板状物的加工方法技术

本发明专利技术提供一种板状物的加工方法，其能够在玻璃基板等板状物中高效地形成所期望的形状的贯穿口。板状物的加工方法包括：贯穿口轮廓形成工序，利用具备照射激光光线的聚光器的脉冲激光光线照射构件，将对于板状物具有透射性的波长的脉冲激光光线的聚光点定位于板状物的内部，并沿着待形成的贯穿口的轮廓照射所述脉冲激光光线，由此在板状物的内部沿着待形成的贯穿口的轮廓实施激光加工；和贯穿口形成工序，与实施了贯穿口轮廓形成工序后的板状物的待形成的贯穿口的轮廓相对应地定位超声波施加构件的超声波振子，并使超声波起作用，由此将进行了激光加工后的待形成的贯穿口的轮廓破坏掉，从而在板状物中形成贯穿口。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在玻璃基板等板状物上形成所期望的形状的贯穿口的板状物的加工 方法。
技术介绍
智能手机等的操作画面由玻璃基板形成，可以一边观察画面一边选择各种应用程 序。在这样的用于操作画面的玻璃基板上，以设置扬声器和照相机为目的，设有贯穿口。 作为在上述玻璃基板上形成贯穿口的方法，在下述专利文献1中记载了这样的方 法：通过实施喷砂处理形成孔，并对该孔的周围实施蚀刻处理。 专利文献1 :日本特开2013-91582 可是，喷砂处理和蚀刻处理加工需要较长的时间，从而存在生产率较低这样的问 题。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述情况而完成的，其主要的技术课题在于提供一种能够在玻璃基 板等板状物上高效地形成所期望的形状的贯穿口的。 为了解决上述主要的技术课题，根据本专利技术，提供一种，其是在 板状物上形成所期望的形状的贯穿口的加工方法，所述的特征在于，所 述包括：贯穿口轮廓形成工序，利用具备照射激光光线的聚光器的脉冲 激光光线照射构件，将对于板状物具有透射性的波长的脉冲激光光线的聚光点定位于板状 物的内部，沿着待形成的贯穿口的轮廓照射所述脉冲激光光线，由此在板状物的内部沿着 待形成的贯穿口的轮廓实施激光加工；和贯穿口形成工序，与实施了该贯穿口轮廓形成工 序后的板状物的待形成的贯穿口的轮廓相对应地定位超声波施加构件的超声波振子来作 用超声波，由此将进行了激光加工后的待形成的贯穿口的轮廓破坏掉，在板状物中形成贯 穿口。 优选的是，上述聚光器的聚光透镜的数值孔径（NA)除以板状物的折射率（N)所得 到的值被设定在〇. 05~0. 2的范围内，在上述贯穿口轮廓形成工序中，通过将脉冲激光光 线的聚光点定位于板状物的内部而照射脉冲激光光线，在板状物中，在聚光点与脉冲激光 光线入射的一侧之间，沿着待形成的贯穿口的轮廓形成遮护隧洞，该遮护隧洞是使细孔和 遮护该细孔的非晶质生长而成的。 优选的是，上述板状物为石英玻璃基板，聚光器的聚光透镜的数值孔径（NA)被设 定在0. 1~0. 025的范围内。或者，上述板状物为蓝宝石基板，聚光器的聚光透镜的数值孔 径（NA)被设定在0. 1~0. 035的范围内。 由于本专利技术的由下述工序构成：贯穿口轮廓形成工序，利用具 备照射激光光线的聚光器的脉冲激光光线照射构件，将对于板状物具有透射性的波长的脉 冲激光光线的聚光点定位于板状物的内部，沿着待形成的贯穿口的轮廓照射所述脉冲激光 光线，由此在板状物的内部沿着待形成的贯穿口的轮廓实施激光加工；和贯穿口形成工序， 与实施了该贯穿口轮廓形成工序后的板状物的待形成的贯穿口的轮廓相对应地定位超声 波施加构件的超声波振子来作用超声波，由此将进行了激光加工后的待形成的贯穿口的轮 廓破坏掉，在板状物中形成贯穿口，因此，与以往的加工方法相比较，能够在短时间内形成 所期望的形状的贯穿口。【附图说明】 图1是示出将欲利用本专利技术的进行加工的板状物粘贴在切割 带上的状态的立体图，所述切割带安装于环状的框架上。 图2是用于实施本专利技术的的加工装置的立体图。 图3是在图2所示的加工装置中装备的超声波施加构件的主视图。 图4是利用图2所示的加工装置实施的贯穿口轮廓形成工序的说明图。图5是示出透镜的数值孔径（NA)、板状物的折射率（N)以及以数值孔径（NA)除以 折射率（N)得到的值（S=NA/N)之间的关系的图。 图6是利用图2所示的加工装置实施的改性层形成加工的说明图。 图7是利用图2所示的加工装置实施的贯穿口形成工序的说明图。 