【技术实现步骤摘要】
本技术属于硅片切割
,特别是涉及一种冷却喷淋自动启停机构。
技术介绍
使用金刚线设备进行硅片切片加工时,需要喷淋冷却液进行冷却和润滑,由于冷却液含有乳化剂、表面活性剂等成分,在高速切割过程中,会由于冲击作用产生大量泡沫,影响冷却液流量稳定性。为避免双向切割时,未参与冷却一侧冷却液被直接甩出,需要进行左右喷液自动启停。可能的解决方向有机械控制和电子控制两种。前者采用机械结构控制,以截流的思路进行设计,不对管道压力和幕帘形成影响,只在使用端进行截流和放行切换,简单可靠。后者采用三通电磁阀门来实现,使得未使用侧瞬间关停,使用侧快速稳定喷淋,由于左右切换频率高,在切换过程存在管道压力变化的问题,可能引起供应泵因阻力波动大而寿命衰减,同时开启侧的喷淋幕帘也无法快速形成稳定状态。
技术实现思路
本技术目的在于针对金刚线双向切割过程中,未使用侧的冷却液被线网甩出形成大量泡沫,影响冷却液流量,最终影响切割加工品质的问题,提供一种机械式冷却喷淋自动启停机构。本技术为实现上述目的,采用如下技术方案:一种冷却喷淋自动启停机构,用于硅片切割设备,其特征在于:其包括设置在两 ...
【技术保护点】
一种冷却喷淋自动启停机构,用于硅片切割设备,其特征在于:其包括设置在两个主辊上方的平衡框架,分别设置在两个主辊外侧的两块触发挡板,设置在冷却液喷管前方截流挡板;所述平衡框架在主辊轴向设置有枢轴,可绕枢轴左右摆动;所述触发挡板一端与平衡框架的一侧相连接,用于感受冷却液的冲击,并带动平衡框架绕枢轴倾斜;所述截流挡板固定在平衡框架的一侧,平衡框架向一侧倾斜时,同侧的截流挡板封住冷却液喷管的下沿,将冷却液导向非工作区。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:李斌全,刘爱军,何江涛,
申请(专利权)人:无锡隆基硅材料有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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