振动元件、振子、电子设备以及移动体制造技术

技术编号:11415370 阅读:64 留言:0更新日期:2015-05-06 15:19
本发明专利技术提供能够使每单位质量的失谐频率的变化量增大的振动元件、振子、电子设备以及移动体。本发明专利技术的振动元件为,在假定了互相交叉的第一轴、第二轴、第三轴时,以第三轴为法线的振动元件,并具有:基部;被支承在基部上,并在第二轴方向上延伸的至少一根驱动用振动臂;在与驱动用振动臂不同的位置处被支承在基部上,并在第二轴方向上延伸的至少一根检测用振动臂,当在驱动用振动臂于第一轴方向上进行往复驱动的同时,向振动元件施加了绕第二轴的旋转时,检测用振动臂的在从基部起沿着第二轴方向而离开距离y1的位置处的第三轴方向上的位移量,与驱动用振动臂的在从基部起沿着第二轴方向而离开距离y1的位置处的第三轴方向上的位移量相比较大。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种振动元件,其特征在于,在假定了互相交叉的第一轴、第二轴、第三轴时,所述振动元件以所述第三轴为法线,并具有:基部;驱动用振动臂,其至少为一根,且被支承在所述基部上,并在所述第二轴方向上延伸;检测用振动臂,其至少为一根,且在与所述驱动用振动臂不同的位置处被支承在所述基部上,并在所述第二轴方向上延伸,当在所述驱动用振动臂于所述第一轴方向上进行往复驱动的同时,向所述振动元件施加了绕所述第二轴的旋转时,所述检测用振动臂的在从所述基部起沿着所述第二轴方向而离开距离y1的位置处的所述第三轴方向上的位移量,与所述驱动用振动臂的在从所述基部起沿着所述第二轴方向而离开距离y1的位置处的所述第三轴方向上的位移量相比较大。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:中川啓史
申请(专利权)人:精工爱普生株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

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