元件供给装置具有载置晶圆片的工作台和吸附载置于工作台的晶圆片上的元件的吸附头。吸附头具有多个元件供给侧吸嘴和切换机构，该切换机构将多个元件供给侧吸嘴在多个元件供给侧吸嘴的前端朝向下方的吸附位置和使多个元件供给侧吸嘴的前端朝向上方的交接位置之间进行切换。多个元件供给侧吸嘴的配置与配备于安装机的安装头上的多个安装机侧吸嘴的配置相对应。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本说明书所公开的技术涉及对向基板上安装元件的安装机供给元件的元件供给 目.0
技术介绍
作为从元件供给装置向安装机供给元件的方案有:使元件的薄片侧的面安装于基板时进行的面朝上供给；和使元件的与薄片侧的面相反一侧的面安装于基板时进行的面朝下供给。在对元件进行面朝下供给的情况下，由元件供给装置侧的吸附头吸附薄片上的元件并使其翻转，将翻转后的元件交接到安装机侧的安装头上。日本特开2002-118153号公报中公开了用于进行面朝下供给的元件供给装置。
技术实现思路
为了缩短向基板上安装元件的时间，需要将配置在薄片上的元件向安装机侧进行供给。在面朝上供给中，由于能够由安装机侧的安装头直接吸附薄片上的元件，所以能够以短时间进行向安装机侧的元件供给。另一方面，在面朝下供给中，由于需要由元件供给装置侧的吸附头吸附薄片上的元件并使其翻转，所以向安装机侧的元件供给需要与其相应的时间。在以往的技术中，没有进行用于以短时间进行面朝下供给的研宄，存在向安装机侧的元件供给需要时间这样的问题。在本说明书所公开的元件供给装置中，元件供给装置侧的吸附头具有多个元件供给侧吸嘴。这些多个元件供给侧吸嘴在吸嘴的前端朝向下方的吸附位置和使吸嘴的前端朝向上方的交接位置之间进行切换。并且，多个元件供给侧吸嘴的配置与配备于安装机侧的安装头上的多个安装机侧吸嘴的配置相对应。在该元件供给装置中，由于吸附头具有多个元件供给侧吸嘴，所以能够使吸附头同时吸附薄片上的多个元件并使其翻转。另外，由于吸附头的多个元件供给侧吸嘴的配置与安装头的安装机侧吸嘴的配置相对应，所以能够同时从吸附头向安装头交接多个元件。其结果是，与以往的装置相比，能够以短时间进行面朝下供给。另外，在本说明书中，上述的“对应”并非是指元件供给侧吸嘴的配置与安装机侧吸嘴的配置完全对应，只要元件供给侧吸嘴与安装机侧吸嘴的至少一部分对应并同时交接多个元件即可。因此，即使一方的吸嘴比另一方的吸嘴多，只要在这些吸嘴之间同时交接多个元件，则这些吸嘴的配置也相当于上述的“对应”。另外，在一方的吸嘴的一部分仅与另一方的吸嘴的一部分对应的情况下，也只要在这些吸嘴之间同时交接多个元件，则这些吸嘴的配置就相当于上述的“对应”。【附图说明】图1是实施例的元件安装系统的俯视图。图2是用于说明配备于图1的元件安装系统的元件供给装置的概略结构的图。图3是表示设于晶圆片补给部的安装面上的安装结构的图。图4是表示设于晶圆片搬运部的安装面上的安装结构的图。图5是在图4的V-V线剖面中表示晶圆片补给部和晶圆片搬运部的安装结构的图。图6是在图3的V1-VI线剖面中表示晶圆片补给部和晶圆片搬运部的安装结构的图。图7是示意性地表示移动工作台的结构的主视图。图8是晶圆工作台的俯视图。图9是一并表示晶圆工作台的旋转前的状态和旋转后的状态的图。图10是示意性地表示面朝下供给时的移动工作台、吸附头和安装头的关系的图。图11是吸附头的侧视图(吸嘴被定位在吸附位置的状态)。图12是吸附头的侧视图(吸嘴被定位在交接位置的状态)。图13是表示使吸附头的吸嘴翻转的机构的图(吸嘴被定位在吸附位置的状态)。图14是表示使吸附头的吸嘴翻转的机构的图(吸嘴被定位在交接位置的状态)。图15是表示凸轮从动件的轨迹的图。图16是表示吸附头的轴部的结构的图。图17是晶圆片的俯视图。图18是表示将晶圆片上的元件安装于基板时的元件安装装置的动作的流程图。【具体实施方式】本说明书所公开的技术的一实施方式的元件供给装置与具有向基板上安装元件的安装头的安装机相邻配置，向安装机供给元件。该元件供给装置具有:晶圆片补给部，被补给在薄片上配置有多个元件的晶圆片；及晶圆片搬运部，搬运向晶圆片补给部补给的晶圆片。晶圆片搬运部具有:工作台，载置晶圆片；及吸附头，吸附载置于工作台上的上述晶圆片上的元件。吸附头具有:多个元件供给侧吸嘴；及切换机构，将多个元件供给侧吸嘴在多个元件供给侧吸嘴的前端朝向下方的吸附位置和使多个元件供给侧吸嘴的前端朝向上方的交接位置之间进行切换。并且，多个元件供给侧吸嘴的配置与配备于安装机的安装头上的多个安装机侧吸嘴的配置相对应。在该元件供给装置中，能够由吸附头同时吸附从晶圆片补给部载置到工作台上的晶圆片的多个元件。另外，能够在吸附头与安装头之间同时交接多个元件。其结果是，能够与以往相比高效地从元件供给装置向安装机供给元件。在上述一实施方式的元件供给装置中，吸附头以能够相对于工作台沿平面方向移动的方式进行安装。另外，晶圆片搬运部也可以还具备使安装有吸附头的工作台在直接供给位置和比该直接供给位置靠下的间接供给位置之间上下移动的机构。在这种情况下，吸附头也可以位于工作台的上方。并且，也可以使工作台被定位于直接供给位置时的工作台的高度与工作台被定位于间接供给位置且元件供给侧吸嘴被定位于交接位置时的元件供给侧吸嘴的高度一致。根据这样的结构，安装机侧的安装头从晶圆片直接吸附元件时的元件的高度与安装机侧的安装头从吸附头吸附元件时的元件的高度相同。因此，能够不变更安装机侧的安装头的高度，而从薄片吸附元件，并从吸附头吸附元件。另外，在上述一实施方式的元件供给装置中，吸附头也可以还具有:第一壳体；及第二壳体，被以能够相对于第一壳体转动的方式进行支撑，并安装有多个元件供给侧吸嘴。并且，切换机构具有使第二壳体相对于第一壳体转动的齿轮齿条机构。根据这样的结构，能够以简易的结构使元件供给侧吸嘴转动。另外，在上述一实施方式的元件供给装置中，切换机构也可以还具有旋转速度调整机构，该旋转速度调整机构使第二壳体在吸附位置和交接位置附近的区域的旋转速度比第二壳体在除该区域之外的其他区域的旋转速度慢。根据这样的结构，能够抑制停止吸附头的转动时的冲击。实施例1对于实施例的元件安装系统10，参照附图进行说明。如图1所示，元件安装系统10具有:元件供给装置(60、160)、与元件供给装置出0、160)相邻配置的安装机20、对元件供给装置(60、160)和安装机20进行控制的控制装置200。首先，基于图1，说明元件安装系统10的整体的概略结构。元件供给装置(60、160)具有晶圆片补给部160和晶圆片搬运部60。由操作员向晶圆片补给部160补给晶圆片W2。晶圆片W2的补给从与设有晶圆片搬运部60的方向相反一侧的侧面162b进行。晶圆片搬运部60将由操作员补给的晶圆片W2从晶圆片补给部160搬出。如图17所示，晶圆片W2具备配置在薄片192上的多个元件W1。多个元件Wl以特定的图案、即在本实施例中沿X方向和y方向彼此隔开间隔而配置。因此，将沿I方向排列的多个元件Wl的中心(例如C1、C3)连接的直线LI沿y方向延伸，并且将沿X方向排列的多个元件Wl的中心(例如C1、C2)连接的直线L2沿X方向延伸。这些直线L1、L2在计算晶圆片W2的倾斜度时利用。返回到图1，晶圆片搬运部60与晶圆片补给部160的靠安装机侧的侧面162a相邻配置。如后所述，晶圆片补给部160以能够相对于晶圆片搬运部60的侧面62b滑动的方式进行安装。晶圆片搬运部60将从晶圆片补给部160搬出的晶圆片W2搬运到安装机20附近的元件供给位置(安装机20附近的位置)。安装机20与晶圆片搬运部60的侧面62a(即，与晶圆片补给部16本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种元件供给装置，与具有向基板上安装元件的安装头的安装机相邻配置，向所述安装机供给所述元件，其中，所述元件供给装置具有：晶圆片补给部，被补给在薄片上配置有多个元件的晶圆片；及晶圆片搬运部，搬运向所述晶圆片补给部补给的晶圆片，所述晶圆片搬运部具有：工作台，载置所述晶圆片；及吸附头，吸附载置于所述工作台的所述晶圆片上的元件，所述吸附头具有：多个元件供给侧吸嘴；及切换机构，将所述多个元件供给侧吸嘴在所述多个元件供给侧吸嘴的前端朝向下方的吸附位置和使所述多个元件供给侧吸嘴的前端朝向上方的交接位置之间进行切换，所述多个元件供给侧吸嘴的配置与配备于所述安装机的所述安装头上的多个安装机侧吸嘴的配置相对应。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：清水利律，大桥广康，山崎敏彦，村井正树，
申请(专利权)人：富士机械制造株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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