印刷版的凹部的内部；贴合处理部(24)，在上墨处理后进行贴合处理，上述贴合处理是将基板贴合于印刷版的形成有凹部的面；后干燥处理部(26)，在将基板贴合于印刷版的形成有凹部的面的状态下，对凹部内部的液体实施干燥处理，以使液体的流动性降低；以及剥离处理部(28)，在后干燥处理部的干燥处理后使印刷版与基板剥离。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】印刷装置及印刷方法
本专利技术涉及一种印刷装置及印刷方法，尤其涉及适用喷墨(inkjet)方式的凹版印刷中的上墨(inking)技术。
技术介绍
近年来，使用印刷法在玻璃(glass)基板、树脂基板等上形成薄膜晶体管(transistor)的金属配线、电气配线图案(pattern)等微细图案的技术得到有效利用。利用含有金属等的导电性粒子的液体而形成有微细图案的基板被用于液晶显示器(display)等薄型显示装置或移动通信机器等。在专利文献1中，记载有一种图案形成装置，其适用使用可挠性金属平板状凹版的印刷法，来形成液晶显示器的彩色滤光片(colorfilter)或等离子体(plasma)显示器的银电极。本文献中记载的图案形成装置是通过喷墨方式来对凹版内填充油墨(上墨)，使填充在凹版内的油墨的溶剂蒸发，且使凹版与被印刷体进行对位并密接，按压凹版以将油墨转印至被印刷体。在专利文献2中，记载有一种印刷法，其对凹版内填充油墨(墨水)，去除凹版平部的油墨，使凹部的油墨蒸发以使油墨产生粘着性、凝聚性，由此在基板上100％填充油墨。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2005-81726号公报专利文献2：日本专利特开2010-201906号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，专利文献1中记载的图案形成装置虽使填充在凹版内的油墨的溶剂蒸发，但油墨不会失去粘性。如此，将凹版的油墨转印至被印刷体时油墨具有粘性(流动性)，因此自被印刷体剥离凹版后油墨会流动，从而导致油墨难以保持凹版的形状。专利文献2中记载的印刷法采用在凹版的整个面上涂布油墨并利用刮刀(blade)等来去除多余的油墨的结构，难以削减油墨的消耗量。而且，难以兼顾污版(在平部上存在残留油墨)的防止与微细图案的再现性。例如，在为了防止污版而利用刮刀等自凹版去除多余油墨时，若加强刮刀等对凹版的接触，则有可能也自凹部中去除油墨，从而微细图案的再现性成为问题。另一方面，若以微细图案的再现性为优先而减弱对凹版的接触，则有可能产生污版。进而，由于对凹版使用硅酮橡胶(siliconerubber)，因此在自凹版的平部去除多余的油墨时，凹版会发生磨耗，因此耐久性成为问题。进而，去除油墨时的图案依存性成为问题，难以形成任意图案。即，在沿相对于刮刀的长度方向而正交的方向为长的直线状图案的情况下，当利用刮刀来自凹版去除油墨时，刮刀的刃会稍许进入凹版的凹部内，因此有可能自凹部内去除油墨。因此，难以精度良好地形成沿相对于刮刀的长度方向而正交的方向为长的直线状图案，在图案的形成上产生限制。本专利技术是有鉴于此种情况而完成，其目的在于提供一种可通过使用凹版的印刷法来形成优选的微细图案的印刷装置及印刷方法。解决问题的技术手段为了达成上述目的，本专利技术的印刷装置包括：印刷版，形成有凹部，该凹部的形状与形成于基板上的图案对应；上墨处理部，具备进行上墨处理的喷墨头，该上墨处理是将分散有图案的材料粒子的液体喷出至印刷版的凹部的内部；贴合处理部，进行贴合处理，该贴合处理是在印刷版的凹部的内部配置有液体的状态下，将基板贴合至印刷版的形成有凹部的面；后干燥处理部，在将基板贴合至印刷版的形成有凹部的面的状态下，对凹部内部的液体实施干燥处理，以使液体的流动性降低；以及剥离处理部，在后干燥处理部的干燥处理后，使印刷版与基板剥离。