示教夹具、示教系统及示教方法技术方案

本发明专利技术的课题在于提供一种能够高效地进行示教作业的示教夹具、示教系统、以及示教方法。实施方式涉及的示教夹具具备主体部及发光部。发光部设有至少三个，至少三个发光部设在主体部上，在所述主体部相对于计测部件位于作为目标的位置上时，该至少三个发光部仅位于作为隔着所述计测部件观察主体部的情况下的计测部件的外缘的附近的、外缘的内侧和外侧中的任一侧。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
以往，已知一种进行搬运机器人的示教作业的示教系统，所述搬运机器人搬运半导体晶片等基板。作为示教系统，例如存在具备水平多关节机器人和代替基板载置在收纳容器等上的示教夹具的示教系统，其中，所述水平多关节机器人具有在前端上设有光学传感器的末端执行器。并且，在该示教系统中，在移动末端执行器的同时使用光学传感器检测示教夹具的位置，并基于检测出的位置向搬运机器人示教基板的位置(例如，参考专利文献I)。现有技术文献专利文献专利文献1:国际公开第2003/022534号
技术实现思路
本专利技术要解决的问题然而，在上述的以往的示教系统中，在示教作业的效率方面存在进一步改善的余地。例如，在以往的示教系统中，需要准确地进行示教夹具的设置中所需的对位，并在该作业中需要劳力。另外，由于很难视觉确认存在于装置内的末端执行器，因此，从防止与周围物的接触的观点考虑，需要小心地移动末端执行器，导致作业时间增加。实施方式的一个方案是鉴于上述问题而完成的，其目的是提供能够高效地进行示教作业的。 用于解决问题的方法实施方式的一个方案涉及的示教夹具具备主体部、及至少三个发光部。所述发光部设在主体部上，并仅位于作为隔着计测部件观察所述主体部的情况下的所述计测部件的外缘的附近的、所述外缘的内侧或者外侧中的任一侧。专利技术效果根据实施方式的一个方案，能够高效地进行示教作业。【附图说明】图1是表示使用了实施方式涉及的示教夹具的示教方法的示意图。图2是表示示教系统的配置的示意图。图3A是表示机器人的结构的立体图。图3B是表示手的结构的立体图。图3C是表示示教夹具的结构的立体图。图4是示教系统的框图。图5是表示示教位置中的示教夹具的立体图。图6A是用于说明使用了变形例一涉及的示教夹具的示教方法的说明图(之I)。图6B是用于说明使用了变形例一涉及的示教夹具的示教方法的说明图(之2)。图6C是用于说明使用了变形例一涉及的示教夹具的示教方法的说明图(之3)。图6D是用于说明使用了变形例一涉及的示教夹具的示教方法的说明图(之4)。图7是表示示教位置中的变形例二涉及的示教夹具的立体图。图8是表示示教位置中的变形例三涉及的示教夹具的立体图。图9是表示示教系统执行的处理顺序的流程图。附图标记说明1:示教系统，2:基板搬运部，3:基板供给部，4:基板处理部，10:机器人，11:手，12:臂部，50:控制装置，60、60a、60b、60c:示教夹具，61:主体部，62:发光部，63:电源部，70:检测部，80:计测部件，81:标记。【具体实施方式】以下参考附图，详细说明本申请公开的的实施方式。此外，该专利技术不限于以下表示的实施方式。首先，使用图1来说明使用了实施方式涉及的示教夹具的示教方法。图1所示的示教方法是能够利用来自发光部的光线检测示教夹具位于作为目标的理想位置(例如，计测部件的正下方)上的情况的方法。此外，在图1中，关于使示教夹具与本图所示的XY平面平行地移动的情况进行表示。此外，在图1中，举例说明示教夹具及计测部件为圆板的情况，而这些形状分别不限于圆形或者板状。例如，计测部件也可以是球形等立体形状，如果示教夹具能够将发光部保持在规定的位置上则与其形状无关。如图1所示，实施方式涉及的示教夹具具备主体部、和设在主体部上的发光部。发光部向计测部件照射光线。另外，在所述主体部相对于所述计测部件而位于作为目标的位置上时，发光部例如仅设在后述的虚拟线中的内侧附近、或者外侧附近中的任一侧。即，发光部位于离虚拟线的各个规定距离的位置。在这种情况下，各个规定距离可以根据示教夹具相对于计测部件的对位准确度的要求度来设定。