感光性树脂组合物、使用其的感光性元件、抗蚀图形的形成方法及触摸面板的制造方法技术

本发明专利技术提供一种感光性树脂组合物以及使用其的感光性元件。本发明专利技术涉及一种正型感光性树脂组合物，其含有：具有不饱和烃基且重均分子量为500～15000的改性酚醛树脂、重均分子量为5000～30000的间-对甲酚树脂、邻甲酚树脂和通过光生成酸的化合物。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及感光性树脂组合物、使用其的感光性元件、抗蚀图形的形成方法及触摸面板的制造方法。
技术介绍
在半导体集成电路、液晶显示元件、印刷配线板等电子部件的制造中，作为形成导体的微细图形的方法，提出了使用含有酚醛清漆型酚醛树脂和1,2-醌二叠氮化合物的正型感光性树脂组合物的方案(例如，参照日本特开2007-316577号公报或国际公开第2007/026475号)。近年来，由于智能手机、平板终端等便携设备的普及，触摸面板的需求提高。在触摸面板中，在传感器部位、引出配线部位等形成有数μm宽的微细导体图形。在该图形形成中，也使用正型感光性树脂组合物。就正型感光性树脂组合物而言，由于照射了光的部分(曝光部)能够用碱性水溶液溶解去除，未照射光的部分(未曝光部)不被碱性水溶液溶解而未去除，因此能够形成图形。由此，研究了如下内容：通过反复进行针对由正型感光性树脂组合物形成的感光层的曝光处理和显影处理、以及针对导体的蚀刻处理，来形成多层导体图形。为了形成多层导体图形，提出了使用含有特定酚醛树脂的正型感光性树脂组合物的方案(例如，参照日本特开2012-252095号公报)。
技术实现思路
另一方面，在形成触摸面板用途的导体图形时，伴随着图形的微细化、稀有金属替代金属的使用、传感器部位的小型化、触摸面板的低成本化、触摸面板的生产率提高等，使用了多种导体。进而，该导体的表面处理方法也多种多样。因此，对于形成图形所使用的正型感光性树脂组合物，要求与各种导体表面的密合性优异。然而，就由以往的正型感光性树脂组合物形成的感光层而言，不能说其充分满足了与具有各种导体的基板的密合性，有在形成了抗蚀图形时产生缺口等不良的情况。根据以往的正型感光性树脂组合物，难以形成能够在维持上述密合性的同时兼顾反复显影时未曝光部的耐显影液性和曝光部的显影性的感光层。本专利技术的目的在于，提供正型感光性树脂组合物以及使用其的感光性元件，所述正型感光性树脂组合物能够形成如下感光层，所述感光层与具有各种导体的基板的密合性优异，并且即使在反复进行使用碱性水溶液的显影的情况下，曝光部的显影性和未曝光部的耐显影液性也充分优异。本专利技术提供一种正型感光性树脂组合物，其含有：具有不饱和烃基且重均分子量为500～15000的改性酚醛树脂、重均分子量为5000～30000的间-对甲酚树脂、邻甲酚树脂和通过光生成酸的化合物。上述邻甲酚树脂的重均分子量以500～5000为佳。上述改性酚醛树脂所具有的不饱和烃基的碳原子数以4～100为佳。此外，上述正型感光性树脂组合物可以进一步含有氟系表面活性剂，也可以进一步含有密合性赋予剂。本专利技术还提供一种感光性元件，其具备支撑体和设置于该支撑体上的由上述本专利技术的正型感光性树脂组合物形成的感光层。本专利技术进一步提供一种抗蚀图形的形成方法，其具备如下工序：使用上述正型感光性树脂组合物或上述感光性元件，在基板上形成感光层的工序；对感光层的规定部分照射活性光线，形成曝光部的工序；以及将曝光部去除而形成由未曝光部的感光层构成的图形的工序。在上述抗蚀图形的形成方法中，可以进一步具备如下工序：对由上述未曝光部构成的感光层的规定部分照射活性光线，形成曝光部的工序；以及将曝光部去除而形成由未曝光部的感光层构成的图形的工序。本专利技术还提供一种触摸面板的制造方法，其具备对通过上述抗蚀图形的形成方法形成了抗蚀图形的基板进行蚀刻处理的工序。根据本专利技术，能够提供正型感光性树脂组合物以及使用其的感光性元件，所述正型感光性树脂组合物能够形成如下感光层，所述感光层与具有各种导体的基板的密合性优异，并且即使在反复进行使用碱性水溶液的显影的情况下，曝光部的显影性和未曝光部的耐显影液性也充分优异。附图说明图1是表示本专利技术感光性元件的一个实施方式的示意截面图。