标号说明 2 :加工装置； 3:卡盘工作台机构； 36:卡盘工作台； 37 :第1加工进给构件； 38:第2加工进给构件； 4:激光光线照射单元； 5:激光光线照射构件；51 :聚光器；6 :摄像构件；7 :超声波施加构件；71 :超声波振子；711 :振动端子； 10:板状物；F:环状的框架；T:保护带。【具体实施方式】 以下，对于本专利技术的加工方法的优选实施方式，参照附图更加详细地进行说明。 在图1中示出了欲利用本专利技术的进行加工的作为板状物的石 英玻璃基板的立体图。图1所示的板状物10形成为厚度是500ym的矩形形状，在正面上 印有待形成的贯穿口的轮廓101和加工开始位置l〇la。将这样形成的由石英玻璃基板或 蓝宝石基板构成的板状物10粘贴于保护带T的表面上，该保护带T被安装于环状的框架F 上。 图2中示出了用于实施本专利技术的的加工装置的立体图。图2所 示的加工装置2具备：静止基座20 ;卡盘工作台机构3,其以能够沿箭头X所示的X轴方向 移动的方式配设于该静止基座20上，来保持被加工物；以及作为激光光线照射构件的激光 光线照射单元4,其配设于基座20上。 上述卡盘工作台机构3具备：沿X轴方向平行地配设在静止基座20上的一对导轨 31、31 ;以能够沿X轴方向移动的方式配设在该导轨31、31上的第1滑块32 ;以能够沿与X 轴方向垂直的以箭头Y1所示的Y轴方向移动的方式配设在该第1滑块32上的第2滑块33 ; 利用圆筒部件34被支承在该第2滑块33上的支承工作台35 ;和作为被加工物保持构件的 卡盘工作台36。该卡盘工作台36具备由多孔质材料形成的吸附卡盘361，通过使未图示的 抽吸构件动作，由此将作为被加工物的板状物10经由保护带T抽吸保持于吸附卡盘361的 上表面即保持面上。另外，在本实施方式的吸附卡盘361上设有比印在上述板状物10上的 待形成的贯穿口的轮廓101稍大的逸散凹部361a。这样构成的卡盘工作台36借助配设在 圆筒部件34内的未图示的脉冲马达进行旋转。并且，在卡盘工作台36上配设有用于固定 环状的框架F的夹紧件362,该环状的框架F经由保护带T支承板状物10等被加工物。 在上述第1滑块32的下表面上设有与上述一对导轨31、31嵌合的一对被引导槽 321、 321，并且，在上述第1滑块32的上表面上设有沿Y轴方向平行地形成的一对导轨322、 322。 这样构成的第1滑块32构成为通过使被引导槽321、321与一对导轨31、31嵌合而能 够沿一对导轨31、31在X轴方向上移动。本实施方式中的卡盘工作台机构3具备用于使第 1滑块32沿一对导轨31、31在X轴方向上移动的第1加工进给构件37。第1加工进给构 件37包括：平行地配设在上述一对导轨31与31之间的外螺纹杆371 ;和用于驱动该外螺 纹杆371旋转的脉冲马达372等驱动源。外螺纹杆371的一端被轴承块373支承成能够旋 转自如，该轴承块373被固定于上述静止基座20,外螺纹杆371的另一端与上述脉冲马达 372的输出轴以进行传动的方式连结。并且，外螺纹杆371螺合于在未图示的内螺纹块上 形成的贯穿内螺纹孔中，所述未图示的内螺纹块突出地设在第1滑块32的中央部下表面。 因此，通过利用脉冲马达372驱动外螺纹杆371正转和反转，由此使得第1滑块32沿导当前第1页1 2 3 4 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种板状物的加工方法，其是在板状物上形成所期望的形状的贯穿口的加工方法，所述板状物的加工方法的特征在于，所述板状物的加工方法包括：贯穿口轮廓形成工序，利用具备照射激光光线的聚光器的脉冲激光光线照射构件，将对于板状物具有透射性的波长的脉冲激光光线的聚光点定位于板状物的内部，沿着待形成的贯穿口的轮廓照射所述脉冲激光光线，由此在板状物的内部沿着待形成的贯穿口的轮廓实施激光加工；和贯穿口形成工序，与实施了该贯穿口轮廓形成工序后的板状物的待形成的贯穿口的轮廓相对应地定位超声波施加构件的超声波振子来作用超声波，由此将进行了激光加工后的待形成的贯穿口的轮廓破坏掉，在板状物中形成贯穿口。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：武田昇，森数洋司，邱晓明，田篠文照，富樫谦，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本;JP