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本实用新型公开一种用于靶材加工后的粉末阻燃装置,该阻燃装置包括两段硬质管及滤筒,所述滤筒位于两段硬质管之间,并与两段硬质管分别连通。本实用新型所述的粉末阻燃装置设置在真空罐体与除尘器之间,且其利用增加粉末从真空罐体至除尘器的间距,粉末通过管...该专利属于厦门映日新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门映日新材料科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开一种用于靶材加工后的粉末阻燃装置,该阻燃装置包括两段硬质管及滤筒,所述滤筒位于两段硬质管之间,并与两段硬质管分别连通。本实用新型所述的粉末阻燃装置设置在真空罐体与除尘器之间,且其利用增加粉末从真空罐体至除尘器的间距,粉末通过管...