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元件供给装置制造方法及图纸
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下载元件供给装置的技术资料
文档序号:11704406
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元件供给装置具有载置晶圆片的工作台和吸附载置于工作台的晶圆片上的元件的吸附头。吸附头具有多个元件供给侧吸嘴和切换机构,该切换机构将多个元件供给侧吸嘴在多个元件供给侧吸嘴的前端朝向下方的吸附位置和使多个元件供给侧吸嘴的前端朝向上方的交接位置之...
该专利属于富士机械制造株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士机械制造株式会社授权不得商用。
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