高效率高准确度加热器驱动器制造技术

本发明专利技术揭示了一种快速热处理腔室，所述快速热处理腔室具有灯具驱动电路，灯具驱动电路包含两个晶体管和两个二极管。快速热处理腔室包含多个卤素灯具、灯具驱动器、测量晶片温度的温度传感器以及连接至温度传感器和灯具驱动器的温度控制器，温度控制器提供控制信号给灯具驱动器，控制信号为晶片温度与期望温度的函数。灯具驱动器包含由控制信号控制的两个晶体管，使得供应给多个卤素灯具的功率的功率因数(power factor)在0.9到1之间的范围。

【技术实现步骤摘要】
高效率高准确度加热器驱动器本申请是申请日为2011年2月18日申请的申请号为201180009496.3，并且专利技术名称为“高效率高准确度加热器驱动器”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术涉及加热器驱动器，所述加热器驱动器可用于快速热处理腔室，以在处理晶片(wafer)时提供更有效率的操作方式。
技术介绍
当处理半导体晶片时，快速热处理(RTP)腔室需要控制供给灯具的功率以控制灯具所产生的热量。现有的快速热处理腔室利用包含有相位角度控制的硅控整流器(siliconcontrolledrectifier,SCR)的灯具驱动电路来控制提供给灯具的功率，以控制晶片处理。这些基于硅控整流器的灯具驱动电路具有许多限制晶片处理的效率的缺点。基于硅控整流器途径的一系列缺点在于电流的功率因数较低。在低功率水平时特别如此，其中功率因数(powerfactor)可小于50％。因此造成半导体处理的能量没有效率。除此之外，基于硅控整流器的灯具驱动电路在电压跨零点的点附近时不能被开启。这是因为硅控整流器需要一最小电压来开启。因此，受控的输出电流的最小值具有阈值。这也同样造成处理没有效率。另一个问题是，因为硅控整流器的特性，只能在每一个周期中开启和关闭硅控整流器两次。这是由于只有当流经装置的电流为零的时候，硅控整流器才会关闭。若能对于灯具驱动器电路实现更精确的控制，则可以改善高速的温度处理。因此，鉴于快速热处理腔室中与基于硅控整流器的灯具驱动电路相关的这些缺点，需要新的且改良的灯具驱动电路。专利技术概述本专利技术的一个方式提供了一种处理晶片的快速热处理腔室。所述快速热处理腔室被供应交流功率并且可包含多个卤素灯具、灯具驱动器、测量晶片温度的温度传感器；以及连接至温度传感器和灯具驱动器的温度控制器，所述温度控制器提供控制信号给第一晶体管的控制输入端和第二晶体管的控制输入端，所述控制信号为晶片温度与期望温度的函数。所述灯具驱动器包含负极连接至第一晶体管的第一端的第一二极管，所述第一二极管与负极连接至第二晶体管的第一端的第二二极管相并联，其中第一二极管的正极与第二晶体管的第二端连接至上述多个卤素灯具中的一个或多个，而第二二极管的正极与第一晶体管的第二端连接至交流功率供应器(powersupply)。根据本专利技术的另一方式，一种处理晶片的快速热处理腔室包括：多个卤素灯具、功率源、测量晶片温度的温度传感器以及温度控制器。所述功率源包含具有第一开关与第二开关的交流功率源(powersource)，所述功率源连接至多个卤素灯具以供应功率至所述多个卤素灯具。所述温度控制器连接至温度传感器以及功率源中的第一开关和第二开关，所述温度控制器提供第一控制信号至第一开关，并且提供第二控制信号至第二开关，第一控制信号与第二控制信号为晶片温度与期望温度的函数。第一控制信号在交流功率的每半个周期中开启和关闭第一开关多次，而第二控制信号在交流功率的每半个周期中开启和关闭第二开关多次。根据本专利技术的另一方式，当第二开关关闭时，第一开关开启。同样，当第二开关开启时，第一开关关闭。根据本专利技术的另一方式，温度控制器形成第一控制信号和第二控制信号，作为交流功率的脉冲形式。根据本专利技术的另一方式，供应给多个卤素灯具的功率的功率因数大约为1。通常，功率因数介于0.9到1之间。根据本专利技术的另一方式，第一开关和第二开关为晶体管。所述晶体管可为MOSFET晶体管、双极性晶体管或绝缘栅双极性晶体管。根据本专利技术的另一方式，提供了一种控制处理晶片的快速热处理腔室的方法。所述方法可包含下列步骤：感测晶片的温度；确定期望温度；温度控制器根据晶片的温度和期望温度产生第一控制信号和第二控制信号；第一控制信号在供应给温度控制器的交流功率的每半个周期中开启和关闭第一开关多次；第二控制信号在供应给温度控制器的交流功率的每半个周期中开启和关闭第二开关多次；以及第一开关和第二开关供应功率给多个卤素灯具。根据本专利技术的另一方式，第一开关与第二开关在不同时间开启。当第二开关关闭时，第一开关开启，而当第二开关开启时，第一开关关闭。根据本专利技术的另一方式，温度控制器形成第一控制信号和第二控制信号，作为交流功率的脉冲形式。根据本专利技术的另一方式，供应多个卤素灯具的功率的功率因数大约为1。如上所述，第一开关及第二开关可为晶体管。晶体管可选自由MOSFET晶体管、双极性晶体管和绝缘栅双极性晶体管组成的组。根据本专利技术的另一方式，一种处理晶片的快速热处理腔室。所述快速热处理腔室被供应交流功率，且包括：多个卤素灯具、灯具驱动器、测量晶片温度的温度传感器以及温度控制器。所述灯具驱动器包含与第二二极管和第二晶体管并联连接的第一二极管和第一晶体管，所述灯具驱动器连接至交流功率源并连接至所述多个卤素灯具，以供应功率给多个卤素灯具。所述温度控制器连接至温度传感器和灯具驱动器，所述温度控制器给第一晶体管提供作为晶片温度和期望温度的函数的第一控制信号，并给第二晶体管提供作为晶片温度与期望温度的函数的第二控制信号。第一晶体管与第二晶体管在不同的时间开启。晶体管可以都为MOSFET晶体管，也可以都为双极性晶体管，或者都为绝缘栅双极性晶体管。如上所述，第一晶体管和第二晶体管可在所供应的交流电压的每半个周期中开启和关闭两次或更多次。供应给多个卤素灯具的功率的功率因数介于0.9到1之间。附图说明图1表示具有卤素灯具、灯具驱动器、晶片温度控制器、温度传感器以及温度控制器的快速热处理腔室。图2表示根据本专利技术的一种方式的灯具驱动器。图3表示根据本专利技术的一种方式的来自功率源的电压和驱动器输出电压。图4表示根据本专利技术的一种方式的驱动器电路。图5表示根据本专利技术的一种方式的与本专利技术电路相关的波形。图6表示根据本专利技术的一种方式的本专利技术操作方式。专利技术描述图1表示快速热处理腔室(RapidTemperatureProcess(RTP)chamber)10。该RTP腔室10包含多组卤素灯具12，多个灯具驱动器14以及正被处理的晶片16。灯具驱动器14连接至卤素灯具12，并控制提供给卤素灯具12的功率。卤素灯具12供应热量给晶片16，以使得晶片16以已知的方式来处理。晶片温度控制器18具有输入端与输出端，输入端连接至温度传感器20，输出端连接至灯具驱动器14。根据本专利技术的一种方式，所述温度传感器20为非接触式温度传感器，所述温度传感器测量晶片16的温度。所述温度从温度传感器20提供给温度控制器18。晶片16所需的温度也会提供给温度控制器18。温度控制器18便依据所量测的温度与所需的温度来发送控制信号给灯具驱动器14，以控制卤素灯具12。灯具驱动器14维持卤素灯具12必需的灯具功率来产生红外线发射，以加热晶片16。一种现有技术的灯具驱动器14表示于图2中。灯具驱动器14连接至功率源30。功率源30可以为功率分配线。灯具驱动器14由功率控制元件组成。例如，在现有技术中，提供双极性硅控整流器(siliconcontrolledrectifier,SCR)34以及硅控整流器控制器36。最初，硅控整流器并不导通电流。但基于来自控制器18的外部指令，硅控整流器控制器36会开启或关闭硅控整流器34，导致电流流经灯具12。当所提供给硅控整流器34的控制信号的极性反转时，硅控整流器34停止电流导通本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种处理晶片的快速热处理腔室，所述快速热处理腔室包含：多个灯具；功率源，所述功率源包含具有第一开关和第二开关的交流功率源，所述功率源连接至所述多个灯具以供应功率给所述多个灯具；温度传感器，所述温度传感器测量所述晶片的温度；以及温度控制器，所述温度控制器连接至所述温度传感器并且连接至所述功率源中的所述第一开关和所述第二开关，所述温度控制器提供第一控制信号给所述第一开关，提供第二控制信号给所述第二开关，所述第一控制信号和所述第二控制信号为所述晶片温度和期望温度的函数；其中所述第一控制信号在所述交流功率的每半个周期中开启和关闭所述第一开关多次，所述第二控制信号在所述交流功率的每半个周期中开启和关闭所述第二开关多次。

【技术特征摘要】
2010.02.19 US 12/708,6481.一种处理晶片的快速热处理腔室，所述快速热处理腔室包含：多个灯具；功率源，所述功率源包含具有第一开关和第二开关的交流功率源，所述功率源连接至所述多个灯具以供应功率给所述多个灯具；温度传感器，所述温度传感器测量所述晶片的温度；以及温度控制器，所述温度控制器连接至所述温度传感器并且连接至所述功率源中的所述第一开关和所述第二开关，所述温度控制器提供第一控制信号给所述第一开关，提供第二控制信号给所述第二开关，所述第一控制信号和所述第二控制信号为所述晶片温度和期望温度的函数；其中所述第一控制信号在所述交流功率的每半个周期中开启和关闭所述第一开关多次，所述第二控制信号在所述交流功率的每半个周期中开启和关闭所述第二开关多次。2.如权利要求1所述的快速热处理腔室，其中当所述第二开关关闭时，所述第一开关开启。3.如权利要求2所述的快速热处理腔室，其中当所述第二开关开启时，所述第一开关关闭。4.如权利要求3所述的快速热处理腔室，其中所述温度控制器形成所述第一控制信号和所述第二控制信号，作为所述交流功率的脉冲形式。5.如权利要求3所述的快速热处理腔室，其中供应给所述多个灯具的功率的功率因数介于0.9到1之间。6.如权利要求5所述的快速热处理腔室，其中所述第一开关和...

【专利技术属性】
技术研发人员：亚历山大·戈尔丁，欧勒格·V·塞雷布里安诺夫，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US