有机发光二极管阵列的制备方法技术

本发明专利技术涉及一种有机发光二极管阵列的制备方法，其包括：提供一基板；在上述基板一表面形成有序排列且不同高度的多个凸部；在多个凸部的表面形成多个第一电极，且多个第一电极相互间隔设置；在每个第一电极的表面形成一电洞注入层和一电洞传输层，且所述电洞注入层位于所述第一电极和电洞传输层之间；在该相邻的三个电洞传输层表面分别形成一电激发光层作为有机发光层，其中，该相邻的三个电洞传输层表面的电激发光层分别为发不同颜色光的电激发光层；形成一图案化的第二绝缘层，且该图案化的第二绝缘层将位于相邻的凸部之间的基板表面覆盖，且使该有机发光层至少顶面暴露；以及形成至少一第二电极与该有机发光层电连接。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种有机发光二极管（OLED)阵列及其制备方法。
技术介绍
有机发光二极管具有自发光的特性，因此，采用有机发光二极管的显示屏无需背 光源，能够显著节省电能。而且，采用有机发光二极管的显示屏幕可视角度大，因此，有机发 光二极管成为研究热点。 现有技术通常将多个有机发光二极管制备在一基底上形成一阵列。其中，该有机 发光二极管阵列的制备方法包括：在一基底上制备一薄膜晶体管（TFT)阵列；在该薄膜晶 体管阵列上形成一第一绝缘层；在该第一绝缘层上形成多个第一电极；在该第一绝缘层上 形成一第二绝缘层将每个第一电极的边缘覆盖，使每个第一电极的中间部分暴露；在每个 第一电极暴露的部分表面形成一有机发光层；以及在该有机发光层上形成一第二电极。 然而，现有技术中形成有机发光层的方法通常为蒸镀，其不仅需要掩模，而且需要 高温真空条件。因此，制备工艺复杂，成本较高。
技术实现思路
有鉴于此，确有必要提供一种工艺简单，成本低廉的有机发光二极管阵列的制备 方法。 -种，其包括：提供一基板；在上述基板一表面 形成有序排列的多个凸部，且对应同一像素单元的凸部具有不同的高度；至少在多个凸部 的顶面形成多个第一电极，且多个第一电极相互间隔设置；在每个第一电极的表面转印形 成一电洞注入层和一电洞传输层，且所述电洞注入层位于所述第一电极和电洞传输层之 间；在对应同一像素单兀的电洞传输层表面分别形成发不同颜色光的电激发光层作为有机 发光层；形成一图案化的第二绝缘层，且该图案化的第二绝缘层将位于相邻的凸部之间，且 使该有机发光层至少顶面暴露；以及形成至少一第二电，该至少一第二电极位于所述有机 发光层远离基板的一侧且极与该有机发光层电连接。 -种，其包括：提供一基板；在上述基板一表面 形成多个间隔设置的凸部，且对应同一像素单元的凸部具有不同的高度；至少在多个凸部 的顶面形成多个间隔设置的第一电极，且对应同一像素单元的第一电极具有不同的高度； 提供一印模，并在该印模的表面形成不同高度的且与同一像素单元的第一电极分别对应 的表面；在该印模的表面形成一电洞传输薄膜；在该电洞传输薄膜表面形成一电洞注入薄 膜，且该电洞注入薄膜对应同一像素单元的第一电极具有不同的高度；使对应同一像素单 兀的第一电极的表面与该电洞注入薄膜接触；使对应同一像素单兀的第一电极与该印模分 离，在每个第一电极的表面形成一层叠设置的电洞注入层和电洞传输层；在对应同一像素 单元的电洞传输层表面分别形成发不同颜色光的电激发光层，其中，对应同一像素单元的 电激发光层分别为红光电激发光层、绿光电激发光层和蓝光电激发光层；形成一图案化的 第二绝缘层，且该图案化的第二绝缘层将位于相邻的凸部之间，且使该有机发光层至少顶 面暴露；以及形成至少一第二电极，该至少一第二电极位于所述发电激发光层远离基板的 一侧且与该电激发光层电连接。 -种，其包括：提供一基板；在上述基板一表面 形成多个间隔设置的凸部，且对应同一像素单元的凸部具有不同的高度；在多个凸部的表 面形成多个间隔设置的第一电极，且对应同一像素单元的第一电极具有不同的高度；提供 一第一印模，并在该第一印模的表面形成不同高度的且与同一像素单兀的第一电极分别对 应的表面；在该第一印模的表面形成一电洞注入薄膜，且该电洞注入薄膜对应同一像素单 元的第一电极具有不同高度；使对应同一像素单元的第一电极的表面对应高度的电洞注入 薄膜接触；使第一电极与该第一印模分离，在每个第一电极的表面形成一电洞注入层；提 供一第二印模，并在该第二印模的表面形成不同高度且与同一像素单元的第一电极分别对 应的表面；在该第二印模的表面形成一电洞传输薄膜，且该电洞注入薄膜对应同一像素单 元的电洞注入层具有不同高度；使对应同一像素单元的电洞注入层与对应高度的该电洞传 输薄膜接触；使电洞注入层与该第二印模分离，在每个电洞注入层的表面形成一电洞传输 层；在对应同一像素单兀的电洞传输层表面分别形成发不同颜色光的电激发光层，其中， 对应同一像素单兀的电激发光层分别为红光电激发光层、绿光电激发光层和蓝光电激发光 层；形成一图案化的第二绝缘层，且该图案化的第二绝缘层将位于相邻的凸部之间的基板 表面覆盖，且使该有机发光层至少顶面暴露；以及形成至少一第二电极，该至少一第二电极 位于所述发电激发光层远离基板的一侧且与该电激发光层电连接。 -种，其包括：提供一基板；在上述基板一表面 形成多个间隔设置的凸部，且对应同一像素单元的凸部具有不同的高度；在多个凸部的表 面形成多个第一电极，且多个第一电极相互间隔设置；在对应同一像素单兀的第一电极表 面分别转印形成发不同颜色光的电激发光层作为有机发光层，其中，对应同一像素单元的 电激发光层分别为红光电激发光层、绿光电激发光层和蓝光电激发光层；形成一图案化的 第二绝缘层，且该图案化的第二绝缘层将位于相邻的凸部之间，且使该有机发光层至少顶 面暴露；以及形成至少一第二电极，该至少一第二电极位于所述有机发光层远离基板的一 侧且极与该有机发光层电连接。 与现有技术相比较，本专利技术提供的，通过转印形 成有机发光层，避免了蒸镀所需要的掩模和高温真空条件，因此，制备工艺简单，成本低廉。【附图说明】图1为本专利技术第一实施例提供的的工艺流程图。 图2为本专利技术第一实施例的多个凸部成二维阵列排布的示意图。 图3为本专利技术第一实施例的多个条形凸部成一维阵列排布的示意图。 图4为本专利技术第一实施例制备第一电极的工艺流程图。 图5为本专利技术第一实施例制备有机发光层的工艺流程图。图6为本专利技术第一实施例提供的有机发光二极管阵列的结构示意图。 图7为有机发光二极管的有机发光层的结构不意图。 图8为本专利技术第二实施例提供的的工艺流程图。 图9为本专利技术第二实施例制备红光有机发光层的工艺流程图。 图10为本专利技术第二实施例制备绿光有机发光层的工艺流程图。 图11-12为本专利技术第二实施例提供的有机发光二极管阵列的结构示意图。 图13为本专利技术第三实施例提供的的工艺流程 图。 图14为本专利技术第三实施例提供的有机发光二极管阵列的结构示意图。 图15为本专利技术第四实施例提供的的工艺流程 图。 图16为本专利技术第四实施例制备的有机发光二极管阵列的第二电极的结构示意 图。 图17为本专利技术第五实施例提供的的工艺流程 图。 图18为本专利技术第五实施例一次转印制备不同厚度的电洞传输层的工艺流程图。 图19-20为本专利技术第五实施例提供的有机发光二极管阵列的结构示意图。 图21为本专利技术第六实施例提供的的工艺流程 图。 图22为本专利技术第六实施一次转印形成电洞注入层和电洞传输层的工艺流程图。 图23-24为本专利技术第六实施例提供的有机发光二极管阵列的结构示意图。 图25为本专利技术第七实施例提供的的工艺流程 图。 图26为本专利技术第八实施例提供的的工艺流程 图。 图27为本专利技术第八实施例提供的有机发光二极管阵列的结构示意图。 图28为本专利技术第八实施例提供的有机发光二极管阵列的结构分解图。 图29为本专利技术第九实施例提供的的工艺流程 图。 图30为本专利技术第九实施例提供的有机发光二极管阵列的结构分解图。 主要元件符号说明_【主权项】1. 一种，其包括： 提供一基板； 在上述基板一表面形成有序排列的多个凸部，且对应同一像素单元的凸本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机发光二极管阵列的制备方法，其包括：提供一基板；在上述基板一表面形成有序排列的多个凸部，且对应同一像素单元的凸部具有不同的高度；至少在多个凸部的顶面形成多个第一电极，且多个第一电极相互间隔设置；在每个第一电极的表面转印形成一电洞注入层和一电洞传输层，且所述电洞注入层位于所述第一电极和电洞传输层之间；在对应同一像素单元的电洞传输层表面分别形成发不同颜色光的电激发光层作为有机发光层；形成一图案化的第二绝缘层，且该图案化的第二绝缘层将位于相邻的凸部之间，且使该有机发光层至少顶面暴露；以及形成至少一第二电，该至少一第二电极位于所述有机发光层远离基板的一侧且极与该有机发光层电连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：简良能，郑荣安，安东，朱振东，林昌廷，吴逸蔚，李群庆，范守善，
申请(专利权)人：清华大学，鸿富锦精密工业深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11