本实用新型专利技术涉及硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装，包含导轨以及位于其上的夹具支座，导轨底部安装有线圈，线圈连接电源和控制单元，夹具支座上设有用于夹持硬盘盘片的夹具，夹具支座内装有电磁体；通电后，导轨线圈产生的磁场极性与夹具支座上的电磁体极性保持相同，两者同性相斥，排斥力使夹具支座悬浮。利用磁性同性相斥的原理产生的推力高于地心引力，使工装平稳地悬浮在流水线轨道上方约3mm，通过控制工装及流水线的磁力大小，使工装运行平稳。磁悬浮原理，改变原有机械导轨安装方式，使夹持工装脱离基座进行流水作业，减少换型时间，减少机械摩擦而产生的微小颗粒而污染镀膜工艺所需的真空环境，从而提高产品的合格率及效率。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装。
技术介绍
目前，硬盘盘片真空溅射镀膜所采用的夹持工装为机械导轨安装方式进行流水作业，不仅增加了换型时间，使机械之间产生摩擦，而且影响精度、污染真空环境，造成产品不良。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装。本技术的目的通过以下技术方案来实现:硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装，特点是:包含导轨以及位于其上的夹具支座，所述导轨底部安装有线圈，线圈连接电源和控制单元，所述夹具支座上设有用于夹持硬盘盘片的夹具，夹具支座内装有电磁体；通电后，导轨线圈产生的磁场极性与夹具支座上的电磁体极性保持相同，两者同性相斥，排斥力使夹具支座悬浮。进一步地，上述的硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装，其中，所述导轨两侧装有线圈，交流电使线圈变为电磁体，与夹具支座上的电磁体相互作用，使夹具支座前行。更进一步地，上述的硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装，其中，所述夹具支座内间隔分布有数个电磁体。再进一步地，上述的硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装，其中，所述夹具支座与导轨之间的悬浮间隙为3mm ο本技术技术方案突出的实质性特点和显著的进步主要体现在:本技术利用磁性同性相斥的原理产生的推力高于地心引力，使工装平稳地悬浮在流水线轨道上方约3_，通过控制工装及流水线的磁力大小，使工装运行平稳。磁悬浮原理，改变原有机械导轨安装方式，使夹持工装脱离基座进行流水作业，减少换型时间，减少机械摩擦而产生的微小颗粒而污染镀膜工艺所需的真空坏境，从而提高产品的合格率及效率。通过测试磁力值，使运行及悬浮效果最佳。【附图说明】下面结合附图对本技术技术方案作进一步说明:图1:本技术的结构示意图；图2:夹具支座的结构示意图。【具体实施方式】如图1、图2所示，硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装，包含导轨I以及位于其上的夹具支座3，导轨底部安装有线圈2，线圈2连接电源7和控制单元7，夹具支座3上设有用于夹持硬盘盘片5的夹具4，夹具支座3内间隔分布有数个电磁体6 ;通电后，导轨线圈2产生的磁场极性与夹具支座上的电磁体6极性保持相同，两者同性相斥，排斥力使夹具支座悬浮起来，夹具支座与导轨之间的悬浮间隙为3_。另外，导轨I两侧装有线圈，交流电使线圈变为电磁体，与夹具支座上的电磁体相互作用，使夹具支座前行。利用同性相斥、异性相吸的原理，使夹具支座3脱离导轨I，悬浮在距离轨道约I厘米处。夹具悬浮在导轨上前行，须精确控制电磁铁的电流。磁性同性相斥的原理产生的推力高于地心引力，使工装平稳地悬浮在流水线轨道上方约3_。通过控制工装及流水线的磁力大小，使工装运行平稳。利用磁悬浮原理，改变原有机械导轨安装方式，使夹持工装脱离基座进行流水作业，减少换型时间，减少机械摩擦而产生的微小颗粒而污染镀膜工艺所需的真空坏境，从而提高产品的合格率及效率。通过测试磁力值，使运行及悬浮效果最佳。需要理解到的是:以上所述仅是本技术的优选实施方式，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。【主权项】1.硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装，其特征在于:包含导轨以及位于其上的夹具支座，所述导轨底部安装有线圈，线圈连接电源和控制单元，所述夹具支座上设有用于夹持硬盘盘片的夹具，夹具支座内装有电磁体；通电后，导轨线圈产生的磁场极性与夹具支座上的电磁体极性保持相同，两者同性相斥，排斥力使夹具支座悬浮。2.根据权利要求1所述的硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装，其特征在于:所述导轨两侧装有线圈。3.根据权利要求1所述的硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装，其特征在于:所述夹具支座内间隔分布有数个电磁体。4.根据权利要求1所述的硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装，其特征在于:所述夹具支座与导轨之间的悬浮间隙为3_。【专利摘要】本技术涉及硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装，包含导轨以及位于其上的夹具支座，导轨底部安装有线圈，线圈连接电源和控制单元，夹具支座上设有用于夹持硬盘盘片的夹具，夹具支座内装有电磁体；通电后，导轨线圈产生的磁场极性与夹具支座上的电磁体极性保持相同，两者同性相斥，排斥力使夹具支座悬浮。利用磁性同性相斥的原理产生的推力高于地心引力，使工装平稳地悬浮在流水线轨道上方约3mm，通过控制工装及流水线的磁力大小，使工装运行平稳。磁悬浮原理，改变原有机械导轨安装方式，使夹持工装脱离基座进行流水作业，减少换型时间，减少机械摩擦而产生的微小颗粒而污染镀膜工艺所需的真空环境，从而提高产品的合格率及效率。【IPC分类】C23C14/50, C23C14/34【公开号】CN204676146【申请号】CN201520401387【专利技术人】王忠明, 郑广扣, 陈勇 【申请人】科瑞自动化技术（苏州）有限公司【公开日】2015年9月30日【申请日】2015年6月11日本文档来自技高网...
【技术保护点】
硬盘盘片真空溅射镀膜夹持工装，其特征在于：包含导轨以及位于其上的夹具支座，所述导轨底部安装有线圈，线圈连接电源和控制单元，所述夹具支座上设有用于夹持硬盘盘片的夹具，夹具支座内装有电磁体；通电后，导轨线圈产生的磁场极性与夹具支座上的电磁体极性保持相同，两者同性相斥，排斥力使夹具支座悬浮。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王忠明，郑广扣，陈勇，
申请(专利权)人：科瑞自动化技术苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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