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一种钼合金靶材的制法，其步骤为：（1）将钼粉与选自钛、铬、铌及钽族群的至少一种金属元素与碳的粉末混合成均匀的合金粉；（2）将该合金粉添入加压容器中，在真空下将加压容器进行除气制程，并密封除气孔；（3）利用热等静压工艺加压、加温，并添加入氧气...
该专利属于许舒华所有，仅供学习研究参考，未经过许舒华授权不得商用。

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