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本发明公开一种新型原料研磨设备，包括：研磨头、孔轴、气流控制器、过滤器、温度控制器，所述研磨头为矩形结构，研磨头内部固定有支架，研磨头内部两侧设有温度控制器，支架上安装有橡胶压膜，该压膜中间部分呈拱形，两端压在待研磨晶圆的上面；晶圆的待研磨...
该专利属于贵州印江绿野农牧综合开发有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过贵州印江绿野农牧综合开发有限公司授权不得商用。

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