感应化学液体泄漏的装置和方法制造方法及图纸

提供一种感应化学液体泄漏的装置和方法。用于感应化学液体泄漏的装置包括测量提供到处理室的化学液体流速的感应单元、使用测定的化学液体流速来判断是否发生化学液体泄漏并且产生控制信号的过程控制单元、和接收控制信号的输入并控制设备运转的设备控制单元。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，更具体地说，涉及 一种不但在准备步骤而且在过程进行期间皆可使用流量计来感应化学液 体泄漏的。
技术介绍
最近，例如液晶显示器(LCD)、等离子显示面板(PDP)及类似的 图像显示设备已快速取代了传统的CRT (阴极射线管显示器)。这类显示 器设备使用通常称为平板显示器(FPD)的基板。为了制造平板显示器，要完成很多过程，例如基板制造过程、元件制 造过程、模块制造过程等等。具体地说，在基板制造过程中，为了在基板 上形成不同种类的图样，光刻工艺从清洗过程开始就典型地被使用。光刻工艺包括在基板上形成的铺料上涂布光刻胶；为了挥发光刻胶溶 剂而烘干光刻胶溶剂；在相对低的温度下完成光刻胶的软烘(soft baking); 在光刻胶上放置光掩模之后根据在光掩模上形成的图样曝光光刻胶层；显 影曝光的光刻胶层；在相对高的温度下对显影的光刻胶实施硬烘(hard baking);以及使通过光刻胶层曝光的铺料形成图样。另一方面，在包括光刻胶涂布过程的许多过程中，使用狭缝喷嘴等将不同种类的化学液体加到基板上。因此，当施加化学液体时，感应和防止 可能发生在阀门或导管中的化学液体的泄漏是非常重要的。为了感应化学液体的泄漏，传统上使用电容型传感器。电容型传感 器是非接触类型的传感器，其利用被检测的物体和地面之间电容的改变， 并且当被检测的物体接近传感器的检测表面时，输出检测信号。如果被检 测的物体靠近，由于静电感应而其极化增强，则传感器的电容增加，而如 果物体开始从传感器的检测表面离开，由于其极化减弱，则传感器的电容 减少。电容型传感器通过检测电容变化的量来感应物体的存在/不存在。具 体地说，电容型传感器以这种一种方式检测物体，S卩，如果物体靠近传感 器，则传感器的电容增大引起传感器的输出电压的振幅也加大，并且传感 器的输出单元通过电压振幅的放大进行操作来检测物体。通过使用电容型 传感器，不仅可实施物体的位置检测和定位停止控制，而且还可检测液体 的存在/不存在以及水平。传统上，也使用流量计来感应化学液体的泄漏。化学液体泄漏的量使 用流量计来测量，并且如果测定的泄漏量超出预定的值，则将化学液体的 泄漏状态报告给使用者。然而，用于感应化学液体泄漏的传统装置具有以下问题。在使用电容型传感器感应化学液体的泄漏的情况下，不能感应少量化 学液体的泄漏。具体地说，不能感应发生在基板背面的化学液体泄漏。因 此，为了感应这种少量化学液体的泄漏，就要安装独立的传感器。同样，在使用流量计感应化学液体泄漏的情况下，泄漏仅在执行完整 过程前的准备步骤时可被感应。因此，在过程进行期间或者化学液体的施 加被中断的情况下，不能感应化学液体的泄漏。
技术实现思路
因此，本专利技术就是为了解决出现在现有技术中的上述问题，并且本发 明的一个目的是提供一种，其不仅在准备 步骤而且在过程进行期间也可以使用流量计来感应化学液体的泄漏，以防止因化学液体的泄漏而引起的基板损耗以及过程劣势，并且因此而提高处 理效率。本专利技术更多的优点、目的以及特点一部分将在下面的说明书中阐明， 一部分对本领域普通技术人员来说通过阅读以下内容就会变得显而易见， 或者可以从本专利技术的实施中学会。为了实现这些目的，根据本专利技术，提供一种用于感应化学液体泄漏的 装置，其包括测量提供到处理室的化学液体流速的感应单元；使用测定的化学液体的流速来判断是否发生化学液体泄漏以及产生控制信号的过程控制单元；接收控制信号的输入并且控制设备运转的设备控制单元。本专利技术的另一方面提供一种感应化学液体泄漏的方法，其包括测量提 供到处理室的化学液体流速；使用测定的化学液体的流速来判断是否发生 化学液体泄漏；根据是否发生化学液体泄漏来产生控制信号；以及接收控 制信号的输入并且控制设备的运转。