激光蚀刻机双CCD自动抓标机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种激光蚀刻机双CCD自动抓标机构，包括X轴传动机构、Y轴传动机构、扫描振镜、两台CCD相机以及与CCD相机配合的同轴光，X轴同步带机组和Y轴同步带机组均包括步进电机、同步带轮轴承座、步进电机和同步带轮轴承座上各设置一个的同步带轮、同步带和限位装置本实用新型专利技术大幅减少了繁琐的人工操作，精准可靠，效率极高。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及激光蚀刻机设备制造领域，尤其涉及激光蚀刻机双CCD自动抓标机构。
技术介绍
激光蚀刻机在对触摸屏等被加工物进行蚀刻之前，一般都需要使用CCD抓取待加工件的2个特征靶标Mark点以计算出待加工件的准确位置，而抓取待加工件的2个靶标一般有以下3种方式:1、单CXD逐一抓标:即激光蚀刻机仅配置一个CXD相机，相机固定在振镜一侧，通过XY轴运动平台分别将2个靶标移动到CCD视野范围内，这种抓标方式需要多次移动XY轴运动平台，且抓标时XY轴移动的距离最大。2、双CXD就近逐一抓标:即激光蚀刻机配置2个CXD相机，2个相机分别固定在振镜左右两侧，抓标时，仅将待加工件的左边靶标通过XY轴运动平台移动到左相机视野范围内，再将右靶标移动到右相机视野范围内，这种抓标方式相对于单相机抓标来说，缩减了移动的距离，生产效率会高一些。3、双CXD同步抓双标:即激光蚀刻机配置2个可以移动的CXD相机，手动将CXD相机移动到靶标上方并锁紧，该方式可以同步抓取2个靶标，而无需移动待加工件，从而使该方案在批量蚀刻生产中具备最高的加工效率。尽管第三种方案蚀刻生产效率最高，但是不难看出，需要手动调整相机的XYZ轴运动机构，然后靠肉眼来判断Mark点是否位于相机视野中，效率比较低，另外相机移动到位后需要手工锁紧，锁紧的可靠性也不够，而通过CCD移动机构的自动化可以有效解决移动效率、定位准确性和锁紧可靠性等方面的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于针对上述现有技术的不足，提供一种自动抓标精准、效率极高的激光蚀刻机双CCD自动抓标机构。本技术的技术方案是这样实现的:激光蚀刻机双CXD自动抓标机构，包括X轴传动机构、Y轴传动机构、扫描振镜、两台CCD相机以及与CCD相机配合的同轴光，所述X轴传动机构包括X轴固定板、在长度上等分X轴固定板并设置在其下方的两组X轴同步带机组、与X轴固定板平行设置的X轴导轨以及与X轴导轨相配合的两个X轴滑块；所述Y轴传动机构由两个结构相同且对称的部分组成，包括与X轴滑块连接的滑块支撑座、嵌入设置在滑块支撑座内部的Y轴滑块、与滑块支撑座连接的Y轴固定板、固定在Y轴固定板上的Y轴同步带机组以及与Y轴滑块相配合的Y轴导轨；所述CCD相机和同轴光固定在Y轴导轨一端，且两者所在直线与X轴导轨平行；所述扫描振镜设置在X轴导轨近CCD相机一侧，且位于Y轴导轨最大行程时与X轴导轨所围成的方形的中心上方处。作为对本技术的进一步改进，所述X轴同步带机组和Y轴同步带机组均包括步进电机、同步带轮轴承座、步进电机和同步带轮轴承座上各设置一个的同步带轮、同步带和限位装置。作为对本技术的进一步改进，所述限位装置包括正极限位光电开关、负极限位光电开关、零位光电开关以及与同步带同步的光电开关挡片。本技术的有益效果是，抓标时，振镜扫描出两个激光Mark标，控制系统读取振镜扫描出的两个Mark标的位置后，控制步进电机，驱使X、Y轴传动机构位移，使得同轴光快速精准地移动到Mark标上方，从而实现CCD相机的到位标定，同时步进电机带有自锁功能，无需手动锁紧；本技术大幅减少了繁琐的人工操作，精准可靠，效率极高；在批量蚀刻生产过程中，两个CCD相机移动到位后，无须移动待加工件即可同步抓取待加工件的两个Mark标，从而使蚀刻系统能够准确识别待加工件的准确位置，可以大大提高蚀刻加工的精度和生产效率。【附图说明】下面结合附图中的实施例对本技术作进一步的详细说明。图1是本技术的结构示意图。图中:1、扫描振镜，2、CCD相机，3、同轴光，4、X轴固定板，5、X轴导轨，6、X轴滑块，7、滑块支撑座，8、Y轴滑块，9、Y轴固定板，10、Y轴导轨，11、步进电机，12、同步带轮轴承座，13、同步带轮，14、同步带，15、正极限位光电开关，16、负极限位光电开关，17、零位光电开关，18、光电开关挡片，19、激光Mark标。