图2是表示使用负型感光性树脂组合物的触摸面板的制造方法的示意截面图。图3是表示使用正型感光性树脂组合物的触摸面板的制造方法的一个方式的示意截面图。图4是表示利用本专利技术得到的触摸面板的一个方式的俯视图。附图标记说明：2：支撑体，4：感光层，6：保护层，10：感光性元件，22：支撑基材，24：透明导电层，26：金属层，28：感光层，29：抗蚀图形，30：感光层，31：抗蚀图形，40：感光层，40a、40b：抗蚀图形，52：透明电极(X电极)，54：透明电极(Y电极)，56、57：引出配线，100：触摸面板。具体实施方式以下，根据需要一边参照附图，一边对本专利技术的实施方式进行详细说明。予以说明的是，附图中，对同一要素附上同一附图标记，并省略重复说明。此外，关于上下左右等位置关系，只要没有特别指出，就设为基于附图所示位置关系的位置关系。而且，附图的尺寸比率并不限于图示比率。此外，在以下的实施方式中，关于其构成要素(也包括步骤要素等)，除了特别明确表示的情况以及认为原理上显然需要的情况等之外并不一定是必须的，这是自不待言的。这对于数值和范围也是同样的，应解释为不会不合理地限制本公开内容。予以说明的是，在本说明书中，关于“层”这一用语，在以平面图进行观察时，除了整面形成的形状的结构之外，还包含部分形成的形状的结构。在本说明书中，“工序”这一用语不仅包括独立的工序，即使在与其它工序不能明确区别的情况下，如果能实现该工序的预期目的，则也包含在本用语中。在本说明书中，使用“～”表示的数值范围表示包含“～”前后所记载的数值分别作为最小值和最大值的范围。本说明书中阶段性记载的数值范围中，某一阶段的数值范围的上限值或下限值可以置换成其他阶段的数值范围的上限值或下限值。本说明书中记载的数值范围中，该数值范围的上限值或下限值可以置换成实施例所示的值。此外，“一面”、“第1”、“第2”等用语是为了将一个构成要素与其它构成要素区别开而使用的，构成要素并不受上述用语限定。本实施方式的正型感光性树脂组合物的特征在于，含有：作为(A)成分的具有不饱和烃基且重均分子量为500～15000的改性酚醛树脂、作为(B)成分的重均分子量为5000～30000的间-对甲酚树脂、作为(C)成分的邻甲酚树脂和作为(D)成分的通过光生成酸的化合物。以下，对构成正型感光性树脂组合物的各成分进行详细说明。＜(A)成分＞(A)成分为具有不饱和烃基的改性酚醛树脂。通过使用具有不饱和烃基的改性酚醛树脂作为(A)成分，形成感光层时的可挠性提高。酚醛本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种正型感光性树脂组合物，其含有：具有不饱和烃基且重均分子量为500～15000的改性酚醛树脂、重均分子量为5000～30000的间‑对甲酚树脂、邻甲酚树脂和通过光生成酸的化合物。

【技术特征摘要】
2014.02.24 JP 2014-0328841.一种正型感光性树脂组合物，其含有：具有不饱和烃基且重均分子量
为500～15000的改性酚醛树脂、重均分子量为5000～30000的间-对甲酚树脂、
邻甲酚树脂和通过光生成酸的化合物。
2.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，所述邻甲酚树脂的重
均分子量为500～5000。
3.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物，所述不饱和烃基
的碳原子数为4～100。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的正型感光性树脂组合物，其进一步
含有氟系表面活性剂。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的正型感光性树脂组合物，其进一步
含有密合性赋予剂。
6.一种感光性元件，其具备支撑体和设置于该支撑体...

【专利技术属性】
技术研发人员：泽边贤，玉田春仙，
申请(专利权)人：日立化成株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP