一种微量液体泄漏侦测系统技术方案

本发明专利技术公开了一种微量液体泄漏侦测系统，其包括：漏液检测模块，其贴合设置在待检测部位上，用于在待检测部位存在液体泄漏时产生第一漏液响应信号；电流放大模块，其与漏液检测模块连接，用于对第一漏液响应信号进行电流放大，得到第二漏液响应信号；I/O模块，其与电流放大模块连接，用于根据接收到的第二漏液响应信号产生漏液状态信号；监测模块，其与I/O模块连接，其用于根据漏液状态信号确定待检测部位是否存在微量液体泄漏，从而实现对待检测部位是否存在微量液体泄漏的侦测。该系统能够侦测微量液体泄漏，并作出极早期预警，方便工作人员尽早发现微量泄漏源并及时处理，从而避免了出现液体大量泄漏的事故，避免了人员伤亡和财产损失。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体
，具体地说，涉及一种微量液体泄漏侦测系统。
技术介绍
在半导体和面板等电子行业生产过程中会使用到各种液态化学品和水。在输送这些液态化学品和水过程中，设备、管道阀门和法兰连接处由于长期处于压力作用，在这些位置处很可能会导致出现微量液体泄漏。如果不能及时发现并处理这些泄漏点，则可能会导致出现大量液体泄漏事故，从而危及人身安全并造成财产损失。目前在电子行业中广泛采用的液体泄漏侦测系统只能侦测大量液体泄漏，而对于微量液体泄漏的情况，这些侦测系统则无法进行准确、可靠地侦测，也就无法作出极早期预目ο
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是为了解决现有的漏液侦测系统只能够侦测大量液体泄漏而无法侦测微量液体泄漏的问题。为解决上述问题，本专利技术的一个实施例首先提供了一种微量液体泄漏侦测系统，所述系统包括:漏液检测模块，其贴合设置在待检测部位上，用于在待检测部位存在液体泄漏时产生第一漏液响应信号；电流放大模块，其与所述漏液检测模块连接，用于对所述第一漏液响应信号进行电流放大，得到第二漏液响应信号；I/O模块，其与所述电流放大模块连接，用于根据接收到的所述第二漏液响应信号产生漏液状态信号；监测模块，其与所述I/O模块连接，其用于根据所述漏液状态信号确定所述待检测部位是否存在微量液体泄漏，从而实现对所述待检测部位是否存在微量液体泄漏的侦测。根据本专利技术的一个实施例，所述漏液检测模块包括多个漏液检测单元，所述电流放大模块包括多个电流放大单元，所述多个漏液检测单元贴合设置在多个待检测部位上且与所述多个电流放大单元对应连接，所述多个电流放大单元还与所述I/O模块的多个外接端口对应连接。根据本专利技术的一个实施例，所述监测模块还能够根据所述漏液状态信号，从所述多个待检测部位中确定出存在微量液体泄露的待检测部位，从而实现漏液的定位。根据本专利技术的一个实施例，所述漏液检测模块包括漏液检测带，所述漏液检测带包括互不导通的第一检测电极和第二检测电极，其中，当所述漏液检测模块中存在液体时，所述第一检测电极与第二检测电极之间的电连接导通。根据本专利技术的一个实施例，所述第一检测电极和第二检测电极通过所述电流放大模块与所述I/O模块的两个外接端口对应连接。根据本专利技术的一个实施例，在进行微量漏液检测时，所述I/O模块配置为向所述第一检测电极施加预设激励信号，使得所述第一检测电极与第二检测电极之间存在预设电压差。根据本专利技术的一个实施例，所述预设电压差的取值范围包括。根据本专利技术的一个实施例，所述第一检测电极和第二检测电极为柔性电极。根据本专利技术的一个实施例，所述漏液检测带还包括柔性透明的护套，所述护套包裹住所述第一检测电极和第二检测电极。根据本专利技术的一个实施例，所述系统还包括:告警模块，其与所述监测模块连接，当所述监测模块确定出所述待检测部位存在微量液体泄漏时，所述检测模块还能够产生告警信号，以控制所述告警模块进行告警提示。从上述描述中可以看出，本专利技术所提供的微量液体泄漏侦测系统将漏液检测模块贴合设置在待检测部位(例如重要设备和管道的阀门以及法兰连接处)，只要待检测部位发生微量液体泄漏，那么漏液检测模块便可以产生对应的漏液响应信号，最终由监测模块根据该电流信号确定出发生液体泄露的待检测部位，并通过告警模块进行告警提示。该系统能够侦测微量液体泄漏，并作出极早期预警，方便工作人员尽早发现微量泄漏源并及时处理，从而避免了出现液体大量泄漏的事故，避免了人员伤亡和财产损失。本专利技术的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本专利技术而了解。本专利技术的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。【附图说明】为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要的附图做简单的介绍:图1是根据本专利技术一个实施例的微量液体泄漏侦测系统的结构示意图；图2是根据本专利技术一个实施例的漏液检测带的结构示意图；图3是根据本专利技术一个实施例的微量液体泄漏侦测系统的结构示意图。【具体实施方式】以下将结合附图及实施例来详细说明本专利技术的实施方式，借此对本专利技术如何应用技术手段来解决技术问题，并达成技术效果的实现过程能充分理解并据以实施。需要说明的是，只要不构成冲突，本专利技术中的各个实施例以及各实施例中的各个特征可以相互结合，所形成的技术方案均在本专利技术的保护范围之内。同时，在以下说明中，出于解释的目的而阐述了许多具体细节，以提供对本专利技术实施例的彻底理解。然而，对本领域的技术人员来说显而易见的是，本专利技术可以不用这里的具体细节或者所描述的特定方式来实施。图1示出了本实施例所提供的微量液体泄漏侦测系统的结构示意图。如图1所示，微量漏液泄漏侦测系统包括:漏液检测模块101、电流放大模块102、I/o模块103以及监测模块104。其中，在使用时，漏液检测模块101贴合设置在待检测部位上。当待检测部位出现液体泄漏时，漏液检测模块101将产生第一漏液响应信号。电流放大模块102连接在漏液检测模块101与I/O模块103之间，其能够将接收到的第一漏液响应信号进行电流放大从而得到第二漏液响应信号，并将第二漏液响应信号传输给I/O模块103以进行进一步的处理。具体地，如图2所示，本实施例中，漏液检测模块101采用了漏液检测带来实现。该漏液检测带包括第一检测电极201和第二检测电极202。其中，在正常情况下(即待检测部位不存在漏液时)，第一检测电极201与第二检测电极202互不导通。当然，在本专利技术的其他实施例中，漏液检测模块101还可以采用其他合理的元器件或电路来实现，本专利技术不限于此。在使用的过程中，漏液检测带贴合设置在待检测部位的表面，并且第一检测电极201与第二检测电极202之间存在预设电压电压差。具体地，本实施例中，第一检测电极201与第二检测电极202之间的电压差为24V。当然，在本专利技术的其他实施例中，第一检测电极201与第二检测电极202之间的电压差还可以配置为其他合理值，本专利技术同样不限于此。例如，在本专利技术的不同实施例中，第一检测电极201与第二检测电极202之间的电压差还可以配置为中的其他合理值，诸如15V、20V以及28V等。在正常情况下(即待检测部位不存在漏液时)，由于第一检测电极201与第二检测电极202之间互不导通，因此此时漏液检测带也就没有电流输出。而当待检测部位(例如设备和管道阀门以及法兰连接处)出现微量漏液时，液体便会侵入到贴合设置在待检测部位的漏液检测带中。由于液体的导电作用，此时第一检测电极201与第二检测电极202之间的电连接将会导通，这样漏液检测带便会输出电流信号，该电流信号也就是第一漏液响应信号。由于漏液检测带是贴合在待检测部位表面的，并且只要微量的液体侵入到漏液检测带中便可以使得漏液检测带中的第一检测电极201与第二检测电极202之间的电来接导通，因此本实施例所提供的漏液侦测系统便能够准确地侦测到待检测部位是否存在微量漏液。本实施例中，漏液检测带具有柔性透明的护套203，这样，漏液检测带便可以更加紧密地贴合在待检测部位上，从而使得得到的漏液信息更加准确。具体地，本实施例中，漏液检测带的护套203优选地采用苯乙烯材料制成。当然。在本专利技术的其他实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微量液体泄漏侦测系统，其特征在于，所述系统包括：漏液检测模块，其贴合设置在待检测部位上，用于在待检测部位存在液体泄漏时产生第一漏液响应信号；电流放大模块，其与所述漏液检测模块连接，用于对所述第一漏液响应信号进行电流放大，得到第二漏液响应信号；I/O模块，其与所述电流放大模块连接，用于根据接收到的所述第二漏液响应信号产生漏液状态信号；监测模块，其与所述I/O模块连接，其用于根据所述漏液状态信号确定所述待检测部位是否存在微量液体泄漏，从而实现对所述待检测部位是否存在微量液体泄漏的侦测。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：罗钰萌，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42