封装件、物理量传感器、电子设备及移动体制造技术

本发明专利技术提供一种封装件、物理量传感器、电子设备及移动体。物理量传感器具有配置有与陀螺元件电连接的IC的基座和被配置在基座上的配线群。另外，基座具有第一外边缘和与第一外边缘交叉的第二外边缘。另外，配线群具有沿着第一外边缘而被配置并具有与IC连接的内部端子的CLK配线，和沿着第二外边缘而被配置并具有与IC连接的内部端子的S1配线，陀螺元件的检测信号经由S1配线而向IC被输入。

【技术实现步骤摘要】
封装件、物理量传感器、电子设备及移动体
本专利技术涉及一种封装件、搭载有电子部件的封装件、物理量传感器、电子设备及移动体。
技术介绍
一直以来，作为用于对角速度等物理量进行检测的物理量传感器，已知如专利文献1那样的角速度传感器。专利文献1中所记载的角速度传感器具有封装件和被收纳在封装件中的陀螺元件及IC(集成电路)。另外，在封装件(基座)上形成有多个配线，经由该配线，IC的预定端子被电连接于陀螺元件，或向外部被引出。更加具体而言，多个配线至少包括：与陀螺元件所具有的第一检测端子电连接的第一检测配线；与第二检测端子电连接的第二检测配线；向IC输入信号或从IC输出信号的输入输出配线。近年来，作为对IC与外部之间的信号进行输入输出的单元，采用数字接口的情况逐渐增多。在使用数字接口的情况下，前述的多个配线包括：向IC输入数字信号或从IC输出数字信号的输入输出配线。因此，存在如下的情况，即，由于第一及第二检测配线(第一、第二检测信号输入衬垫)与输入输出配线(输入输出衬垫)之间的电耦合，噪声将混入到第一、第二检测配线中，从而无法准确地取得检测信号。专利文献1：日本特开2008－197033号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种能够减少噪声干涉的封装件、搭载有电子部件的封装件、物理量传感器、电子设备及移动体。这样的目的通过下述的本专利技术而实现。应用例1本应用例的封装件的特征在于，具有：基座，其上配置有电子部件；多个配线，被配置在所述基座上，所述配线具有：第一配线，其为多个，并具有与所述电子部件连接的内部端子；第二配线，其为多个，并具有与所述电子部件连接的内部端子，多个所述第一配线的所述内部端子沿着第一轴而并排配置，多个所述第二配线的所述内部端子沿着与所述第一轴交叉的第二轴而并排配置，所述第二配线包括检测信号配线，所述检测信号配线与物理量检测元件的检测电极电连接，多个所述第一配线包括数字信号配线，所述数字信号配线对数字信号进行传输，所述数字信号配线的内部端子相对于多个所述第一配线的多个所述内部端子中的所述第一轴方向上的中央线，而被配置在与所述第二轴相反的一侧。由此，能够使第一配线和第二配线分离，因此能够减少从第一配线向第二配线的噪声干涉。应用例2本应用例的封装件的特征在于，具有：基座，其上配置有电子部件；配线，其被配置在所述基座上，在俯视观察所述基座时，所述基座具有：第一外边缘；第二外边缘，其位于所述第一外边缘的一端侧，并在与所述第一外边缘交叉的方向上延伸，所述配线具有：第一配线，所述第一配线具有与所述电子部件连接的内部端子，和被配置在所述基座的与所述第一外边缘相对应的侧面上的侧面电极；第二配线，所述第二配线具有多个沿着与所述第二外边缘平行的轴而并排配置，并与所述电子部件连接的内部端子，所述第一配线包括对数字信号进行传输的数字信号配线，所述第二配线包括与物理量检测元件的检测电极电连接的检测信号配线。由此，能够使第一配线和第二配线分离，因此能够减少从第一配线向第二配线的噪声干涉。应用例3在本应用例的封装件中，优选为，所述第一配线为多个，所述第一配线的所述内部端子沿着与所述第一外边缘平行的轴而并排配置。由此，能够使第一配线和第二配线分离，因此能够减少从第一配线向第二配线的噪声干涉。应用例4在本应用例的封装件中，优选为，在所述数字信号配线的所述内部端子与所述检测信号配线的所述内部端子之间，配置有接地配线及电位被固定的固定电位配线中的至少一方。由此，由于接地配线或固定电位配线作为屏蔽层而发挥功能，因此进一步减少了从第一配线向第二配线的噪声干涉。应用例5本应用例的封装件的特征在于，具有：基座，其上配置有电子部件；多个配线，被配置在所述基座上，所述多个配线具有：第一配线，其为多个，并具有与所述电子部件连接的内部端子；第二配线，其具有与所述电子部件连接的内部端子，多个所述第一配线包括对数字信号进行传输的数字信号配线，所述第二配线包括与物理量检测元件的检测电极电连接的检测信号配线，在所述数字信号配线与所述检测信号配线之间，配置有接地配线或电位被固定的固定电位配线。由此，由于接地配线或固定电位配线作为屏蔽层而发挥功能，因此减少了从第一配线向第二配线的噪声干涉。应用例6在本应用例的封装件中，优选为，在俯视观察所述基座时，所述基座具有：第一外边缘；第二外边缘，其位于所述第一外边缘的一端侧，并在与所述第一外边缘交叉的方向上延伸，多个所述第一配线的内部端子沿着与所述第一外边缘平行的第一轴而配置，所述第二配线为多个，多个所述第二配线的内部端子沿着与所述第二外边缘平行的第二轴而配置。由此，能够使第一配线和第二配线分离，从而进一步减少从第一配线向第二配线的噪声干涉。应用例7在本应用例的封装件中，优选为，所述数字信号配线的内部端子被配置在所述第一外边缘的另一端侧。由此，能够进一步使第一配线和第二配线分离，从而进一步减少从第一配线向第二配线的噪声干涉。应用例8本应用例的搭载有电子部件的封装件的特征在于，具有上述应用例的封装件和所述电子部件。由此，可获得可靠性较高的搭载有电子部件的封装件。应用例9本应用例的搭载有电子部件的封装件的特征在于，基座；电子部件，其被配置在所述基座上；第一配线，其与所述电子部件连接；第二配线，其与所述电子部件连接；第一导电线，其对所述电子部件与所述第一配线进行连接；第二导电线，其对所述电子部件与所述第二配线进行连接，所述第一配线包括对数字信号进行传输的数字信号配线，所述第二配线包括与物理量检测元件的检测电极电连接的检测信号配线，在俯视观察所述基座时，被连接于所述数字信号配线的所述第一导电线的延伸方向与被连接于所述检测信号配线的所述第二导电线的延伸方向交叉。由此，能够使第一配线和第二配线分离，从而减少从第一配线向第二配线的噪声干涉。应用例10在本应用例的搭载有电子部件的封装件中，优选为，在俯视观察所述基座时，被连接于所述数字信号配线的所述第一导电线的延伸方向与被连接于所述检测信号配线的所述第二导电线的延伸方向正交。应用例11本应用例的物理量传感器的特征在于，具有上述应用例的搭载有电子部件的封装件和物理量检测元件。由此，可获得可靠性较高的物理量传感器。应用例12本应用例的电子设备的特征在于，具有上述应用例的物理量传感器。由此，可获得可靠性较高的电子设备。应用例13本应用例的移动体的特征在于，具有上述应用例的物理量传感器。由此，可获得可靠性较高的移动体。附图说明图1为本专利技术的第一实施方式所涉及的物理量传感器的平面图(俯视图)。图2为图1中的A－A线剖视图。图3为表示图1所示的物理量传感器所具有的陀螺元件的平面图(俯视图)。图4为表示图3所示的陀螺元件的电极配置的平面图(俯视图)。图5为表示图3所示的陀螺元件的电极配置的平面图(从上侧观察时的透视图)。图6为用于对图3所示的陀螺元件的动作进行说明的图。图7中(a)为第一基板的平面图(从上侧观察时的透视图)，(b)为第二基板的平面图(俯视图)。图8中(a)为第三基板的平面图(俯视图)，(b)为第四基板的平面图(俯视图)。图9中(a)为第五基板的平面图(俯视图)，(b)为第六基板的平面图(俯视图)。图10为基座的平面图(俯视图)。图11为图1所示的物理量传感器所具有的支承基板的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种封装件，其特征在于，具有：基座，其上配置有电子部件；多个配线，被配置在所述基座上，所述配线具有：第一配线，其为多个，并具有与所述电子部件连接的内部端子；第二配线，其为多个，并具有与所述电子部件连接的内部端子，所述第一配线的所述内部端子以与第一轴重叠的方式而并排配置，所述第二配线的所述内部端子以与同所述第一轴交叉的第二轴重叠的方式而并排配置，所述第二配线包括检测信号配线，所述检测信号配线与被搭载在所述基座上的物理量检测元件的检测电极电连接，所述第一配线包括数字信号配线，所述数字信号配线对从所述电子部件被输出的数字信号进行传输，所述数字信号配线的内部端子相对于所述第一配线的所述内部端子中的所述第一轴方向上的中央线，而被配置在与所述第二轴相反的一侧。

