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本发明一实施例涉及用于将薄膜沉积到基板上的沉积装置，所述沉积装置包括：第一加载部，用于对所述基板与用于沉积第一图案层的掩模进行结合；第一沉积部，与所述第一加载部连接，并用于喷射沉积物质；第一沉积单元，具有用于传送所述基板的第一传送部；以及第...
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