一种碳纤维表面涂复碳化硅的工艺和装置制造方法及图纸

技术编号:11525936 阅读:98 留言:0更新日期:2015-05-30 21:41
本发明专利技术公开了一种碳纤维表面涂复碳化硅的工艺和装置,该装置为改进型3射频聚焦式加热器。利用聚焦电磁场将碳纤维加热至1100~1300℃,并在石英管或反应器中制造一个氯硅烷和高纯氢气的反应环境,使氯硅烷裂解生成氯化氢的同时将碳化硅气相沉积在碳纤维表面,形成耐高温的表面涂层。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种碳纤维表面涂复碳化硅的方法,其特征在于:该方法借助射频聚焦式加热装置对运动中的碳纤维加热,其特征在于碳纤维(9)被加热时,向石英管反应器(5)内沿碳纤维运动逆向导入氯硅烷和高纯氢气的混合气,形成一个反应环境,使氯硅烷裂解生成氯化氢的同时实现SiC沉积在石墨碳纤维表面形成涂层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:鞠洪建
申请(专利权)人:大连惟康科技有限公司
类型:发明
国别省市:辽宁;21

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