专利技术的效果根据本专利技术，通过上墨处理部来在印刷版的凹部内配置液体，将印刷版与基板予以贴合后，在使印刷版与基板贴合的状态下实施干燥处理，以使流动性降低至印刷版的凹部内的液体的形状得以保持的程度，因此在使印刷版与基板剥离之后，可抑制基板上的液体的流动，保持与印刷版的凹部形状对应的基板上的液体形状。因此，可实现印刷版的污版(平部上存在残留液体)的防止、与形成于基板上的微细图案的再现性的兼顾。附图说明图1是表示本专利技术的实施方式的印刷装置的概略结构的整体结构图。图2是图1所示的印刷装置的上墨处理部的概略结构图。图3A是表示图2所示的喷墨头的喷嘴(nozzle)配置的平面图。图3B是表示喷墨头的其他结构例的平面图。图4是表示图1所示的印刷装置的控制系统的概略结构的方块图。图5A是上墨处理步骤的说明图。图5B是上墨处理步骤的其他说明图。图5C是前干燥步骤的说明图。图5D是贴合步骤的说明图。图6A是后干燥步骤的说明图。图6B是剥离步骤的说明图。图7A及图7B是油墨的膜厚与油墨的接触角的说明图。图8是表示其他装置结构的整体结构图。图9A是表示在对于交错(interlace)滴注优选的装置的整体结构图中的上墨处理步骤的状态的图。图9B是表示在对于交错滴注优选的装置的整体结构图中的贴合处理步骤后的状态的图。图10A是表示在交错滴注中第1扫描后的液体的配置的说明图。图10B是表示在交错滴注中第2扫描后的液体的配置的说明图。图10C是表示在交错滴注中第3扫描后的液体的配置的说明图。图10D是表示在交错滴注中第4扫描后的液体的配置的说明图。符号的说明10：印刷装置12：印刷版12A：凹部14：基板16：印版滚筒20：上墨处理部22：前干燥处理部24：贴合处理部26：后干燥处理部28：剥离处理部30：喷墨头110：搬送控制部114：喷出控制部116：干燥控制部118：贴合处理部120：剥离处理部具体实施方式以下，根据附图来详细说明本专利技术的优选实施方式。[整体结构]图1是表示本专利技术的实施方式的印刷装置的概略结构的整体结构图。该图1所示的印刷装置10尤其适用于印刷电子(printedelectronics)技术，使用形成有微细的图案部(凹部)12A的印刷版(凹版)12，来对作为被印刷体的基板(基材)14转印(形成)印刷版12的图案。印刷装置10是具备如下部分而构成，即：上墨处理部20，在印刷版12的凹部12A内配置油墨(实施上墨处理)；前干燥处理部22，对上墨处理后的印刷版12实施干燥处理；贴合处理部24，将基板14贴合至前干燥处理后的印刷版12；后干燥处理部26(干燥处理部)，对贴合处理后的印刷版12及基板14实施干燥处理；以及剥离处理部28，在后干燥处理部26的干燥处理后使印刷版12与基板14剥离。而且，虽省略图示，但印刷装置10具备：基板供给部，供给作为印刷对象的基板14；以及基板排出部，将已印刷好的基板14排出至装置外部。[上墨处理部]图1所示的上墨处理部20适用所谓的喷墨方式。即，对于被卷绕在印版滚筒(platecylinder)16(相对移动部)的外周面的印刷版12的凹部(图案部)12A，使用使液体(油墨)31A自喷墨头30喷出的喷墨方式，来配置(供给)液体。印刷版12适用形成有与形成在基板上的图案为相同形状的凹部12A的凹版。作为适用于印刷版12的材料的一例，可列举树脂、金属、玻璃等。当将玻璃等脆性材料适用于基板14时，将具有弹性的材料适用于印刷版12。