油泵排气系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种油泵排气系统。油泵排气系统包括真空抽气管道、真空油泵、排气管道、冷凝装置和废液收集器，所述真空油泵具有进气口和排气口，真空抽气管道与进气口连接，排气管道的一端与排气口连接，排气管道的另一端与冷凝装置连接，废液收集器上具有进液口，冷凝装置与进液口连接。本实用新型专利技术在真空油泵所连接的排气管道末端加装冷凝装置和废液收集器，将混合废气冷却液化变成带腐蚀性的油态液体，回流进入废液收集器中集中排放，使废气不会凝结在排气管道中腐蚀排气管道，也不会回流进入油泵引起损坏。保证了设备的使用效率，提高了工艺设备的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种腐蚀性工艺气体的真空类设备的处理装置，尤其涉及一种油泵排气系统。
技术介绍
半导体器件的制造过程中，通常需要通过真空类设备对半导体的衬底注入各种离子、硅片表面覆盖一层特殊的导线，刻蚀多余的部分，来满足不同用途的不同导电需求。这类真空设备所使用的工艺气体大都具有腐蚀性，例如BF3，CL2等。此类气体进入油泵与油蒸汽混合后容易产生腐蚀性很强的氢氟酸，盐酸类的油状液体，进而损坏真空设备的排气管道及油泵。如图1所示，为现有的真空设备的油泵排气系统，其具有抽真空管道10、油泵20和排气管道30。腐蚀性气体经抽真空管道10进入油泵20，油泵20排气进入排气管道30。该排气管路30过于简单，当油泵20温度升高时，油蒸汽与腐蚀性气体混合一起进入排气管道30，会造成以下问题:1、在排气管道30中凝结产生腐蚀性液体，对排气管道30腐蚀破坏，影响设备的安全使用；2、当腐蚀性液体回流进入油泵20时，造成油泵20的损坏。工艺设备不能正常运行。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是:为了解决腐蚀性废气凝结在排气管路中腐蚀排气管道，腐蚀性废液回流到油泵引起损坏的问题，本技术提供一种具有自动清洁功能的油泵排气系统来解决上述问题。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种油泵排气系统，包括真空抽气管道、真空油泵、排气管道、冷凝装置和废液收集器，所述真空油泵具有进气口和排气口，真空抽气管道与进气口连接，排气管道的一端与排气口连接，排气管道的另一端与冷凝装置连接，废液收集器上具有进液口，冷凝装置与进液口连接。通过冷凝装置将排气管道排出的废气液化凝结成废液，再通过废液收集器将凝结的废液收集处置。进一步优选，所述冷凝装置包括回液管和冷凝管，回液管一端与进液口连接，回液管上开设有回液口，回液口与排气管道连接，冷凝管呈螺旋式缠绕固定在回液管上，冷凝管内具有冷凝剂。冷凝装置结构简单，易于实现。进一步优选，所述的冷凝剂为工艺冷却水。工艺冷却水成本低廉，有效降低该油泵排气系统的工作成本。进一步优选，所述回液口开设在靠近进液口处。有益于废液的回流收集。进一步优选，所述油泵排气系统还包括液位传感器和排液阀门，所述废液收集器还具有排液口，所述液位传感器装设在废液收集器内，排液阀门装设在排液口处，液位传感器上连接有控制器，控制器连接排液阀门用于控制排液阀门的开启或关闭。该结构实现了自动排放废液的功能。进一步优选，所述液位传感器装设在废液收集器内的上部，所述排液口开设在废液收集器下部。该结构方便废液的排出。本技术的有益效果是，本技术油泵排气系统在真空油泵所连接的排气管道末端加装冷凝装置和废液收集器，将混合废气冷却液化变成带腐蚀性的油态液体，回流进入废液收集器中集中排放，使废气不会凝结在排气管道中腐蚀排气管道，也不会回流进入油泵引起损坏。保证了设备的使用效率，提高了工艺设备的稳定性。废液收集器中装设液位传感器和由液位传感器上的控制器控制的排液阀门，能根据腐蚀性废液的多少进行自动排放，不需要人为干与，解放了劳动力。【附图说明】下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是现有油泵排气系统的结构示意图。图2是本技术油泵排气系统最优实施例的结构示意图。图中10、抽真空管道；20、油泵；30、排气管道；1、真空抽气管道；2、真空油泵；3、排气管道；4、冷凝装置；5、废液收集器；6、液位传感器；7、排液阀门；21、进气口 ；22、排气口 ；41、回液管；42、冷凝管；411、回液口 ；51、进液口 ； 52、排液口。【具体实施方式】现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。如图2所示，本技术油泵排气系统的最优实施例，其包括真空抽气管道1、真空油泵2、排气管道3、冷凝装置4、废液收集器5、液位传感器6和排液阀门7。所述真空油泵2具有进气口 21和排气口 22，所述冷凝装置4包括回液管41和冷凝管42，所述回液管41上开设有回液口 411，所述废液收集器5上具有进液口 51和排液口 52。真空抽气管道I与进气口 21连接。排气管道3的一端与排气口 22连接，排气管道3的另一端与回液口 411连接，回液管41 一端与进液口 51连接。所述回液口 411开设在靠近进液口 51处，冷凝管42呈螺旋式缠绕固定在回液管41上，冷凝管42内具有工艺冷却水。所述排液口 52开设在废液收集器5下部。所述液位传感器6装设在废液收集器5内的上部，排液阀门7装设在排液口 52处，液位传感器6上连接有控制器(图未示)，控制器连接排液阀门7用于控制排液阀门7的开启或关闭。当真空设备运行时，真空油泵2通过真空抽气管道I抽取带腐蚀性的工艺气体使真空设备腔体产生真空，真空油泵2运行发热，部分油蒸汽与腐蚀性气体混合进入排气管道3。然后油气混合气体进一步进入回液管41内，此时通过流淌有工艺冷却水的冷凝管42将油气混合气体凝结成为腐蚀性废液，腐蚀性废液回流进入废液收集器5，当腐蚀性废液收集到一定量时，液位传感器6上的控制器侦测到油位信号，控制排液阀门7打开排除腐蚀性废液。以上述依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。【主权项】1.一种油泵排气系统，其特征是:包括真空抽气管道(I)、真空油泵(2)、排气管道(3)、冷凝装置(4)和废液收集器(5)，所述真空油泵(2)具有进气口(21)和排气口(22)，真空抽气管道(I)与进气口(21)连接，排气管道(3)的一端与排气口(22)连接，排气管道(3)的另一端与冷凝装置(4)连接，废液收集器(5)上具有进液口(51)，冷凝装置(4)与进液口(51)连接。2.根据权利要求1所述的油泵排气系统，其特征是:所述冷凝装置(4)包括回液管(41)和冷凝管(42)，回液管(41) 一端与进液口(51)连接，回液管(41)上开设有回液口(411)，回液口(411)与排气管道连接，冷凝管(42)呈螺旋式缠绕固定在回液管(41)上，7令凝管(42)内具有冷凝剂。3.根据权利要求2所述的油泵排气系统，其特征是:所述的冷凝剂为工艺冷却水。4.根据权利要求2所述的油泵排气系统，其特征是:所述回液口(411)开设在靠近进液口(51)处。5.根据权利要求1所述的油泵排气系统，其特征是:还包括液位传感器(6)和排液阀门(7)，所述废液收集器(5)还具有排液口(52)，所述液位传感器(6)装设在废液收集器(5)内，排液阀门(7)装设在排液口(52)处，液位传感器(6)上连接有控制器，控制器连接排液阀门(7)用于控制排液阀门(7)的开启或关闭。6.根据权利要求5所述的油泵排气系统，其特征是:所述液位传感器(6)装设在废液收集器(5)内的上部，所述排液口(52)开设在废液收集器(5)下部。【专利摘要】本技术涉及一种油泵排气系统。油泵排气系统包括真空抽气管道、真空油泵、排气管道、冷凝装置和废液收集器，所述真空油泵具有进气口和排气口，真空抽气管本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种油泵排气系统，其特征是：包括真空抽气管道(1)、真空油泵(2)、排气管道(3)、冷凝装置(4)和废液收集器(5)，所述真空油泵(2)具有进气口(21)和排气口(22)，真空抽气管道(1)与进气口(21)连接，排气管道(3)的一端与排气口(22)连接，排气管道(3)的另一端与冷凝装置(4)连接，废液收集器(5)上具有进液口(51)，冷凝装置(4)与进液口(51)连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王开军，吴耀辉，
申请(专利权)人：苏州同冠微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32