【具体实施方式】如图1所示，本技术的激光蚀刻机双CXD自动抓标机构，包括X轴传动机构、Y轴传动机构、扫描振镜1、两台CCD相机2以及与CCD相机配合的同轴光3。X轴传动机构包括X轴固定板4、在长度上等分X轴固定板4并设置在其下方的两组X轴同步带机组、与X轴固定板平行设置的X轴导轨5以及与X轴导轨5相配合的两个X轴滑块6。Y轴传动机构由两个结构相同且对称的部分组成，包括与X轴滑块6连接的滑块支撑座7、嵌入设置在滑块支撑座7内部的Y轴滑块8、与滑块支撑座7连接的Y轴固定板9、固定在Y轴固定板9上的Y轴同步带机组以及与Y轴滑块8相配合的Y轴导轨10。扫描振镜I设置在X轴导轨5近(XD相机2 —侧，且位于Y轴导轨10最大行程时与X轴导轨5所围成的方形的中心上方处。C⑶相机2和同轴光3固定在Y轴导轨10—端，且两者所在直线与X轴导轨5平行。X轴同步带机组和Y轴同步带机组均包括步进电机11、同步带轮轴承座12、步进电机11和同步带轮轴承座12上各设置一个的同步带轮13、同步带14和限位装置。限位装置包括正极限位光电开关15、负极限位光电开关16、零位光电开关17以及与同步带14同步的光电开关挡片18。抓标时，扫描振镜I扫描出两个激光Mark标19，控制系统读取扫描振镜I扫描出的两个Mark标19的位置后，控制步进电机11，驱使X轴传动机构位移和Y轴传动机构位移，使得同轴光3快速精准地移动到Mark标19上方，从而实现CCD相机2的到位标定。【主权项】1.激光蚀刻机双CCD自动抓标机构，包括X轴传动机构、Y轴传动机构、扫描振镜、两台CCD相机以及与CCD相机配合的同轴光，其特征在于:所述X轴传动机构包括X轴固定板、在长度上等分X轴固定板并设置在其下方的两组X轴同步带机组、与X轴固定板平行设置的X轴导轨以及与X轴导轨相配合的两个X轴滑块；所述Y轴传动机构由两个结构相同且对称的部分组成，包括与X轴滑块连接的滑块支撑座、嵌入设置在滑块支撑座内部的Y轴滑块、与滑块支撑座连接的Y轴固定板、固定在Y轴固定板上的Y轴同步带机组以及与Y轴滑块相配合的Y轴导轨；所述CCD相机和同轴光固定在Y轴导轨一端，且两者所在直线与X轴导轨平行；所述扫描振镜设置在X轴导轨近CCD相机一侧，且位于Y轴导轨最大行程时与X轴导轨所围成的方形的中心上方处。2.根据权利要求1所述的激光蚀刻机双CCD自动抓标机构，其特征在于:所述X轴同步带机组和Y轴同步带机组均包括步进电机、同步带轮轴承座、步进电机和同步带轮轴承座上各设置一个的同步带轮、同步带和限位装置。3.根据权利要求2所述的激光蚀刻机双CCD自动抓标机构，其特征在于:所述限位装置包括正极限位光电开关、负极限位光电开关、零位光电开关以及与同步带同步的光电开关挡片。【专利摘要】本技术公开了一种激光蚀刻机双CCD自动抓标机构，包括X轴传动机构、Y轴传动机构、扫描振镜、两台CCD相机以及与CCD相机配合的同轴光，X轴同步带机组和Y轴同步带机组均包括步进电机、同步带轮轴承座、步进电机和同步带轮轴承座上各设置一个的同步带轮、同步带和限位装置本技术大幅减少了繁琐的人工操作，精准可靠，效率极高。【IPC分类】B23K26-362【公开号】CN204565426【申请号】CN20152018778本文档来自技高网...

【技术保护点】
激光蚀刻机双CCD自动抓标机构，包括X轴传动机构、Y轴传动机构、扫描振镜、两台CCD相机以及与CCD相机配合的同轴光，其特征在于：所述X轴传动机构包括X轴固定板、在长度上等分X轴固定板并设置在其下方的两组X轴同步带机组、与X轴固定板平行设置的X轴导轨以及与X轴导轨相配合的两个X轴滑块；所述Y轴传动机构由两个结构相同且对称的部分组成，包括与X轴滑块连接的滑块支撑座、嵌入设置在滑块支撑座内部的Y轴滑块、与滑块支撑座连接的Y轴固定板、固定在Y轴固定板上的Y轴同步带机组以及与Y轴滑块相配合的Y轴导轨；所述CCD相机和同轴光固定在Y轴导轨一端，且两者所在直线与X轴导轨平行；所述扫描振镜设置在X轴导轨近CCD相机一侧，且位于Y轴导轨最大行程时与X轴导轨所围成的方形的中心上方处。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘磊，段光前，
申请(专利权)人：武汉先河激光技术有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42