也就是说，当示教夹具相对于计测部件所要求的对位准确度越高时，所述规定距离设定得越短。另外，当示教夹具相对于计测部件所要求的对位准确度越低时，所述规定距离设定得越长。例如，以靠近虚拟线的内侧或者外侧的方式设置发光部。在这里，虚拟线是为了便于说明而使用的概念，是指相当于将计测部件平行地投影在示教夹具上的区域的外周的线。即，虚拟线是指在隔着计测部件观察示教夹具的情况下成为计测部件的外缘和示教夹具的交界的线。首先，如图1所示，说明三个发光部位于虚拟线的内侧附近的情况(参考图1的“涂黑圆”)。在该情况下，如果示教夹具位于计测部件的正下方，则三个发光部照射的光线全部被计测部件遮住。另一方面，如果示教夹具不位于计测部件的正下方，则存在至少一个没有被计测部件遮住光线的发光部。S卩，在将三个发光部配置在虚拟线的内侧附近的情况下，发光部所照射的全部的光线被计测部件遮住的位置成为示教夹具的理想位置。并且，在实施方式涉及的示教方法中，将该位置作为“示教位置”进行存储。此外，到此为止说明了三个发光部位于虚拟线的内周附近的情况，而也可以将三个发光部的位置设在虚拟线的外周附近(参考图1的“空白圆”)。在该情况下，如果示教夹具位于上述的理想位置上，则发光部照射的光线一个也不会被计测部件遮住。另一方面，如果示教夹具偏离理想位置，则存在至少一个被计测部件遮住光线的发光部。S卩，如果使用实施方式涉及的示教夹具，则通过检测来自所有的发光部的光线被遮光的情况，能够容易地检测示教夹具是否位于作为目标的理想位置上。如此，在实施方式涉及的示教方法中，使用具有如上述的发光部的配置的示教夹具，因此，能够容易且准确地进行示教夹具相对于计测部件的对位。在下面，进一步具体说明使用了实施方式涉及的示教夹具的示教方法。此外，在下面，说明三个发光部位于虚拟线的内侧附近的情况(参考图1的“涂黑圆”)。如图1所示，使实施方式涉及的示教夹具向计测部件的下部移动(参考图1的步骤SI)。在该阶段中，示教夹具能够根据计测部件的大概的位置信息进行移动。之后，使示教夹具与图1所示的XY平面平行地移动(参考图1的步骤S2)。然后，重复进行该移动的同时观测发光部的遮光状态。然后，在由发光部照射的全部的光线被计测部件遮住的位置上停止示教夹具的移动(参考图1的步骤S3)。如此，在实施方式涉及的示教夹具中，通过发光部的遮光状态能够容易且准确地检测示教夹具是否位于理想位置上。此外，在上述的图1的说明中，设置了三个发光部，而发光部的数量不限于此，能够设为四个以上的任意的数量。另外，能够任意地设置配置发光部的圆周方向的间隔。优选地，在等间隔地设置发光部之间的间隔的情况下，能够进一步提高示教夹具的位置测定的精密度。例如，能够以连结发光部的位置而成的多边形的面积变大的方式进行配置。另外，以来自发光部的光线的照射方向在图1中与示教夹具的表面垂直的情况为例进行了说明，但来自发光部的光线的照射方向也可以不是与示教夹具的表面垂直的方向。即，只要光线的照射方向相互平行则可以为相对于示教夹具的任意的方向。即，优选来自所有的发光部的光线具有相同的指向性。接着，以下对作为将这样的示教夹具保持在后述的机器人的手上而示出的示教系统进行说明。通过如此设定，能够高效地进行向机器人进行的示教作业。另外，在下面，举例说明将在与环箍之间交接晶片的手的位置作为示教位置的情况，但不限于此，能够将机器人的可动范围内的任意的地方作为示教位置。当前第1页1 2 3 4 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种示教夹具，其中，具备：主体部；以及至少三个发光部，所述发光部设在所述主体部上，在所述主体部相对于计测部件位于目标位置上时，所述发光部仅位于作为隔着所述计测部件观察所述主体部的情况下的所述计测部件的外缘的附近的、所述外缘的内侧或者外侧中的任一侧。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：胜田信一，
申请(专利权)人：株式会社安川电机，
类型：发明
国别省市：日本;JP