附图说明结合相应的附图，从以下的说明中，本专利技术的以上和其他目的、特征 和优点将会更加清楚，其中图1是示意性表示用于制造平板装备的涂布化学液体的典型装置的透 视图；图2是示意性表示根据本专利技术的具体实施例，用于感应化学液体泄漏 的装置的构造结构图；图3是说明在过程进行期间使用如图2所示的感应化学液体泄漏的装 置来判断化学液体泄漏的视图；图4是表示根据本专利技术的具体实施例，使用感应化学液体泄漏的装置 来感应化学液体泄漏的方法的流程图；以及图5是表示在如图4所示的感应化学液体泄漏的方法中判断是否发生 化学液体泄漏的过程的流程图。具体实施方式下文中，参照附图对本专利技术的优选实施例进行详细描述。参见参照附 图描述的具体实施例，本专利技术的观点和特征以及实现本观点和特征的方法 将会显而易见。然而，本专利技术不限于在这里公开的具体实施例，其还可以 通过不同的形式来实现。在说明书中定义的事物，例如详细的构造和原理 只是提供帮助本领域普通技术人员充分理解本专利技术的特定说明，并且本发 明仅限定在权利要求的范围内。在本专利技术的整个说明中，相一附图标记在 全部附图中被用于相同的元件。下文中，参考附图详细描述一种根据本专利技术的具体实施例的感应化学 液体泄漏的装置和方法。图1是示意性表示用于制造平板装备的涂布化学液体的典型装置的透 视图。尽管不同种类的半导体制造设备都已被使用，还是以用于制造平板装 备的涂布化学液体的装置作为例子进行详细描述。如图1所示，用于制造平板显示器的涂布化学液体的化学液体涂布装置1包括在基板10上涂布化学液体的狭缝喷嘴20，以及提供化学液体到 狭缝喷嘴20的化学液体供给单元30。在这里，化学液体供给单元30包括保存和提供化学液体的化学液体 贮藏单元31、连接至化学液体贮藏单元31来传输化学液体的导管32、调 整化学液体供应量的阀门33、测量化学液体供应量的流量计34、以及连 接在狭缝喷嘴20和导管32之间用于提供化学液体到狭缝喷嘴20的化学 液体补给线35。化学液体贮藏单元31在此贮藏要被涂布到基板10表面上的化学液 体，例如显影剂(如2.38。/。TMAH溶液)。导管32用于传输化学液体，并且提供有阀门33来调整化学液体的供 应量。导管32通过化学液体补给线35连接至狭缝喷嘴20，并且通过化学 液体补给线35将化学液体均匀地供给至整个狭缝喷嘴20。为了调整化学液体的供应量，阀门33固定地设定被喷涂的化学液体 的流速。优选地，电磁阀可用于调整化学液体的供应量。流量计34用于测量化学液体的供应量，并且其可被安装在导管32上。化学液体补给线35可由全氟烷管(perfluoroalkoxy， PFA)形成，并 且，为了快速、均匀地从导管32提供化学液体到狭缝喷嘴20，可提供多 条化学液体补给线。为了使在导管32内部产生的气泡在导管32内上升而 不停留在狭缝喷嘴20，如图1所示的化学液体补给线35被延长成"〕" 形，以使气泡上升所需的空间可以得到保护。在半导体制造过程或者平板显示器制造过程中，狭缝喷嘴20被用于 狭缝型的涂布装置，该装置通过在基板10的宽度方向上纵向形成的喷嘴 在基板10的表面均匀涂布化学液体。为了在基板10的表面均匀涂布化学 液体，化学液体涂布装置1具有一个或一个以上具有不同化学液体流速的 狭缝喷嘴20。为了在基板10上均匀喷涂化学液体，狭缝喷嘴20或者基板 IO在涂布过程期间移动。图2是示意性表示根据本专利技术的具体实施例，用于感应化学液体泄本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于感应化学液体泄漏的装置，包含：　测量提供到处理室的化学液体流速的感应单元；　使用测定的化学液体流速来判断是否发生化学液体泄漏和产生控制信号的过程控制单元；以及　接收控制信号的输入并控制设备运转的设备控制单元。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：金希锡，林泰权，
申请(专利权)人：株式会社细美事，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]