钼合金靶材的制法制造技术

一种钼合金靶材的制法，其步骤为：（1）将钼粉与选自钛、铬、铌及钽族群的至少一种金属元素与碳的粉末混合成均匀的合金粉；（2）将该合金粉添入加压容器中，在真空下将加压容器进行除气制程，并密封除气孔；（3）利用热等静压工艺加压、加温，并添加入氧气于该加压容器中，使该合金粉成为合金胚；（4）将该合金胚于高温炉退火；（5）该合金经切割、精磨、机械加工成为钼合金靶材成品；本发明专利技术的制法可简化习知钼合金靶材的制程，且可减少钼合金靶材的生产周期及能有效提高钼合金材料的塑性。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种钼合金靶材的制法，其步骤为：（1）将钼粉与选自钛、铬、铌及钽族群的至少一种金属元素的粉末各分为至少三份，然后每份钼粉与每份选自钛、铬、铌及钽族群的至少一种金属元素的粉末与碳的粉末再分别混合成小份混合粉，把每小份混合粉至少分三组后，再分别混合最后合在一起，接着再把所有的混合粉混合成均匀的合金粉；（2）将该合金粉添入加压容器中，在真空下将加压容器进行除气制程，并密封除气孔；（3）使用热等静压机加压、加温，并添加入氧气于该加压容器中，该热等静压机作业分为三个温度区；分别为摄氏0度到摄氏800度、摄氏800度到摄氏1600度、摄氏1600度到摄氏2000度，每个温度区至少烧结3小时，工作压力为100百万帕到200百万帕，使该合金粉成为合金胚；（4）将该合金胚于高温炉退火；（5）该合金胚经切割、精磨、机械加工成为钼合金靶材成品。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：许舒华，
申请(专利权)人：许舒华，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71