【技术特征摘要】
2013.11.25 JP 2013-2425561.一种物理量传感器，其特征在于，具备：物理量检测元件，其具有基部、从所述基部延伸出的振动臂、以及被设置在所述振动臂上的检测电极；电子部件；封装件，其具有配置有电子部件的基座、以及被配置在所述基座上的多个配线，并对所述物理量检测元件进行收纳，所述配线具有：第一配线，其为多个，并具有与所述电子部件连接的内部端子；第二配线，其为多个，并具有与所述电子部件连接的内部端子，所述第一配线的所述内部端子以与第一轴重叠的方式而并排配置，所述第二配线的所述内部端子以与同所述第一轴交叉的第二轴重叠的方式而并排配置，所述第二配线包括检测信号配线，所述检测信号配线与所述检测电极电连接，所述第一配线包括数字信号配线，所述数字信号配线对从所述电子部件被输出的数字信号进行传输，所述数字信号配线的内部端子相对于所述第一配线的所述内部端子中的所述第一轴方向上的中央线，而被配置在与所述第二轴相反的一侧，在所述数字信号配线的所述内部端子与所述检测信号配线的所述内部端子之间，配置有接地配线及电位被固定的固定电位配线中的至少一方，在俯视观察时，所述物理量检测元件以所述基部与所述电子部件重叠且所述检测电极不与所述数字信号配线重叠的方式而被配置。2.一种物理量传感器，其特征在于，具备：物理量检测元件，其具有基部、从所述基部延伸出的振动臂、以及被设置在所述振动臂上的检测电极...

【专利技术属性】
技术研发人员：青木信也，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP