【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造领域，特别是涉及一种供给系统。
技术介绍
鉴于半导体行业的特殊性，需要使用大量的易燃和高腐蚀性的化学品来满足生产制程的需要，供应化学品需要一个输送动力来源，厂务端一般采用N2作为动力来源，并由双供应储存罐相互切换进行供应给设备端，并且要求24小时零中断。如图1?图2所示，目前的N2动力供给系统I包括化学供应机台11、第一供应储存罐12以及第二供应储存罐13。所述化学供应机台11包括酸桶111、泵112、第一过滤器113及第二过滤器114，所述泵112从所述酸桶111抽取化学品并经过所述第一过滤器113过滤后输送到所述第一供应储存罐12及所述第二供应储存罐13 ;所述第一供应储存罐12及所述第二供应储存罐13根据控制轮流输出化学品到所述第二过滤器114，并最终输送到设备端。所述第一供应储存罐12以及所述第二供应储存罐13的工作原理如图2所示，仅以所述第一供应储存罐12为例，所述第二供应储存罐13的原理相同，在此不一一赘述。如图2所示，所述第一供应储存罐12的罐壁上设置有4个液位传感器，分别为第一液位传感器121、第二液位传感器122、第...
【技术保护点】
一种供给系统，其特征在于，所述供给系统至少包括：酸桶、第一供应储存罐以及第二供应储存罐，所述第一供应储存罐与所述第二供应储存罐的输入端连接所述酸桶，所述第一供应储存罐与所述第二供应储存罐的输出端连接到设备端，所述第一供应储存罐的侧壁上设置有三个液位传感器，自上而下分别为第一高液位传感器、第一安全控制传感器、第一低液位传感器，所述第二供应储存罐的侧壁上设置有三个液位传感器，自上而下分别为第二高液位传感器、第二安全控制传感器、第二低液位传感器。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张文武，刁春华，周鹏，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
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