例如可适用氟硅橡胶、丁基橡胶(butylrubber)、乙烯丙烯橡胶(ethylenepropylenerubber)、腈橡胶(nitrilerubber)、氯丁橡胶(neoprenerubber)、海帕伦橡胶(Hypalonrubber)、氨酯橡胶(urethanerubber)等各种弹性体(elastomer)。就与基板14的脱模性佳的观点考虑本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种印刷装置，包括：印刷版，形成有凹部，所述凹部的形状与形成于基板上的图案对应；上墨处理部，具备进行上墨处理的喷墨头，所述上墨处理是将分散有所述图案的材料粒子的液体喷出至所述印刷版的凹部的内部；贴合处理部，进行贴合处理，所述贴合处理是在所述印刷版的凹部的内部配置有液体的状态下，将所述基板贴合至所述印刷版的形成有所述凹部的面；干燥处理部，在将所述基板贴合至所述印刷版的形成有所述凹部的面的状态下，对所述凹部内部的液体实施干燥处理，以使所述液体的流动性降低；以及剥离处理部，在所述干燥处理部的干燥处理后，使所述印刷版与所述基板剥离。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.03.26 JP 2013-0644981.一种印刷装置，包括：印刷版，形成有凹部，所述凹部的形状与形成于基板上的图案对应；上墨处理部，具备进行上墨处理的喷墨头，所述上墨处理是将分散有所述图案的材料粒子的液体喷出至所述印刷版的凹部的内部；贴合处理部，进行贴合处理，所述贴合处理是在所述印刷版的凹部的内部配置有液体的状态下，将所述基板贴合至所述印刷版的形成有所述凹部的面；后干燥处理部，在将所述基板贴合至所述印刷版的形成有所述凹部的面的状态下，对所述凹部内部的液体实施干燥处理，以使所述液体的流动性降低；以及剥离处理部，在所述后干燥处理部的干燥处理后，使所述印刷版与所述基板剥离。2.根据权利要求1所述的印刷装置，包括：前干燥处理部，在所述贴合处理部的处理之前，对所述上墨处理部的处理后的配置于所述印刷版的所述凹部内的液体实施干燥处理，通过所述前干燥处理部的干燥处理来使所述凹部内部的液体的体积减少，且使所述凹部内部的液体的流动性降低。3.根据权利要求2所述的印刷装置，其中所述后干燥处理部使所述前干燥处理部的干燥处理后的液体的流动性进一步降低。4.根据权利要求1至3中任一项所述的印刷装置，其中当配置于所述印刷版的所述凹部内部的液体在所述后干燥处理部的干燥处理后的厚度为0.5微米以上且3.0微米以下时，所述印刷版的所述凹部的内部相对于所使用的液体的接触角为100度以上。5.根据权利要求1至3中任一项所述的印刷装置，其中当配置于所述印刷版的所述凹部内部的液体在所述后干燥处理部的干燥处理后的厚度小于0.5微米时，所述印刷版的所述凹部的内部相对于所使用的液体的接触角为70度以上。6.根据权利要求1至3中任一项所述的印刷装置，其中所述印刷版使用硅酮橡胶或氟橡胶。7.根据权利要求1至3中任一项所述的印刷装置，包括：相对移动部，使所述印刷版与所述喷墨头相对移动；以及喷出控制部，控制所述喷墨头的液体喷出，所述喷出控制部在所述相对移动部对所述印刷版与所述喷墨头的1次相对移动中，使所述液体离散地配置于所述凹部的内部，通过所述相对移动部对所述印刷版与所述喷墨头的多次相对移动，对预定的所述凹部内部的所有的液体的配置位置来配置液体。8.根据权利要求7所述的印刷装置，其中所述喷墨头为整...

【专利技术属性】
技术研发人员：児玉宪一，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP