一种用于靶材加工后的粉末阻燃装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种用于靶材加工后的粉末阻燃装置，该阻燃装置包括两段硬质管及滤筒，所述滤筒位于两段硬质管之间，并与两段硬质管分别连通。本实用新型专利技术所述的粉末阻燃装置设置在真空罐体与除尘器之间，且其利用增加粉末从真空罐体至除尘器的间距，粉末通过管吸入至一个滤筒沉淀后在进入除尘，在过程中自燃的粉末将熄灭，不会造成除尘设备着火。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种用于靶材加工后的粉末阻燃装置，按国际专利分类表(IPC)划分属于靶材加工中剩余粉末处理

技术介绍
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。目前，为确保靶材质量优选选择器在真空环境下将粉末溅射在基体上进行加工，而靶材加工完成后真空罐体内回复常压状态，其中必定会留有残余粉末(未被融化使用的粉末)，多次加工后聚集很多粉末，直接影响靶材的加工，而现有的残余粉末处理结构为真空罐直接连通除尘器，而这种结构在粉末处理过程中微粉容易自燃吸入除尘器导致除尘器内部滤芯易发生着火。由此，本专利技术人考虑对现有的靶材加工后的粉末处理结构进行改进，本案由此产生。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于靶材加工后的粉末阻燃装置，其特征在于：该阻燃装置包括两段硬质管及滤筒，所述滤筒位于两段硬质管之间，并与两段硬质管分别连通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：曾青云，罗永春，石煜，罗承钦，
申请(专利权)人：厦门映日新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35