【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种半导体设备用滤风装置，其特征在于：包括箱体和滤风板(1)，其中箱体内设有多层滤风结构，所述各层滤风结构内均可拆卸地安装有滤风板(1)，所述滤风板(1)上均匀分布有多个滤风孔。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郭聪，胡延兵，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21
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