一种弧形石英支架制造技术

本实用新型专利技术提供了一种弧形石英支架，包括弧形底座以及位于弧形底座两端的弧形挡板，在弧形挡板上端开设有半开通的凹槽，在弧形挡板上设置有通孔。弧形底座和挡板均为石英材质。半开通的凹槽用来放置石英棒或金属棒，凹槽的大小和个数根据所使用的石英棒或金属棒的尺寸进行调整。本实用新型专利技术的弧形底座和弧形的挡板可以更好地与腔体进行结合，保证最大的空间利用率；弧形部分的挂装尺寸得到了增加；半开通凹槽对放置进去的石英棒能起到良好的固定作用，防止石英棒的来回移动；弧形挡板上的通孔能够保证气流的均匀性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及石英制品领域，特别涉及一种能用于气相反应的石英支架组件。
技术介绍
由于CVD化学气相沉积法制备石墨烯简单易行，所得石墨烯质量很高，可实现大面积生长，而且较易于转移到各种基体上使用，目前已逐渐成为制备高质量石墨烯薄膜的主要方法。然而用CVD法制备石墨烯需要在高温真空腔体中进行，由于炉管内恒温区的长度与管径的尺寸有限，限制了单次生长石墨烯薄膜的尺寸和面积，难以实现工业化量产。若石墨烯薄膜的尺寸过小，会影响后续的器件应用；若单次生长的数量少，则直接导致生产成本的增加。合适的单个支架设计尤为重要。其次，在化学气相沉积工艺中，当在高温或高压的条件下，会发生明显的热对流，气流的稳定性和分布的均匀性直接影响薄膜生长的均匀性。
技术实现思路
针对现有技术中单次生长石墨烯薄膜的尺寸小和数量少，以及气流分布不均匀的问题，本方法提供了一种弧形石英支架。弧形石英支架，包括弧形底座以及位于弧形底座两端的弧形挡板，在弧形挡板上端开设有半开通的凹槽，在弧形挡板上设置有通孔。进一步地，上述弧形底座和挡板均为石英材质。进一步地，弧形底座的弧度和宽度根据CVD生长腔体的形状和大小进行调整；弧形底座的长度根据CVD生长腔体的保温区长度进行调整；弧形挡板的高度根据CVD生长腔体的直径进行调整。进一步地，上述半开通的凹槽用来放置石英棒或金属棒，凹槽的大小和个数根据所使用的石英棒或金属棒的尺寸进行调整。本技术的有益效果是:弧形底座和弧形的挡板可以更好地与腔体进行结合，保证最大的空间利用率；弧形部分的挂装尺寸得到了增加；半开通凹槽对放置进去的石英棒能起到良好的固定作用，防止石英棒的来回移动；弧形挡板上的通孔能够保证气流的均匀性。【附图说明】附图1是本技术的主视图。附图2是本技术的侧视图。附图3是本技术的俯视图。图中标号:1、石英支架；2、圆形CVD腔体；11、弧形底座；12、弧形挡板；121、挡板上端凹槽；122、挡板通孔；H、石英支架总高度；L、石英支架总长。【具体实施方式】下面结合附图，说明本技术的【具体实施方式】。弧形石英支架包括弧形底座11、位于底座两端的弧形挡板12、位于弧形挡板12上端的凹槽121以及在挡板12上设置的通孔122，弧形底座11和挡板12均为石英材质，所述凹槽121是未贯穿石英挡板的半开通槽，槽大小和形状根据所用支撑杆决定，支撑杆刚好能够放入槽内固定。弧形底座11的弧度和宽度根据CVD生长腔体的形状和大小进行调整；弧形底座的长度根据CVD生长腔体的保温区长度进行调整；弧形挡板的高度根据CVD生长腔体的直径进行调整。本实施例中，石英支架总高度H为10mm ;石英支架总长度L为650mm ;弧形挡板12的两侧为平面而非弧面；凹槽121的数量为4个，均匀分布且中心面对称；挡板通孔122为方形，数量为1，尺寸为35mmX40mm。最后应说明的是:以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。【主权项】1.一种弧形石英支架，其特征在于:包括弧形底座以及位于弧形底座两端的弧形挡板，在弧形挡板上端开设有半开通的凹槽，在弧形挡板上设置有通孔。2.如权利要求1所述的弧形石英支架，其特征在于:所述的弧形底座和挡板均为石英材质。3.如权利要求1所述的弧形石英支架，其特征在于:弧形底座的弧度和宽度根据CVD生长腔体的形状和大小进行调整；弧形底座的长度根据CVD生长腔体的保温区长度进行调整；弧形挡板的高度根据CVD生长腔体的直径进行调整。4.如权利要求1所述的弧形石英支架，其特征在于:所述半开通的凹槽用来放置石英棒或金属棒，凹槽的大小和个数根据所使用的石英棒或金属棒的尺寸进行调整。【专利摘要】本技术提供了一种弧形石英支架，包括弧形底座以及位于弧形底座两端的弧形挡板，在弧形挡板上端开设有半开通的凹槽，在弧形挡板上设置有通孔。弧形底座和挡板均为石英材质。半开通的凹槽用来放置石英棒或金属棒，凹槽的大小和个数根据所使用的石英棒或金属棒的尺寸进行调整。本技术的弧形底座和弧形的挡板可以更好地与腔体进行结合，保证最大的空间利用率；弧形部分的挂装尺寸得到了增加；半开通凹槽对放置进去的石英棒能起到良好的固定作用，防止石英棒的来回移动；弧形挡板上的通孔能够保证气流的均匀性。【IPC分类】C23C16/458【公开号】CN204702805【申请号】CN201520368809【专利技术人】蒋健伟, 廖威 【申请人】无锡格菲电子薄膜科技有限公司【公开日】2015年10月14日【申请日】2015年6月2日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弧形石英支架，其特征在于：包括弧形底座以及位于弧形底座两端的弧形挡板，在弧形挡板上端开设有半开通的凹槽，在弧形挡板上设置有通孔。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋健伟，廖威，
申请(专利权)人：无锡格菲电子薄膜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32