一种新型原料研磨设备制造技术

本发明专利技术公开一种新型原料研磨设备，包括：研磨头、孔轴、气流控制器、过滤器、温度控制器，所述研磨头为矩形结构，研磨头内部固定有支架，研磨头内部两侧设有温度控制器，支架上安装有橡胶压膜，该压膜中间部分呈拱形，两端压在待研磨晶圆的上面；晶圆的待研磨表面与研磨垫接触，该研磨垫放置在旋转台上，研磨头上端设有孔轴，孔轴通过过滤器连接于气流控制器。本发明专利技术通过在孔轴上设置过滤器将产生的碎片过滤掉，有效保护控制器不受损坏；过滤器比控制器容易拆却，降低了成本和工作负担。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体生产设备
，具体为一种新型原料研磨设备。
技术介绍
一般研磨装置包括研磨头、供气体流动的孔轴以及控制气体流向、大小的控制器。研磨头内的橡胶压膜将晶圆压在位于旋转台上的研磨垫上。在晶圆的研磨过程中，常常会发生研磨头破损的现象，即压膜与晶圆发生严重碰撞，就会产生大量碎片。产生的碎片在孔轴真空环路的压力作用下，进入孔轴，进而被吸入控制器内。当控制器吸入一定量的碎片后，就会无法正常工作，导致研磨装置发生当机警报。为了减少上述情况的出现，一般孔轴进行定期清洗，但是因为条件的限制，无法彻底洗干净。如果清洗孔轴后，研磨装置仍然发出警报，则需要更换控制器，常常一周就需要更换一次，这样不仅增加了工作人员的工作负荷，降低工作效率，而且增加了生产成本。
技术实现思路
本专利技术所解决的技术问题在于提供一种新型原料研磨设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。本专利技术所解决的技术问题采用以下技术方案来实现:一种新型原料研磨设备，包括:研磨头、孔轴、气流控制器、过滤器、温度控制器，所述研磨头为矩形结构，研磨头内部固定有支架，研磨头内部两侧设有温度控制器，支架上安装有橡胶压膜，该压膜中间部分呈拱形，两端压在待研磨晶圆的上面；晶圆的待研磨表面与研磨垫接触，该研磨垫放置在旋转台上，研磨头上端设有孔轴，孔轴通过过滤器连接于气流控制器。所述研磨垫上设有温度传感器，温度传感器通过单片机连接控制温度控制器。所述孔轴上设有气压表。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是:本专利技术通过在孔轴上设置过滤器将产生的碎片过滤掉，有效保护控制器不受损坏；过滤器比控制器容易拆却，降低了成本和工作负担。【附图说明】图1为本专利技术的结构示意图。【具体实施方式】为了使本专利技术的实现技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本专利技术。如图1所示，一种新型原料研磨设备，包括:研磨头1、孔轴12、气流控制器13、过滤器14、温度控制器15，所述研磨头I为矩形结构，研磨头I内部固定有支架11，研磨头I内部两侧设有温度控制器15，支架上安装有橡胶压膜110，该压膜110中间部分呈拱形，两端压在待研磨晶圆2的上面；晶圆2的待研磨表面与研磨垫3接触，该研磨垫3放置在旋转台4上，研磨头I上端设有孔轴12，孔轴12通过过滤器14连接于气流控制器13。所述研磨垫3上设有温度传感器，温度传感器通过单片机连接控制温度控制器15。所述孔轴12上设有气压表。在使用时，如果晶圆或者压膜发生破损，产生的碎片受到孔轴12真空环路的吸力，沿图中箭头朝向气流控制器13移动，在移动过程中被过滤器14过滤掉，避免进入气流控制器13，提高了气流控制器13的使用寿命。过滤器14结构简单，成本相对气流控制器13低，因此更换过滤器14相较现有技术的更换气流控制器13，有效减低成本。而且更换过滤器14比较方便，降低了工作人员的工作负荷，提高了工作效率。以上显示和描述了本专利技术的基本原理和主要特征和本专利技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本专利技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本专利技术的原理，在不脱离本专利技术精神和范围的前提下，本专利技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本专利技术范围内。本专利技术的要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。【主权项】1.一种新型原料研磨设备，包括:研磨头、孔轴、气流控制器、过滤器、温度控制器，其特征在于:所述研磨头为矩形结构，研磨头内部固定有支架，研磨头内部两侧设有温度控制器，支架上安装有橡胶压膜，该压膜中间部分呈拱形，两端压在待研磨晶圆的上面；晶圆的待研磨表面与研磨垫接触，该研磨垫放置在旋转台上，研磨头上端设有孔轴，孔轴通过过滤器连接于气流控制器，所述研磨垫上设有温度传感器，温度传感器通过单片机连接控制温度控制器，所述孔轴上设有气压表。【专利摘要】本专利技术公开一种新型原料研磨设备，包括：研磨头、孔轴、气流控制器、过滤器、温度控制器，所述研磨头为矩形结构，研磨头内部固定有支架，研磨头内部两侧设有温度控制器，支架上安装有橡胶压膜，该压膜中间部分呈拱形，两端压在待研磨晶圆的上面；晶圆的待研磨表面与研磨垫接触，该研磨垫放置在旋转台上，研磨头上端设有孔轴，孔轴通过过滤器连接于气流控制器。本专利技术通过在孔轴上设置过滤器将产生的碎片过滤掉，有效保护控制器不受损坏；过滤器比控制器容易拆却，降低了成本和工作负担。【IPC分类】B24B37/005, B24B37/11, B24B37/34【公开号】CN104889880【申请号】CN201410088029【专利技术人】陈仁杰 【申请人】贵州印江绿野农牧综合开发有限公司【公开日】2015年9月9日【申请日】2014年3月5日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型原料研磨设备，包括：研磨头、孔轴、气流控制器、过滤器、温度控制器，其特征在于：所述研磨头为矩形结构，研磨头内部固定有支架，研磨头内部两侧设有温度控制器，支架上安装有橡胶压膜，该压膜中间部分呈拱形，两端压在待研磨晶圆的上面；晶圆的待研磨表面与研磨垫接触，该研磨垫放置在旋转台上，研磨头上端设有孔轴，孔轴通过过滤器连接于气流控制器，所述研磨垫上设有温度传感器，温度传感器通过单片机连接控制温度控制器，所述孔轴上设有气压表。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈仁杰，
申请(专利权)人：贵州印江绿野农牧综合开发有限公司，
类型：发明
国别省市：贵州;52