沉积装置制造方法及图纸

本发明专利技术一实施例涉及用于将薄膜沉积到基板上的沉积装置，所述沉积装置包括：第一加载部，用于对所述基板与用于沉积第一图案层的掩模进行结合；第一沉积部，与所述第一加载部连接，并用于喷射沉积物质；第一沉积单元，具有用于传送所述基板的第一传送部；以及第一卸载部，与所述第一沉积单元连接，并用于对所述基板与所述用于沉积第一图案层的掩模进行分离，其中所述第一传送部沿着第一方向传送所述基板，并且在沿着与所述第一方向不同的第二方向传送所述基板之后，沿着与所述第一方向和第二方向不同的第三方向传送所述基板。

【技术实现步骤摘要】
沉积装置
本专利技术的实施例涉及沉积装置。
技术介绍
在显示装置中，有机发光显示装置不仅具有宽视角、优秀的对比度而且还具有快速的响应速度，因此作为次世代显示装置而备受瞩目。有机发光显示装置具有中间层，该中间层包括彼此相对的第一电极和第二电极以及置于第一电极与第二电极之间的发光层。此时，可以以多种方法形成所述电极和中间层，其中的一种方法为独立沉积方式。为了使用沉积方法制造有机发光显示装置，将精细金属掩模（finemetalmask，简称为FMM）粘附到待形成有机层的基板面上，然后通过沉积有机层等的材料以形成预定图案的有机层，其中精细金属掩模具有与待形成的有机层等的图案相同的图案。上述的
技术介绍
为专利技术人以推导本专利技术为目的而保有的技术信息、或者为在推导本专利技术的过程中所获得的技术信息，其并不一定属于在申请本专利技术之前已经向公众公开的公知技术。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供了沉积装置。本专利技术的一实施例涉及用于将薄膜沉积到基板上的沉积装置，所述沉积装置包括：第一加载部，用于将所述基板与用于沉积第一图案层的掩模进行结合；第一沉积单元，与所述第一加载部相连，并且包括用于喷射沉积本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种沉积装置，用于将薄膜沉积到基板上，所述沉积装置包括：第一加载部，用于将所述基板与用于沉积第一图案层的掩模进行结合；第一沉积单元，与所述第一加载部相连，并且包括用于喷射沉积物质的第一沉积部和用于传送所述基板的第一传送部；以及第一卸载部，与所述第一沉积单元相连，并且用于将所述基板与所述用于沉积第一图案层的掩模进行分离，其中所述第一传送部沿着第一方向传送所述基板，之后沿着与所述第一方向不同的第二方向传送所述基板，然后再沿着与所述第一方向和第二方向不同的第三方向传送所述基板。

【技术特征摘要】
2013.11.07 KR 10-2013-01349931.一种沉积装置，用于将薄膜沉积到基板上，所述沉积装置包括：第一加载部，用于将所述基板与用于沉积第一图案层的掩模进行结合；第一沉积单元，与所述第一加载部相连，并且包括用于喷射沉积物质的第一沉积部和用于传送所述基板的第一传送部；以及第一卸载部，与所述第一沉积单元相连，并且用于将所述基板与所述用于沉积第一图案层的掩模进行分离，其中所述第一传送部沿着第一方向传送所述基板，之后沿着与所述第一方向不同的第二方向传送所述基板，然后再沿着与所述第一方向和第二方向不同的第三方向传送所述基板，其中，所述沉积装置还包括：第一返回部，用于将在所述第一卸载部中被分离的所述用于沉积第一图案层的掩模传送到第一加载部，其中所述第一返回部的长度小于所述第一传送部的长度。2.如权利要求1所述的沉积装置，其中所述第一传送部是“U”字形态。3.如权利要求1所述的沉积装置，其中所述第一方向与所述第二方向垂直。4.如权利要求1所述的沉积装置，其中所述第一传送部包括多个腔室，所述腔室是可分离的。5.一种沉积装置，用于将薄膜沉积到基板上，所述沉积装置包括：第一加载部，用于将所述基板与用于沉积第一图案层的掩模进行结合；第一沉积单元，与所述第一加载部相连，并且包括用于喷射沉积物质的第一沉积部和用于传送所述基板的第一传送部；以及第一卸载部，与所述第一沉积单元相连，并且用于将所述基板与所述用于沉积第一图案层的掩模进行分离，其中所述第一传送部沿着第一方向传送所述基板，之后沿着与所述第一方向不同的第二方向传送所述基板，然后再沿着与所述第一方向和第二方向不同的第三方向传送所述基板，其中所述沉积装置还包括：第二加载部，用于将所述基板与第二图案层沉积用掩模进行结合；第二沉积单元，与所述第二加载部相连，并且包括用于喷射沉积物质的第二沉积部和用于传送所述基板的第二传送部；第二卸载部，与所述第二沉积单元相连，并且用于将所述基板与所述第二图案层沉积用掩模进行分离，以及...

【专利技术属性】
技术研发人员：金珉镐，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR